玻璃板及其制造方法技术

玻璃板在端面具有多个凹坑状的凹部(R)。端面的任意30μm见方的范围(S)内所含的所述凹部(R)中，顶部外周(C)上的两点间的直线距离的最大值(d)为0.5μm以上的第一凹部(R1)的比例为50％以上。

Glass plate and its manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃板及其制造方法
本专利技术涉及玻璃板及其制造方法。
技术介绍
在数码相机或摄像机中利用的CCD或CMOS等固体摄像元件的光谱灵敏度对于近红外线区域的光而言具有强灵敏度，因此一般为了将这些固体摄像元件的光谱灵敏度符合人的视觉灵敏度特性而使用视觉灵敏度校正构件。作为视觉灵敏度校正构件，例如，如专利文献1所公开那样，利用在玻璃板的主表面上形成有具有红外线屏蔽功能的光学膜的玻璃板。另外，为了防止玻璃板表面的反射，也有形成有具有防反射功能的光学膜的情况。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2013/077375号
技术实现思路
专利技术要解决的课题另外，用于固体摄像元件等的玻璃板在推进着薄板化。伴随于此，有玻璃板在因搬运时的冲击等而容易产生破损的问题。特别是，这种玻璃板的破损大多是由于以玻璃板的端面为起点的龟裂的扩展而产生，从而期望端面强度的进一步提高。本专利技术的课题是实现玻璃板的端面强度的提高，降低玻璃板的破损。用于解决课题的方案为了解决上述的课题而专利技术的本专利技术是一种玻璃板，具备：表面背面一对主表面和连结一对主表面的各个端部的端面，其特征在于，端面具有多个凹坑状的凹部，端面的任意30μm见方的范围内所含的凹部中，顶部外周上的两点间的直线距离的最大值为0.5μm以上的第一凹部的比例为50％以上。根据这种构成，在端面中，顶部外周上的两点间的直线距离的最大值为0.5μm以上这样的相对大的第一凹部占过半数。因此，可认为即使对玻璃板的端面作用冲击等外力的情况下，该力也可经由形成于端面的相对大的第一凹部而分散。其结果，以玻璃板的端面为起点的龟裂不易扩展，可降低玻璃板的破损。在上述的构成中，优选端面的任意30μm见方的范围内所含的凹部的总数为50个以上且300个以下。在上述的构成中，第一凹部的深度也可以为0.5μm以上。在上述的构成中，也可以在至少一个主表面上形成有光学膜。该情况下，优选光学膜为防反射膜、红外线屏蔽膜、紫外线屏蔽膜、紫外线及红外线屏蔽膜中的至少一种。在上述的构成中，作为玻璃板的组成，优选以质量％计包含25％以上的P2O5。为了解决上述的课题所专利技术的本专利技术是一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具备：表面背面一对主表面和连结一对主表面的各个端部的端面，所述制造方法的特征在于，具备使玻璃板的至少端面接触蚀刻液而进行蚀刻的蚀刻工序，玻璃板包含磷酸盐系玻璃，蚀刻液为碱性洗涤剂，玻璃板的端面由蚀刻液蚀刻导致的去除厚度为1μm以上。根据这种构成，玻璃板的端面经由蚀刻液而去除，在玻璃板的端面形成有多个凹坑状的凹部。并且，通过以上述条件进行蚀刻工序，从而在端面的任意30μm见方的范围内，可使上述的第一凹部的比例成为50％以上。因此，以玻璃板的端面为起点的龟裂不易扩展，可降低玻璃板的破损。在上述的构成中，优选蚀刻液包含螯合剂的碱性盐作为碱性成分。在上述的构成中，在蚀刻工序之前，也可以还具备在玻璃板的至少一个主表面形成光学膜的成膜工序。专利技术效果根据本专利技术，可实现玻璃板的端面强度的提高，降低玻璃板的破损。附图说明图1是示出第一实施方式涉及的玻璃板的截面图。图2是示意性地示出第一实施方式涉及的玻璃板的端面状态的扩大平面图。图3是示意性地示出第一实施方式涉及的玻璃板的端面状态的扩大截面图。图4是示出第一实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的蚀刻工序的截面图。图5是用于说明利用蚀刻进行的玻璃板端面的去除厚度的测定方法的一例的图。图6是示出第二实施方式涉及的玻璃板的截面图。图7是示出第二实施方式涉及的玻璃板的平面图。图8是示出第二实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的成膜工序的截面图。图9是示出第二实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的切割工序的平面图。图10是示出第二实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的蚀刻工序的截面图。图11是示出第三实施方式涉及的玻璃板的截面图。