一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统技术方案

一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，通过在再生气进气前端的管路上设有再生压力监控装置，包括依次设置第九气动阀、波纹管计量阀、单向阀、压力变送器，第九气动阀的入口分别与第四气动阀、第二气动阀的出口相连，压力变送器的出口分别与第五气动阀、第七气动阀的进口相连。通过波纹管计量阀的调节纯化罐的再生气压力，当主气动阀发生泄漏而造成纯化罐内压力升高，超过调节的设定压力值后，将触发压力变送器的超压报警，从而有效起到再生压力监控功能。

A purification system with regeneration pressure monitoring function of purification tank

【技术实现步骤摘要】
一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统
本技术涉及气体处理、纯化再生领域，尤其涉及一种半导体电子气行业使用的具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统。
技术介绍
如图1所示的为现有技术下的纯化系统，其纯化过程为：工艺气体通过进气口(FEEDGAS)进入纯化系统，通过主气动阀AV1A进入纯化罐A进行纯化，再通过主气动阀AV2A从出气口(PURIFIEDGAS)排出，供客户后端使用。此纯化系统设计为全自动原位再生系统，使用双罐并联结构，一启用一备用，当纯化罐A进行纯化时，纯化罐B处于待机状态，而当纯化罐A内材料除杂能力饱和后，立即切换至纯化罐B纯化，并对饱和的纯化罐A进行再生，从而实现连续不间断的向客户后端供气。再生过程：在纯化罐B进行纯化时，对纯化罐A进行再生。气动阀AV1B、AV2B处于打开状态正常纯化，供后端使用高纯气，其它所有阀门处于关闭状态。启动再生，首先打开气动阀AV4A，AV3A，纯化罐B纯化后的超高纯工艺气通过气动阀AV4A进入纯化罐A，对纯化罐A进行再生，再生后尾气通过散热装置、气动阀AV3A，再经尾气管路排出。此再生过程，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，包括第一纯化罐(A)和第二纯化罐(B)，第一纯化罐(A)一端通过第一气动阀(AV1A)连接至进气口，另一端通过第二气动阀(AV2A)连接至出气口，第二纯化罐两端分别通过第三气动阀(AV1B)、第四气动阀(AV2B)与第一纯化罐(A)并联；第四气动阀(AV2B)出口通过依次连接第五气动阀(AV4A)、第一纯化罐(A)、再生尾气散热装置(C)、第六气动阀(AV3A)后接入尾气管路；第二气动阀(AV2A)出口通过依次连接第七气动阀(AV4B)、第二纯化罐(B)、再生尾气散热装置(C)、第八气动阀(AV3B)后接入尾气管路，其特征在于：在第四气动阀(AV2...

【技术特征摘要】
1.一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，包括第一纯化罐(A)和第二纯化罐(B)，第一纯化罐(A)一端通过第一气动阀(AV1A)连接至进气口，另一端通过第二气动阀(AV2A)连接至出气口，第二纯化罐两端分别通过第三气动阀(AV1B)、第四气动阀(AV2B)与第一纯化罐(A)并联；第四气动阀(AV2B)出口通过依次连接第五气动阀(AV4A)、第一纯化罐(A)、再生尾气散热装置(C)、第六气动阀(AV3A)后接入尾气管路；第二气动阀(AV2A)出口通过依次连接第七气动阀(AV4B)、第二纯化罐(B)、再生尾气散热装置(C)、第八气动阀(AV3B)后接入尾气管路，其特征在于：在第四气动阀(AV2B)出口至第五气动阀(AV4A)及第二气动阀(AV2A)出口至第七...

【专利技术属性】
技术研发人员：江晓松，
申请(专利权)人：上海先普气体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31