高纯液体化学品的洁净灌装系统技术方案

一种高纯液体化学品的洁净灌装系统，属于化工设备技术领域：包括无尘罐装箱、第一法兰、第二法兰、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第六管路、第七管路、涡轮流量计、第一过滤器、第二过滤器、气相平衡罐、水枪以及超纯水罐，无尘灌装箱在朝向超纯液体成品罐一侧的侧壁上间隔设有第一法兰和第二法兰，无尘灌装箱在箱体内设有用于与槽罐的进料管连接的出料管以及用于与槽罐的平衡气管连接的出料平衡管。优点：可替代价格昂贵的进口灌装系统实现超纯化学品的槽罐灌装，也无需建立无尘室，并且灌装操作方便，安全、环保，不会对环境造成污染；整体结构简单，投入成本少，占用空间小。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于化工设备
，具体涉及一种高纯液体化学品的洁净灌装系统。
技术介绍
随着国内外电子、半导体、太阳能、LED等大中型企业对超纯化学品需求的不断增加，超纯化学品生产厂家在国内不断发展，对超纯化学品的生产、测试、灌装、包装、取样等各个环节都有了全新的要求。目前，就超纯化学品的槽罐灌装，普遍采用的方法是：进口灌装系统配合快速接头，这样的方式科学、合理，但投入成本高。鉴于上述已有技术，本申请人作了有益的设计，下面将要介绍的技术方案便是在这种背景下产生的。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高纯液体化学品的洁净灌装系统，便捷、安全、投入成本低。本技术的目的是这样来达到的，一种高纯液体化学品的洁净灌装系统，其特征在于：包括无尘罐装箱、第一法兰、第二法兰、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第六管路、第七管路、涡轮流量计、第一过滤器、第二过滤器、气相平衡罐、水枪以及超纯水罐，所述的无尘灌装箱在朝向超纯液体成品罐一侧的侧壁上间隔设有第一法兰和第二法兰，无尘灌装箱在箱体内设有用于与槽罐的进料管连接的出料管以及用于与槽罐的平衡气管连接的出料平衡管，所述出料管连接第一法兰，所述的出料平衡管连接第二法兰，所述的第一法兰通过第一管路连接所述的涡轮流量计，涡轮流量计通过法兰连接第一过滤器，第一过滤器通过第二管路连接超纯液体成品罐，所述的第二法兰连接第三管路，所述的第三管路又分别与第四管路和第五管路连接，所述的第四管路与气相平衡罐连接，所述的第五管路连接第二过滤器，所述的第二过滤器通过第六管路连接氮气源，所述的水枪设置在无尘罐装箱内，水枪通过第七管路连接超纯水罐。在本技术的一个具体的实施例中，所述的无尘罐装箱在顶部设有风机，风机在风口处配设过滤装置。在本技术的另一个具体的实施例中，所述的第一管路上设有第一阀门，所述的第二管路上设有第二阀门，所述的第三管路上设有第三阀门，所述的第四管路上设有第四阀门，所述的第五管路上设有第五阀门，所述的第六管路上设有第六阀门，所述的第七管路上设有水球阀。在本技术的又一个具体的实施例中，所述的第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门以及第六阀门均为隔膜阀且内衬PFA。在本技术的再一个具体的实施例中，所述的第一法兰和第二法兰均内衬PTFE。在本技术的还有一个具体的实施例中，所述的涡轮流量计内衬PTFE。在本技术的更而一个具体的实施例中，所述的水枪为PVDF水枪。本技术由于采用了上述结构，与现有技术相比，具有的有益效果是：可替代价格昂贵的进口灌装系统实现超纯化学品的槽罐灌装，也无需建立无尘室，并且灌装操作方便，安全、环保，不会对环境造成污染；整体结构简单，投入成本少，占用空间小。