图12是示出第三实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的、兼倒角工序的切割工序的初步阶段状态的截面图。图13是示出第三实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的、兼倒角工序的切割工序的中间阶段状态的截面图。图14是示出第三实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的、兼倒角工序的切割工序的最终阶段状态的截面图。图15是示出第三实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的倒角工序的变形例的截面图。图16是示出第三实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的蚀刻工序的截面图。图17是示出第四实施方式涉及的玻璃板的截面图。图18是示出第四实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的成膜工序的截面图。图19是示出第四实施方式涉及的玻璃板的制造方法中所包括的蚀刻工序的截面图。图20是实施例的显微镜图像。图21是实施例的显微镜图像。具体实施方式对于本专利技术的实施方式涉及的玻璃板及其制造方法，参照附图来加以说明。(第一实施方式)如图1所示，第一实施方式涉及的玻璃板1具备：表面背面一对主表面1a和连结两个主表面1a的各个端部的端面1b。玻璃板1形成为四边形状，但不限定于此形状，例如也可以为三角形或五边形以上的多边形或圆形等。在本实施方式中，端面1b在四边形状的玻璃板1的各边以与主表面1a呈大致正交的方式形成。玻璃板1的厚度优选为0.4mm以下、0.3mm以下、0.2mm以下。更优选为0.19mm以下，进一步优选为0.15mm以下、特别优选为0.12mm以下。另一方面，玻璃板1的厚度优选为0.05mm以上，更优选为0.08mm以上。在玻璃板1的各主表面1a的面积可设为1mm2以上且25000mm2以下。各主表面1a的面积的优选范围为3mm2以上且25000mm2以下、更优选为9mm2以上且25000mm2以下、进一步优选为15mm2以上且25000mm2以下、特别优选为20mm2以上且25000mm2以下。对于玻璃板1的端面1b，如图2示意性所示那样，形成有多个凹坑状的凹部R。凹部R的顶部外周(邻接有凹部R的情况为其棱线)C例如呈现圆形或椭圆形。端面1b的任意30μm见方的范围S内所含的凹部R中，顶部外周C上的两点间的直线距离的最大值d为0.5μm以上的第一凹部R1的比例为50％以上。换言之，端面1b的任意30μm见方的范围S内所含的凹部R中，顶部外周C上的两点间的直线距离的最大值d为小于0.5μm的第二凹部(未图示)的比例为小于50％。在此，直线距离的最大值d在凹部R为圆形的情况为直径，在椭圆形的情况为长径。若如此操作，可认为即使对于玻璃板1的端面1b作用冲击等外力的情况下，该力也可经由形成于端面1b的相对大的第一凹部R1而适度地分散。其结果，以玻璃板1的端面1b为起点的龟裂不易扩展，可降低玻璃板1的破损。需要说明的是，相对小的第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃板，具备表面背面一对主表面和连结所述一对主表面的各个端部的端面，其特征在于，/n所述端面具有多个凹坑状的凹部，/n所述端面的任意30μm见方的范围内所含的所述凹部中，顶部外周上的两点间的直线距离的最大值为0.5μm以上的第一凹部的比例为50％以上。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170927 JP 2017-1865911.一种玻璃板，具备表面背面一对主表面和连结所述一对主表面的各个端部的端面，其特征在于，
所述端面具有多个凹坑状的凹部，
所述端面的任意30μm见方的范围内所含的所述凹部中，顶部外周上的两点间的直线距离的最大值为0.5μm以上的第一凹部的比例为50％以上。


2.根据权利要求1所述的玻璃板，其特征在于，所述端面的任意30μm见方的范围内所含的所述凹部的总数为30个以上且300个以下。


3.根据权利要求1或2所述的玻璃板，其特征在于，所述第一凹部的深度为0.5μm以上。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃板，其特征在于，在至少一个所述主表面上形成有光学膜。


5.根据权利要求4所述的玻璃板，其特征在于，所述光学膜为防反射膜、红外...

【专利技术属性】
技术研发人员：间岛亮太，中堀宏亮，乾武志，金子悠祐，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP