在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件以及激光扫描显微镜制造技术

本发明专利技术涉及一种在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件，其具有以下部件：光学扫描单元，用于提供第一光瞳平面；第一光束偏转装置，第一光束偏转装置由第一光瞳平面中布置的第一扫描仪形成，用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射；第一聚焦装置，用于生成与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面；第二光束偏转装置，用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转，所述第二偏转装置布置在第二光瞳平面中。根据本发明专利技术的光学组件的特征在于，提供第二聚焦装置以便生成第三光瞳平面，该第三光瞳平面与第一光瞳平面和第二光瞳平面光学共轭；在该第三光瞳上布置第三光束偏转装置，用于使激发辐射和/或操纵辐射偏转；并且在第一聚焦装置和第二光瞳平面之间及在第二光瞳平面和第二聚焦装置之间提供可变光束偏转构件，以便在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路径。本发明专利技术的另一方面涉及激光扫描显微镜。

Scanning the optical components that excite and / or manipulate radiation and the laser scanning microscope in the laser scanning microscope

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件以及激光扫描显微镜在第一方面，本专利技术涉及根据权利要求1的前序部分的在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学布置。在其他方面，本专利技术涉及根据权利要求18的前序部分的激光扫描显微镜。例如在DE102014017001A1中描述了在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的通用的光学布置，并且该光学布置具有以下部件：扫描光学单元，以提供第一光瞳平面；第一光束偏转装置，其由在第一光瞳平面中布置的第一扫描仪形成，用于在第一坐标方向上扫描激发辐射和/或操纵辐射；第一聚焦装置，用于产生与第一光瞳平面光学共轭的第二光瞳平面；以及第二光束偏转装置，用于偏转激发辐射和/或操纵辐射，该第二光束偏转装置布置在第二光瞳平面中。DE102014017001A1中还公开了通用的激光扫描显微镜，并且该激光扫描显微镜具有以下部件：至少一个激光光源，用于发射激光辐射以激发和/或操纵样本；至少一个主分色器，用于将一方面激发辐射和/或操纵辐射与另一方面从样本发出的波长偏移的检测光分开；以及至少一个显微镜物镜，用于将激发辐本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学布置，用于在激光扫描显微镜、特别是激光扫描荧光显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射，所述光学布置/n具有扫描光学单元(SO)，用于提供第一光瞳平面(P1)，/n具有第一光束偏转装置，所述第一光束偏转装置由在所述第一光瞳平面(P1)中布置的第一扫描仪(S1)形成，用于在第一坐标方向(y)上扫描所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，/n具有第一聚焦装置(H1)，用于产生与所述第一光瞳平面(P1)光学共轭的第二光瞳平面(P2)，/n具有第二光束偏转装置(S2)，用于偏转所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，所述第二光束偏转装置布置在所述第二光瞳平面(P2)中，/n其特征在于，/...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170825 DE 102017119478.91.一种光学布置，用于在激光扫描显微镜、特别是激光扫描荧光显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射，所述光学布置
具有扫描光学单元(SO)，用于提供第一光瞳平面(P1)，
具有第一光束偏转装置，所述第一光束偏转装置由在所述第一光瞳平面(P1)中布置的第一扫描仪(S1)形成，用于在第一坐标方向(y)上扫描所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，
具有第一聚焦装置(H1)，用于产生与所述第一光瞳平面(P1)光学共轭的第二光瞳平面(P2)，
具有第二光束偏转装置(S2)，用于偏转所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，所述第二光束偏转装置布置在所述第二光瞳平面(P2)中，
其特征在于，
存在第二聚焦装置(H2)，用于产生第三光瞳平面(P3)，所述第三光瞳平面与所述第一光瞳平面(P1)和所述第二光瞳平面(P2)光学共轭，
第三光束偏转装置(S3)布置在所述第三光瞳平面(P3)中，以使所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)偏转，并且
一方面，在所述第一聚焦装置(H1)和所述第二光瞳平面(P2)之间，另一方面，在所述第二光瞳平面(P2)和所述第二聚焦装置(H2)之间，存在可变光束偏转构件(20)，用于在第一光束路径和第二光束路径之间切换光学光束路径。


2.根据权利要求1所述的光学布置，
其特征在于，
所述第一光束路径至少从所述第三光束偏转装置(S3)、经由所述第二光束偏转装置(S2)延伸到所述第一扫描仪(S1)，并且
其中所述第二光束路径至少从所述第三光束偏转装置(S3)延伸到所述第一扫描仪(S1)，同时经由所述可变光束偏转构件(20)，绕过所述第二光束偏转装置(S2)。


3.根据权利要求1所述的光学布置，
其特征在于，
所述第一光束路径至少从所述第三光束偏转装置(S3)、经由所述第二聚焦装置(H2)、所述第二光束偏转装置(S2)和所述第一聚焦装置(H1)延伸到所述第一扫描仪(S1)，并且
其中所述第二光束路径至少从所述第三光束偏转装置(S3)经由所述第二聚焦装置(H2)延伸到所述第一扫描仪(S1)，同时经由所述可变光束偏转构件(20)和所述第一聚焦装置(H1)，绕过所述第二光束偏转装置(S2)。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学布置，
其特征在于，
所述第一聚焦装置(H1)和/或所述第二聚焦装置(H2)是凹面反射镜，特别是复曲面凹面反射镜、或球面凹面反射镜。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学布置，
其特征在于，
在所述第二光瞳平面(P2)中的第二光束偏转装置是第二扫描仪(S2)，所述第二扫描仪用于在第二坐标方向(x)上扫描所述激发辐射(16)和/或所述操纵辐射(10)，所述第二坐标方向(x)与所述第一坐标方向(y)不同，和/或
在所述第三光瞳平面(P3)中的第三光束偏转装置是第三扫描仪(S3)，所述第三扫描仪用于在第二坐标方向(x)上扫描所述激发辐射(16)和/或所述操纵辐射(10)，所述第二坐标方向(x)与所述第一坐标方向(y)不同。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学布置，
其特征在于，
所述第二光束偏转装置和/或所述第三光束偏转装置是固定的反射镜、其表面能够主动地弯曲的反射镜、或者不同的改变波前的元件。


7.根据权利要求5或6所述的光学布置，
其特征在于，
所述第二扫描仪(S2)是共振扫描仪，且所述第三扫描仪(S3)是准静态扫描仪，或者
所述第三扫描仪(S3)是共振扫描仪，且所述第二扫描仪(S2)是准静态扫描仪。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学布置，
其特征在于，
所述第一扫描仪(S1)是振镜式扫描仪。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的光学布置，
所述可变光束偏转构件(20)具有定位可变的反射镜(21、22)。
...

【专利技术属性】
技术研发人员：T安胡特，M瓦尔德，D施韦特，T考夫霍德，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE