一种光分路器晶圆贴片用工装制造技术

本实用新型专利技术公开一种光分路器晶圆贴片用工装，包括工装本体，工装本体包括底座、压板、压臂及支座，支座的中心处开有抽气孔，支座的上端面上设置有定位组件，压板能拆卸的连接于支座的上端面上，压板的中心处设置本体部，且压板位于本体部的外周开设有多个通孔以形成多条压筋，压板的上端面上连接有定位座，定位座的中心处连接有定位块，定位块上开有定位槽，底座上连接有固定座，压臂的一端铰接于固定座上，压臂的另一端设置有与定位槽相配合的压头。通过采用本实用新型专利技术进行晶圆与盖板的贴合，不仅能有效可靠的实现晶圆、盖板的定位，保证贴片质量，且贴片时，胶水扩散均匀，进而大大提高了贴片质量，从而有效提高了切割均匀性，保证芯片质量。

A kind of wafer mounting tooling for optical splitter

【技术实现步骤摘要】
一种光分路器晶圆贴片用工装
本技术涉及晶圆加工
，尤其涉及一种光分路器晶圆贴片用工装。
技术介绍
目前，光分路器芯片的晶圆在出片后需要粘贴盖板再进行切割。现有晶圆与盖板粘贴时，由人工直接操作完成，在中心处点胶后贴上盖板，然后在中心处压下重物，然而，由于整个过程由人工操作，无法保证中心在同一点上，且重物的重心也存在一定小偏差，进而会导致胶水扩散不均匀，易出现凸胶、空胶的现象，从而大大降低切割均匀性，影响芯片性能，此外，为了防止重物过重压碎晶圆，只能选用底面积较小的重物，为了保证胶水能扩散至整片晶圆，所用胶水较多，成本较高，在晶圆与盖板贴合完成后，往往会溢出较多的胶水，后期清理较为不便，由此，急需解决。
技术实现思路
本技术的目的在于针对上述问题，提供一种光分路器晶圆贴片用工装，以解决现有晶圆与盖板贴合由人工直接操作完成，胶水扩散不均匀，存在凸胶、空胶现象，降低切割均匀性，影响芯片性能的问题。本技术的目的是通过以下技术方案来实现：一种光分路器晶圆贴片用工装，包括工装本体，所述工装本体包括底座、压板、压臂及用于承载晶圆、盖板的支座，所述支座的中心处开有抽气孔，且所述支座的一端设置有抽气接头，所述抽气接头与真空泵相连，所述支座内开有抽气通道以使得所述抽气孔与所述抽气接头相连通，所述支座的上端面上设置有用于定位晶圆、盖板的定位组件，且所述支座的上端面上固定设置有定位柱，所述压板上开有与所述定位柱相配合的定位孔，且所述压板能拆卸的连接于所述支座的上端面上，所述压板的中心处设置有用于压紧晶圆、盖板的本体部，且所述压板位于所述本体部的外周开设有多个通孔以形成多条压筋，所述的多条压筋沿圆周方向间隔均布，所述压板的上端面上连接有定位座，所述定位座的中心处连接有定位块，所述定位块上开有定位槽，所述底座上固定连接有固定座，所述压臂的一端铰接于所述固定座上，且所述压臂的另一端设置有与所述定位槽相配合的压头。作为本技术的一种优选方案，所述压头固定于连接杆的第一端端头，所述压臂上开有螺纹孔，并螺纹连接有压杆，所述压杆的一端具有一旋拧部，且所述压杆的另一端穿过所述压臂，所述压杆的另一端端头处设置有一抵压部，所述压杆沿其轴向开设有贯穿孔，所述连接杆的第二端经所述贯穿孔向所述旋拧部处延伸，且所述连接杆的第二端端头设置有防脱块，所述防脱块位于所述贯穿孔外部，且所述防脱块的外径大于所述贯穿孔的孔径，所述连接杆上套设有弹簧，且所述连接杆上邻近所述压头处设置有弹簧固定部，所述弹簧的一端抵靠在所述弹簧固定部上，且所述弹簧的另一端抵靠在所述抵压部上。作为本技术的一种优选方案，所述固定座上开有第一锁紧孔，所述压臂上开有第二锁紧孔；贴片时，所述压头顶压于所述定位槽内，锁紧销穿过所述第一锁紧孔、所述第二锁紧孔以锁定所述压臂。作为本技术的一种优选方案，所述支座上设置有十字形结构的通气槽，所述通气槽与所述抽气孔相连通，所述支座上设置有若干个外径各不相同的环形槽，所述的若干个环形槽同心设置，所述环形槽与所述通气槽相连通。作为本技术的一种优选方案，所述定位组件包括第一限位块、第二限位块，所述第一限位块、所述抽气孔之间的连线与所述第二限位块、所述抽气孔之间的连线相垂直。作为本技术的一种优选方案，所述支座上开有螺纹孔，所述压板上对应所述螺纹孔的位置开有固定孔，固定螺栓穿过所述固定孔后旋拧于所述螺纹孔内以将所述压板固定于所述支座上。本技术的有益效果为，通过采用本技术进行晶圆与盖板的贴合，不仅能有效可靠的实现晶圆、盖板的定位，保证贴片质量，且贴片时，胶水扩散均匀，进而大大提高了贴片质量，从而有效提高了切割均匀性，保证芯片质量，此外，本技术具有结构简单、操作方便的特点。