氢气再生-氮气吹扫一体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了氢气再生

【技术实现步骤摘要】
氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置


[0001]本技术涉及氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，属于气体再生装置


技术介绍

[0002]随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。为此就需要对氢气进行纯化，另外在纯化过程后，由于氢气的性质较为活泼，为此在保存时，需要添加一部分的惰性气体，例如氮气，从而催生出纯化的逆过程，即再生过程，然而，目前的再生过程来说，程序复杂，且氢气的再生效果并不高，严重制约着氢气的纯化再生过程，另外，在氢气再生过程中，需要对纯化罐外部进行吹扫，以便使的纯化罐外部的环境得到保障，且主要是利用氮气吹扫方式进行吹扫，但是在目前吹扫过程中，主要是针对纯化罐的某一方位进行吹扫，且氮气的温度处于恒定状态，为此针对氮气需要实现多方位吹扫，且氮气温度不处于同一值时，设计一种氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置很有必要。

技术实现思路

[0003]本技术针对上述
技术介绍
所提及的技术问题，而采用以下技术方案来实现：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，包括罐体(1)，所述罐体(1)的内部设有纯化罐(2)，所述罐体(1)上分别设有氢气再生组件和氮气吹扫组件，其特征在于，所述氢气再生组件包括设在罐体(1)内部的换热器(3)，所述纯化罐(2)的底部通过第一导管(4)与换热器(3)相连通，并伸出罐体(1)，且伸出罐体(1)的第一导管(4)的端部连通有散热器(6)，所述散热器(6)的一端连通有两个支管(7)，其中一个所述支管(7)上分别连通有球阀(8)和第一安全阀(9)，且第一安全阀(9)位于所述支管(7)的端部，另一个所述支管(7)上分别连通有第四气动隔膜阀(37)和针阀流量计(11)，所述纯化罐(2)的顶部通过第二导管(24)与换热器(3)相连通，且所述第二导管(24)的一端伸出罐体(1)，并从左到由依次连通有第一气动隔膜阀(5)、第一加热器(20)、第一止回阀(21)、第一压力调节器(22)和第四手动阀(23)；所述氮气吹扫组件包括设在罐体(1)内底部的第一吹扫管(32)，且第一吹扫管(32)的一端端部靠近纯化罐(2)的底部，所述第一吹扫管(32)的另一端贯穿罐体(1)，并依次安装有第二加热器(33)、第二止回阀(34)、流量计(35)、针阀
‑
气动隔膜阀组、第二压力调节器(38)和第五手动阀(39)，所述罐体(1)的内部还连通有第二吹扫管(26)，所述第二吹扫管(26)的一端端部靠近纯化罐(2)的顶部，所述第二吹扫管(26)的另一端贯穿罐体(1)，并依次连通有第三气动隔膜阀(27)、第二安全阀(28)、第七手动阀(29)和过滤器(30)，所述罐体(1)上还连通有氮气蒸发管(31)。2.根据权利要求1所述的氢气再生
‑
氮气吹扫一体装置，其特征在于：所述罐体(1)包括内筒(12)和外壳(...

【专利技术属性】
技术研发人员：江晓松，
申请(专利权)人：上海先普气体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：