氢气再生-氮气吹扫一体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了氢气再生

【技术实现步骤摘要】
氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置


[0001]本技术涉及氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，属于气体再生装置


技术介绍

[0002]随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。为此就需要对氢气进行纯化，另外在纯化过程后，由于氢气的性质较为活泼，为此在保存时，需要添加一部分的惰性气体，例如氮气，从而催生出纯化的逆过程，即再生过程，然而，目前的再生过程来说，程序复杂，且氢气的再生效果并不高，严重制约着氢气的纯化再生过程，另外，在氢气再生过程中，需要对纯化罐外部进行吹扫，以便使的纯化罐外部的环境得到保障，且主要是利用氮气吹扫方式进行吹扫，但是在目前吹扫过程中，主要是针对纯化罐的某一方位进行吹扫，且氮气的温度处于恒定状态，为此针对氮气需要实现多方位吹扫，且氮气温度不处于同一值时，设计一种氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置很有必要。

技术实现思路

[0003]本技术针对上述
技术介绍
所提及的技术问题，而采用以下技术方案来实现：
[0004]氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，包括罐体，所述罐体的内部设有纯化罐，所述罐体上分别设有氢气再生组件和氮气吹扫组件，所述氢气再生组件包括设在罐体内部的换热器，所述纯化罐的底部通过第一导管与换热器相连通，并伸出罐体，且伸出罐体的第一导管的端部连通有散热器，所述散热器的一端连通有两个支管，其中一个所述支管上分别连通有球阀和第一安全阀，且第一安全阀位于所述支管的端部，另一个所述支管上分别连通有第四气动隔膜阀和针阀流量计，所述纯化罐的顶部通过第二导管与换热器相连通，且所述第二导管的一端伸出罐体，并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀、第一加热器、第一止回阀、第一压力调节器和第四手动阀；
[0005]所述氮气吹扫组件包括设在罐体内底部的第一吹扫管，且第一吹扫管的一端端部靠近纯化罐的底部，所述第一吹扫管的另一端贯穿罐体，并依次安装有第二加热器、第二止回阀、流量计、针阀
‑
气动隔膜阀组、第二压力调节器和第五手动阀，所述罐体的内部还连通有第二吹扫管，所述第二吹扫管的一端端部靠近纯化罐的顶部，所述第二吹扫管的另一端贯穿罐体，并依次连通有第三气动隔膜阀、第二安全阀、第二手动阀和过滤器，所述罐体上还连通有氮气蒸发管。
[0006]作为优选实例，所述罐体包括内筒和外壳，所述内筒套设在外壳内，所述外壳与内筒二者之间设有空隙，所述内筒的外侧壁上连通有第三导管，所述第三导管的一端贯穿空隙和外壳，并连通有第一手动阀，器贯穿空隙和外壳的第三导管的端部分别连通有两个第四导管，其中一个所述第四导管上安装有第二手动阀，另一个所述第四导管上安装有液位表，两个所述第四导管的另一端共同连通有第五导管，且所述第五导管上连通有第三手动阀，所述第五导管的一端端部贯穿外壳和空隙，并与内筒的内底部相连通。
[0007]作为优选实例，所述换热器的结构为套管式换热器，所述第一导管套接在套管式换热器的外层，所述第二导管套接在套管式换热器的内层。
[0008]作为优选实例，所述针阀
‑
气动隔膜阀组包括两个针阀和两个第四气动隔膜阀，且其中一个针阀和其中一个第四气动隔膜阀相连通，且其中一个针阀、其中一个第四气动隔膜阀以及第一吹扫管所形成的整体与另一个针阀、另一个第四气动隔膜阀和第一吹扫管呈并联关系。
[0009]作为优选实例，所述第二吹扫管的DN为15mm，氮气蒸发管的DN为25mm。
[0010]作为优选实例，所述第二安全阀上连通有φ为8mm的管路。
[0011]需要说明的是，依次打开第一手动阀门、第二手动阀、第三手动阀、使得位于纯化罐内部的原料气进过第三导管、两个第四导管和第五导管再回到纯化罐的底部，并通过液位表进行观察纯化罐内部的液位情况。
[0012]另外还需说明的是，纯化罐的侧壁还分别设有两个测温点，以便知晓纯化罐内部的温度情况。
[0013]本技术的有益效果是：本装置主要通过纯化罐、换热器、第一导管、第一气动隔膜阀、散热器、支管、球阀、安全阀、第二气动隔膜阀、针阀流量计、加热器、止回阀、压力调节器、手动阀、第二导管，来提升氢气的再生效果，并且反应过程简单，易于操作，另外有利用第一吹扫管所经过的热的氮气，第二吹扫管所经过冷的氮气对纯化罐进行吹扫，且用于纯化罐的特性，使得第一吹扫管对纯化罐底部进行吹扫，第二吹扫管对纯化罐顶部进行吹扫，最后利用氮气经过氮气蒸发管从罐体中流出，相比于现有的氮气吹扫方式来说，吹扫效果好，效率快，从而为纯化罐内部的纯化提供良好的条件。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图中：罐体1、纯化罐2、换热器3、第一导管4、第一气动隔膜阀5、散热器6、支管7、球阀8、第一安全阀9、第二气动隔膜阀10、针阀流量计11、内筒12、外壳13、第三导管14、第一手动阀15、第四导管16、第二手动阀17、第五导管18、第三手动阀19、第一加热器20、第一止回阀21、压力调节器22、第四手动阀23、第二导管24、液位表25、第二吹扫管26、第三气动隔膜阀27、第二安全阀28、第七手动阀29、过滤器30、氮气蒸发管 31、第一吹扫管32、第二加热器33、第二止回阀34、流量计35、针阀36、第四气动隔膜阀37、第二压力调节器38、第五手动阀39。
具体实施方式
[0016]为了对本技术的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。
[0017]如图1所示，氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，包括罐体1，罐体1的内部设有纯化罐2，罐体1上分别设有氢气再生组件和氮气吹扫组件，氢气再生组件包括设在罐体1内部的换热器3，纯化罐2的底部通过第一导管4与换热器3相连通，并伸出罐体1，且伸出罐体1的第一导管4的端部连通有散热器6，散热器6的一端连通有两个支管7，其中一个支管7上分别连通有球阀8和第一安全阀9，且第一安全阀9位于支管7的端部，另一个支管7 上分别连通有第四
气动隔膜阀37和针阀流量计11，纯化罐2的顶部通过第二导管24与换热器3相连通，且第二导管24的一端伸出罐体1，并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀5、第一加热器20、第一止回阀21、第一压力调节器22和第四手动阀23；
[0018]氮气吹扫组件包括设在罐体1内底部的第一吹扫管32，且第一吹扫管 32的一端端部靠近纯化罐2的底部，第一吹扫管32的另一端贯穿罐体1，并依次安装有第二加热器33、第二止回阀34、流量计35、针阀
‑
气动隔膜阀组、第二压力调节器38和第五手动阀39，罐体1的内部还连通有第二吹扫管26，第二吹扫管26的一端端部靠近纯化罐2的顶部，第二吹扫管26的另一端贯穿罐体1，并依次连通有第三气动隔膜阀27、第二安全阀28、第七手动阀29和过滤器30，罐体1上还连通有氮气蒸发管31。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，包括罐体(1)，所述罐体(1)的内部设有纯化罐(2)，所述罐体(1)上分别设有氢气再生组件和氮气吹扫组件，其特征在于，所述氢气再生组件包括设在罐体(1)内部的换热器(3)，所述纯化罐(2)的底部通过第一导管(4)与换热器(3)相连通，并伸出罐体(1)，且伸出罐体(1)的第一导管(4)的端部连通有散热器(6)，所述散热器(6)的一端连通有两个支管(7)，其中一个所述支管(7)上分别连通有球阀(8)和第一安全阀(9)，且第一安全阀(9)位于所述支管(7)的端部，另一个所述支管(7)上分别连通有第四气动隔膜阀(37)和针阀流量计(11)，所述纯化罐(2)的顶部通过第二导管(24)与换热器(3)相连通，且所述第二导管(24)的一端伸出罐体(1)，并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀(5)、第一加热器(20)、第一止回阀(21)、第一压力调节器(22)和第四手动阀(23)；所述氮气吹扫组件包括设在罐体(1)内底部的第一吹扫管(32)，且第一吹扫管(32)的一端端部靠近纯化罐(2)的底部，所述第一吹扫管(32)的另一端贯穿罐体(1)，并依次安装有第二加热器(33)、第二止回阀(34)、流量计(35)、针阀
‑
气动隔膜阀组、第二压力调节器(38)和第五手动阀(39)，所述罐体(1)的内部还连通有第二吹扫管(26)，所述第二吹扫管(26)的一端端部靠近纯化罐(2)的顶部，所述第二吹扫管(26)的另一端贯穿罐体(1)，并依次连通有第三气动隔膜阀(27)、第二安全阀(28)、第七手动阀(29)和过滤器(30)，所述罐体(1)上还连通有氮气蒸发管(31)。2.根据权利要求1所述的氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，其特征在于：所述罐体(1)包括内筒(12)和外壳(...

【专利技术属性】
技术研发人员：江晓松，
申请(专利权)人：上海先普气体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：