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本发明公开了一种真空进气系统及进气控制方法，包括有供气单元、传输单元、控制单元、供气终端，所述的供气单元包括有气源、手动截止阀、减压阀及相应连接管路组成，气体从气源经手动截止阀，减压阀调整相应压力进入传输单元；所述的传输单元包括有传输管、绝...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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