一种真空进气系统及进气控制方法技术方案

本发明专利技术公开了一种真空进气系统及进气控制方法，包括有供气单元、传输单元、控制单元、供气终端，所述的供气单元包括有气源、手动截止阀、减压阀及相应连接管路组成，气体从气源经手动截止阀，减压阀调整相应压力进入传输单元；所述的传输单元包括有传输管、绝缘套管、过滤器、气动阀组成；所述的控制调节单元包括有减压阀、电磁阀、流量采集器、控制器组成；所述的供气终端包括有真空转接头、真空角阀、真空接头。本发明专利技术系统组成简单，安装拆卸方便，无需复杂的电子仪器。用户可根据需要自行选择气源，具有很强的适应性。工作安全稳定可靠，真空密封性好，自动控制，操作方便简洁，可实现任意时刻自动安全进气。

A vacuum intake system and intake control method

【技术实现步骤摘要】
一种真空进气系统及进气控制方法
本专利技术涉及真空和控制领域，主要涉及一种真空进气系统及进气控制方法。
技术介绍
对于一个处于高真空状态的装置来说，内外的压差很大。由于维修，更换内部器件等原因，要打开真空装置。但开装置之前，要先对装置放空，使内外压差一致。否者，贸然打开真空装置，不仅会损害内部器件，对操作人员来说还会有危险，尤其是大真空装置。要放真空，就要进气。考虑到经济安全等因素，在放真空时，会对真空室内部注入氮气。此外在实验过程中，有时根据实验需要，要对处于高真空状态装置内部进气，注入氮气，当真空恢复到接近大气状态时，然后再进行抽真空，如此反复多次，进行真空置换。现有的真空进气方式就是把带有截止阀的气动管与真空装置进气口相连结，在需要进气时，手动打开截止阀。打开截止阀时，要注意开度的大小，初始时的进气量不宜过大，以防对内部部件造成冲击；当进气一段时间后，开度调大，加大进气量。当真空室内部的压力接近大气压时，就要立即关闭截止阀。否则，当真空室内部气压大于外界大气压时，一方面容易对内部器件造成损伤，一方面会使真空室上的安全阀动作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空进气系统，其特征在于，包括：供气单元、传输单元、控制单元、供气终端；/n所述的供气单元包括气源、手动截止阀、第一减压阀及相应连接管，所述的气源的第一出气孔经不锈钢管与手动截止阀相连接，手动截止阀再通过连接管与第一减压阀相连接；所述的传输单元包括有多段传输管、绝缘套管、过滤器、气动阀；前述供气单元的减压阀出口与传输管卡套连接，经过传输管连接到绝缘套管，同样该连接也是卡套连接；绝缘套管出口再通过传输管与过滤器卡套连接，过滤器的出口则通过传输管与气动阀连接；所述的控制单元包括有第二减压阀、电磁阀、流量采集器、控制器；前述的气动阀后方连接有流量采集器，流量采集器通过数据线与控制器相连接，控...

【技术特征摘要】
1.一种真空进气系统，其特征在于，包括：供气单元、传输单元、控制单元、供气终端；
所述的供气单元包括气源、手动截止阀、第一减压阀及相应连接管，所述的气源的第一出气孔经不锈钢管与手动截止阀相连接，手动截止阀再通过连接管与第一减压阀相连接；所述的传输单元包括有多段传输管、绝缘套管、过滤器、气动阀；前述供气单元的减压阀出口与传输管卡套连接，经过传输管连接到绝缘套管，同样该连接也是卡套连接；绝缘套管出口再通过传输管与过滤器卡套连接，过滤器的出口则通过传输管与气动阀连接；所述的控制单元包括有第二减压阀、电磁阀、流量采集器、控制器；前述的气动阀后方连接有流量采集器，流量采集器通过数据线与控制器相连接，控制器输出端通过数据线与电磁阀连接；气源的第二出气孔通过不锈钢连结管与第二减压阀相连接，第二减压阀出口接到电磁阀入口，电磁阀出口通过供气管与气动阀顶部相连接；所述的供气终端包括有真空转接接头、真空角阀、真空接头；前述流量采集器出口通过真空转接接头与真空角阀相连接，真空角阀出口通过真空接头连接到真空室。


2.根据权利要求1所述的真空进气系统，其特征在于：所述的传输管及连接管均采用不锈钢洁净管，连接方式采用卡套连接。


3.根据权利要求1所述的真空进气系统，其特征在于：所述的传输单元的绝缘套管，两端为卡套接头，便于连接；内部为编织管，能够承受预定压力，且能够隔绝绝缘套管两端的电位差。


4.根据权利要求1所述的真空进气系统，其特征在于：所述的气动阀为常闭阀，所述的气动阀由所述气源中的氮气通过动力管线提供动力,与电磁阀形成了串联连锁保护，用于在突然停电的情况下，避免真空室与外界连通造成真空泄露。


5.根据权利要求1所述的真空进气系统，其特征在于：所述的控制单元为闭环自动控制，控制器从流量采集器得到信号，与设定值作为比...

【专利技术属性】
技术研发人员：邑伟，陶玲，谢远来，汪金新，张照元，唐宁，张进新，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34