附图说明图1为一种光分路器晶圆贴片用工装的结构示意图；图2为支座的结构示意图；图3为压板的结构示意图。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。可以理解的是，此处所描述的实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。请参照图1至图3所示，图1为一种光分路器晶圆贴片用工装的结构示意图；图2为支座的结构示意图；图3为压板的结构示意图。于本实施例中，一种光分路器晶圆贴片用工装，包括工装本体，所述工装本体包括底座1、压板2、压臂3及用于承载晶圆、盖板的支座4，所述支座4的中心处开有抽气孔11，且所述支座4的一端设置有抽气接头12，所述抽气接头12与真空泵相连，所述支座4内开有抽气通道以使得所述抽气孔11与所述抽气接头12相连通，所述支座4的上端面上设置有用于定位晶圆、盖板的定位组件，所述定位组件包括第一限位块13、第二限位块14，所述第一限位块13、所述抽气孔11之间的连线与所述第二限位块14、所述抽气孔11之间的连线相垂直，所述支座4的上端面上固定设置有定位柱15，所述压板2上开有与所述定位柱15相配合的定位孔18，且所述压板2能拆卸的连接于所述支座4的上端面上，具体的，所述支座4上开有螺纹孔，所述压板2上对应所述螺纹孔的位置开有固定孔，固定螺栓穿过所述固定孔后旋拧于所述螺纹孔内以将所述压板2固定于所述支座4上，所述压板2的中心处设置用于压紧晶圆、盖板的本体部19，且所述压板2位于所述本体部19的外周开设有多个通孔20以形成多条压筋21，所述的多条压筋21沿圆周方向间隔均布，所述压板2的上端面上连接有定位座5，所述定位座5的中心处连接有定位块6，所述定位块6上开有定位槽，所述底座5上固定连接有固定座7，所述压臂3的一端铰接于所述固定座7上，且所述压臂3的另一端设置有与所述定位槽相配合的压头8。为了便于调节压紧力，本实施例中，所述压头8固定于连接杆22的第一端端头，所述压臂3上开有螺纹孔，并螺纹连接有压杆23，所述压杆23的一端具有一旋拧部24，且所述压杆23的另一端穿过所述压臂3，所述压杆23的另一端端头处设置有一抵压部25，所述压杆23沿其轴向开设有贯穿孔，所述连接杆22的第二端经所述贯穿孔向所述旋拧部24处延伸，且所述连接杆22的第二端端头设置有防脱块26，所述防脱块26位于所述贯穿孔外部，且所述防脱块26的外径大于所述贯穿孔的孔径，所述连接杆22上套设有弹簧27，且所述连接杆22上邻近所述压头8处设置有弹簧固定部28，所述弹簧27的一端抵靠在所述弹簧固定部28上，且所述弹簧27的另一端抵靠在所述抵压部25上。贴片时，为了保证压头8可靠的顶压在定位块6的定位槽中，本实施例还设置有用于锁紧压臂3的锁紧销，具体的，所述固定座7上开有第一锁紧孔9，所述压臂3上开有第二锁紧孔10；贴片时，所述压头8顶压于所述定位槽内，锁紧销穿过所述第一锁紧孔9、所述第二锁紧孔10以锁定所述压臂3。为了保证晶圆稳定可靠的吸附于支座4上，本实施例中，所述支座4上设置有十字形结构的通气槽16，所述通气槽16与所述抽气孔11相连通，所述支座4上设置有若干个外径各不相同的环形槽17，所述的若干个环形槽17同心设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光分路器晶圆贴片用工装，包括工装本体，其特征在于：所述工装本体包括底座、压板、压臂及用于承载晶圆、盖板的支座，所述支座的中心处开有抽气孔，且所述支座的一端设置有抽气接头，所述抽气接头与真空泵相连，所述支座内开有抽气通道以使得所述抽气孔与所述抽气接头相连通，所述支座的上端面上设置有用于定位晶圆、盖板的定位组件，且所述支座的上端面上固定设置有定位柱，所述压板上开有与所述定位柱相配合的定位孔，且所述压板能拆卸的连接于所述支座的上端面上，所述压板的中心处设置有用于压紧晶圆、盖板的本体部，且所述压板位于所述本体部的外周开设有多个通孔以形成多条压筋，所述的多条压筋沿圆周方向间隔均布，所述压板的上端面上连接有定位座，所述定位座的中心处连接有定位块，所述定位块上开有定位槽，所述底座上固定连接有固定座，所述压臂的一端铰接于所述固定座上，且所述压臂的另一端设置有与所述定位槽相配合的压头。/n

