【技术实现步骤摘要】
一种键合丝台式退火炉
本技术涉及退火炉
，具体讲是一种键合丝台式退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，键合金丝是集成电路中用作连接线的金合金丝，又称球焊金丝或引线金丝，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，然而经分析发现，现有的退火炉在开火初期升温较慢，导致燃气消耗比较多的问题。
技术实现思路
因此，为了解决上述不足，本技术在此提供一种键合丝台式退火炉，具有能够在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且能够在换料间隔期间进行保温，避免热量流失问题的优点。本技术是这样实现的，构造一种键合丝台式退火炉，包括退火炉机体和底座，退火炉...
【技术保护点】
1.一种键合丝台式退火炉，包括退火炉机体（1）和底座（3），其特征在于：所述退火炉机体（1）的一侧设有封闭门（2），所述退火炉机体（1）的端部安装有鼓风机（5），所述鼓风机（5）的一侧连通有进风管（9），所述进风管（9）的对侧具有排风管（10），所述排风管（10）的内部设有净化芯（11），且所述进风管（9）和排风管（10）均与所述退火炉机体（1）连通，所述退火炉机体（1）的侧面设有电热装置（6），所述底座（3）设置于所述退火炉机体（1）的底部，所述底座（3）包括底端出焰结构（7）和侧出焰结构（8），所述底端出焰结构（7）由第二进气管（4）、第二连接管（17）、底端排管（18...
【技术特征摘要】
1.一种键合丝台式退火炉，包括退火炉机体（1）和底座（3），其特征在于：所述退火炉机体（1）的一侧设有封闭门（2），所述退火炉机体（1）的端部安装有鼓风机（5），所述鼓风机（5）的一侧连通有进风管（9），所述进风管（9）的对侧具有排风管（10），所述排风管（10）的内部设有净化芯（11），且所述进风管（9）和排风管（10）均与所述退火炉机体（1）连通，所述退火炉机体（1）的侧面设有电热装置（6），所述底座（3）设置于所述退火炉机体（1）的底部，所述底座（3）包括底端出焰结构（7）和侧出焰结构（8），所述底端出焰结构（7）由第二进气管（4）、第二连接管（17）、底端排管（18）和底端出焰管（19）构成，所述第二进气管（4）设置于所述第二连接管（17）的外侧面，所述底端排管（18）具有多个，分别平行排布于所述第二连接管（17）的内侧面，所述底端出焰管（19）竖立设置于所述底端排管（18）的顶部，且所述底端出焰管（19）与所述底端排管（18）连通，所述底端排管（18）和第二进气管（4）均与所述第二连接管（17）连通，所述侧出焰结构（8）设置于所述底端出焰结构（7）顶端，所述侧出焰结构（8）由第一进气管（15）、第一连接管（16）、侧排管（12）和侧出焰管（13）构成，所述第一进气管（15）设置于所述第一连接管（16）的外侧面，所述侧排管（12）具有两个，分别对称排布于所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵衡，
申请(专利权)人：江西中易微连新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36
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