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：1.无尘罐装箱；2.第一法兰；3.第二法兰；4.第一管路；5.涡轮流量计；6.第一过滤器；7.第二管路；8.第三管路；9.第四管路；10.第五管路；11.气相平衡罐；12.第二过滤器；13.第六管路；14.水枪；15.第七管路；16.超纯水罐；17.超纯液体成品罐；18.槽罐；19.第一阀门；20.第二阀门；21.第三阀门；22.第四阀门；23.第五阀门；24.第六阀门；25.水球阀。具体实施方式为了使公众能充分了解本技术的技术实质和有益效果，申请人将在下面结合附图对本技术的具体实施方式详细描述，但申请人对实施例的描述不是对技术方案的限制，任何依据本技术构思作形式而非实质的变化都应当视为本技术的保护范围。请参阅图1，本技术涉及一种高纯液体化学品的洁净灌装系统，包括无尘罐装箱1、第一法兰2、第二法兰3、第一管路4、第二管路7、第三管路8、第四管路9、第五管路10、第六管路13、第七管路15、涡轮流量计5、第一过滤器6、第二过滤器12、气相平衡罐11、水枪14以及超纯水罐16。所述的第一过滤器6和第二过滤器12配设0.05um滤芯。所述的无尘灌装箱1在朝向超纯液体成品罐17一侧的侧壁上间隔设有第一法兰2和第二法兰3，所述的第一法兰2和第二法兰3均内衬PTFE（聚四氟乙烯）。无尘罐装箱1在顶部设有风机，风机在风口处配设过滤装置。无尘灌装箱1在箱体内设有用于与槽罐18的进料管作法兰连接的出料管以及用于与槽罐18的平衡气管作法兰连接的出料平衡管，所述的出料管和所述的平衡气管通过法兰分别连接有快速接头，出料管连接第一法兰2，出料平衡管连接第二法兰3。所述的第一法兰2通过第一管路4连接所述的涡轮流量计5，涡轮流量计5内衬PTFE（聚四氟乙烯），涡轮流量计5通过法兰连接第一过滤器6，第一过滤器6通过第二管路7连接超纯液体成品罐17。所述的第二法兰3连接第三管路8，所述的第三管路8又分别与第四管路9和第五管路10连接。所述的第四管路9与气相平衡罐11连接，所述的第五管路10连接第二过滤器12，所述的第二过滤器12通过第六管路13连接氮气源。所述的水枪14设置在无尘罐装箱1内，水枪14通过第七管路15连接超纯水罐16，所述的水枪14为PVDF（聚偏氟乙烯）水枪，所述的第七管路15为PVC（聚氯乙烯）超纯水管。所述的第一管路4上设有第一阀门19，所述的第二管路7上设有第二阀门20，所述的第三管路8上设有第三阀门21，所述的第四管路9上设有第四阀门22，所述的第五管路10上设有第五阀门23，所述的第六管路13上设有第六阀门24，所述的第七管路15上设有水球阀25。所述的第一阀门19、第二阀门20、第三阀门21、第四阀门22、第五阀门23以及第六阀门24均为隔膜阀且内衬PFA（可溶性聚四氟乙烯）。请继续参阅图1，本技术的灌装操作包括如下步骤：S1)打开水球阀25，通过水枪14对无尘罐装箱1的四周内壁进行冲洗，冲洗洁净后开启无尘罐装箱1顶部的风机（开启15min后方可进行连接操作），该步骤是为了确保无尘罐装箱1内的空气被置换成洁净的空气；S2)一操作员穿好防护服，戴好防护目镜和防腐防护手套后进入无尘罐装箱1；S3)另一操作员在无尘灌装箱1内将槽罐18的进料管和平衡气管递给无尘罐装箱1内的作业员；S4)无尘灌装箱1内的操作员拆除槽罐18的进料管、平衡气管与法兰连接的快速接头，并将快速接头放入准备好的PE袋内，避免污染，无尘灌装箱1外的操作员将槽罐18进料管和平衡气管微微抬起并使位于箱外的部分高于箱内的部分，无尘灌装箱1内的操作员用水枪14冲洗槽罐18的进料管和平衡气管的法兰端，冲洗时间为15s；再用水枪14冲洗无尘灌装箱1内的出料管和出料平衡