【技术特征摘要】
1.一种光分路器晶圆贴片用工装，包括工装本体，其特征在于：所述工装本体包括底座、压板、压臂及用于承载晶圆、盖板的支座，所述支座的中心处开有抽气孔，且所述支座的一端设置有抽气接头，所述抽气接头与真空泵相连，所述支座内开有抽气通道以使得所述抽气孔与所述抽气接头相连通，所述支座的上端面上设置有用于定位晶圆、盖板的定位组件，且所述支座的上端面上固定设置有定位柱，所述压板上开有与所述定位柱相配合的定位孔，且所述压板能拆卸的连接于所述支座的上端面上，所述压板的中心处设置有用于压紧晶圆、盖板的本体部，且所述压板位于所述本体部的外周开设有多个通孔以形成多条压筋，所述的多条压筋沿圆周方向间隔均布，所述压板的上端面上连接有定位座，所述定位座的中心处连接有定位块，所述定位块上开有定位槽，所述底座上固定连接有固定座，所述压臂的一端铰接于所述固定座上，且所述压臂的另一端设置有与所述定位槽相配合的压头。


2.根据权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片用工装，其特征在于：所述压头固定于连接杆的第一端端头，所述压臂上开有螺纹孔，并螺纹连接有压杆，所述压杆的一端具有一旋拧部，且所述压杆的另一端穿过所述压臂，所述压杆的另一端端头处设置有一抵压部，所述压杆沿其轴向开设有贯穿孔，所述连接杆的第二端经所述贯穿孔向所述旋拧部处延伸，且所述连接杆的第二端端头设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟继鑫，
申请(专利权)人：无锡市芯飞通光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32