管的法兰端，冲洗时间为15s；S5)无尘灌装箱1外的操作员手托槽罐18的进料管和平衡气管，无尘灌装箱1内的操作员将其与出料管和出料平衡管连接；S6)打开槽罐18顶部配设的进料管阀门和平衡气管阀门；S7)打开第一阀门19、第二阀门20、第三阀门21以及第四阀门22；S8)开启超纯液体成品罐17的循环泵，进行灌装；S9)灌装结束后，关闭循环泵，关闭槽罐18的进料管和平衡气管阀门，同时关闭第一阀门19、第二阀门20、第三阀门21以及第四阀门22；S10)依次拆除槽罐18的平衡气管及进料管，用水枪14冲洗进料管法兰、平衡气管法兰、出料管法兰、出料平衡管法兰，冲洗时间为15s；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯液体化学品的洁净灌装系统，其特征在于：包括无尘罐装箱(1)、第一法兰(2)、第二法兰(3)、第一管路(4)、第二管路(7)、第三管路(8)、第四管路(9)、第五管路(10)、第六管路(13)、第七管路(15)、涡轮流量计(5)、第一过滤器(6)、第二过滤器(12)、气相平衡罐(11)、水枪(14)以及超纯水罐(16)，所述的无尘灌装箱(1)在朝向超纯液体成品罐(17)一侧的侧壁上间隔设有第一法兰(2)和第二法兰(3)，无尘灌装箱(1)在箱体内设有用于与槽罐(18)的进料管连接的出料管以及用于与槽罐(18)的平衡气管连接的出料平衡管，所述出料管连接第一法兰(2)，所述的出料平衡管连接第二法兰(3)，所述的第一法兰(2)通过第一管路(4)连接所述的涡轮流量计(5)，涡轮流量计(5)通过法兰连接第一过滤器(6)，第一过滤器(6)通过第二管路(7)连接超纯液体成品罐(17)，所述的第二法兰(3)连接第三管路(8)，所述的第三管路(8)又分别与第四管路(9)和第五管路(10)连接，所述的第四管路(9)与气相平衡罐(11)连接，所述的第五管路(10)连接第二过滤器(12)，所述的第二过滤器(12)通过第六管路(13)连接氮气源，所述的水枪(14)设置在无尘罐装箱(1)内，水枪(14)通过第七管路(15)连接超纯水罐(16)。...

【技术特征摘要】
1.一种高纯液体化学品的洁净灌装系统，其特征在于：包括无尘罐装箱(1)、第一法兰(2)、第二法兰(3)、第一管路(4)、第二管路(7)、第三管路(8)、第四管路(9)、第五管路(10)、第六管路(13)、第七管路(15)、涡轮流量计(5)、第一过滤器(6)、第二过滤器(12)、气相平衡罐(11)、水枪(14)以及超纯水罐(16)，所述的无尘灌装箱(1)在朝向超纯液体成品罐(17)一侧的侧壁上间隔设有第一法兰(2)和第二法兰(3)，无尘灌装箱(1)在箱体内设有用于与槽罐(18)的进料管连接的出料管以及用于与槽罐(18)的平衡气管连接的出料平衡管，所述出料管连接第一法兰(2)，所述的出料平衡管连接第二法兰(3)，所述的第一法兰(2)通过第一管路(4)连接所述的涡轮流量计(5)，涡轮流量计(5)通过法兰连接第一过滤器(6)，第一过滤器(6)通过第二管路(7)连接超纯液体成品罐(17)，所述的第二法兰(3)连接第三管路(8)，所述的第三管路(8)又分别与第四管路(9)和第五管路(10)连接，所述的第四管路(9)与气相平衡罐(11)连接，所述的第五管路(10)连接第二过滤器(12)，所述的第二过滤器(12)通过第六管路(13)连接氮气源，所述的水枪(14)设置在无尘罐装箱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海，曹文明，
申请(专利权)人：江苏达诺尔科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32