一种晶圆片传输装置以及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆片传输装置以及方法，包括：用于拿取和传送晶圆片的机械手；带动所述机械手在竖直方向移动的竖直移动机构；第一位移传感器，获取第一目标晶圆片在装载端口在竖直方向上的第一位置信息；第二位移传感器，获取临时装载区的第一目标存储位置在竖直方向上的第二位置；存储器和控制器，采用本发明专利技术的晶圆片传输装置，在拿取以及传送第一目标晶圆片之前就自行调整机械手的竖直高度，而不是传送到位时再进行对位，从而节省了传送时间，进而提高了晶圆片的传输效率。

A transmission device and method of wafer

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片传输装置以及方法
本专利技术涉及半导体加工
，更具体地说，涉及一种晶圆片传输装置以及方法。
技术介绍
在半导体工艺设备需要有将晶圆由外在的装置将晶圆置入设备中，并在设备内设置一临时晶圆片承载区，尤其是以单晶圆清洗设备，在晶圆片的承载区是将整入25片/26片的晶圆托篮内的晶圆转放于一临时承载区(Bufferslot)，后藉由一多轴向的机械手臂一次拿取一片晶圆进行工艺流程。但一般的晶圆承载区的每片晶圆的间距是等同间距，使夹取单晶圆片的机械手臂与临时承载区的相对位置需要透过机构的垂直升降动作与程序控制使其对正后再次拿取下一个晶圆片，从而影响了拿取晶圆片的工作效率。因此，如何提高晶圆片的传输效率，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术所要解决的技术问题是如何提高晶圆片的传输效率，为此，本专利技术提供了一种晶圆片传输装置以及方法。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆片传输装置，所述晶圆片传输装置位于装载端口与临时装载区之间，所述晶圆片传输装置包括：用于拿取和传送晶圆片的机械手；带动所述机械手在竖直方向移动的竖直移动机构；第一位移传感器，获取第一目标晶圆片在装载端口在竖直方向上的第一位置信息；第二位移传感器，获取临时装载区的第一目标存储位置在竖直方向上的第二位置；存储器和控制器，所述存储器存储有计算机可读程序代码，所述控制器用以执行所述计算机可读程序代码以控制晶圆片传输装置实现：<br>接收第一位置信息；根据所述第一位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第一目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第一目标移动距离，所述机械手拿取第一目标晶圆片；接收所述第二位置信息；根据所述第二位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第二目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第二目标移动距离，所述机械手将所述第一目标晶圆片传送至所述第一目标存储位置。本专利技术其中一个实施例中，还包括：第三位移传感器，获取第二目标晶圆片在临时装载区在竖直方向上的第三位置信息；第四位移传感器，获取装载端口的第二目标存储位置在竖直方向上的第四位置；所述控制器控制晶圆片传输装置还能实现：接收第三位置信息；根据所述第三位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第三目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第三目标移动距离，所述机械手拿取第三目标晶圆片；接收所述第四位置信息；根据所述第四位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第四目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第四目标移动距离，所述机械手将所述第二目标晶圆片传送至所述第二目标存储位置。本专利技术其中一个实施例中，还包括水平移动机构，所述水平移动机构用于驱动所述竖直移动机构在水平方向移动，所述水平移动机构对应多个装载端口。本专利技术其中一个实施例中，所述机械手包括：固定在所述竖直移动机构的移动端上的支撑板；可旋转的设置在所述支撑板上的机械主体；和驱动所述机械主体旋转的旋转机构。本专利技术其中一个实施例中，所述机械主体包括旋转的设置在所述支撑板上的支撑架；设置在所述支撑架上的第一伸缩臂，所述第一伸缩臂的伸缩端设置有用于夹持晶圆片的第一加持手；设置在所述支撑架的第二伸缩臂，所述第二伸缩臂的伸缩端设置有用于夹持晶圆片的第二加持手；所述第一伸缩臂和所述第二伸缩臂沿竖直方向布置，所述第一伸缩臂与所述第二伸缩臂之间具有容纳所述第一加持手和所述第二加持手伸缩时的避位通道。本专利技术其中一个实施例中，所述支撑架上设置有第一限位开关，所述第一限位开关响应所述第一加持手拿取第一目标晶圆片到位信息，并驱动所述旋转机构旋转第一预设角度；所述支撑架上设置有第二限位开关，所述第二限位开关响应所述第一加持手传送第一目标晶圆片到位信息，并驱动所述旋转机构旋转第二预设角度；所述支撑架上设置有第三限位开关，所述第三限位开关响应所述第二加持手拿取第二目标晶圆片到位信息，并驱动所述旋转机构旋转第三预设角度；所述支撑架上设置有第四限位开关，所述第四限位开关响应所述第二加持手传送第二目标晶圆片到位信息，并驱动所述旋转机构旋转第三预设角度。本专利技术其中一个实施例中，所述第一伸缩臂与所述第一加持手上设置有能够在竖直方向进行微调的第一微型气缸；所述第二伸缩臂与所述第二加持手上设置有能够在竖直方向进行微调的第二微型气缸。本专利技术其中一个实施例中，所述第一加持手上设置有吸附第一目标晶圆片的第一伯努利吸盘；所述第二加持手上设置有吸附第二目标晶圆片的第二伯努利吸盘。本专利技术还公开了一种晶圆片传输方法，该所述方法应用如上述中任一项所述的晶圆片传输装置，所述方法包括：获取第一目标晶圆片在装载端口在竖直方向上的第一位置信息；根据所述第一位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第一目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第一目标移动距离，所述机械手拿取第一目标晶圆片；获取临时装载区的第一目标存储位置在竖直方向上的第二位置；根据所述第二位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第二目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第二目标移动距离，所述机械手将所述第一目标晶圆片传送至所述第一目标存储位置。本专利技术其中一个实施例中，所述方法还包括：获取第二目标晶圆片在临时装载区在竖直方向上的第三位置信息；根据所述第三位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第三目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第三目标移动距离，所述机械手拿取第三目标晶圆片；获取装载端口的第二目标存储位置在竖直方向上的第四位置；根据所述第四位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第四目标移动距离；竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第四目标移动距离，所述机械手将所述第二目标晶圆片传送至所述第二目标存储位置。从上述的技术方案可以看出，采用本专利技术的晶圆片传输装置，在拿取以及传送第一目标晶圆片之前就自行调整机械手的竖直高度，而不是传送到位时再进行对位，从而节省了传送时间，进而提高了晶圆片的传输效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术所提供的一种晶圆片传输装置的结构示意图；图2为本专利技术所提供的一种晶圆片传输装置的立体结构示意图；图3为本专利技术所提供的一种晶圆片传输装置的俯视结构示意图；图4为本专利技术所提供的一种机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆片传输装置，所述晶圆片传输装置位于装载端口与临时装载区之间，其特征在于，包括：/n用于拿取和传送晶圆片的机械手；/n带动所述机械手在竖直方向移动的竖直移动机构；/n第一位移传感器，获取第一目标晶圆片在装载端口在竖直方向上的第一位置信息；/n第二位移传感器，获取临时装载区的第一目标存储位置在竖直方向上的第二位置；/n存储器和控制器，所述存储器存储有计算机可读程序代码，所述控制器用以执行所述计算机可读程序代码以控制晶圆片传输装置实现：/n接收第一位置信息；/n根据所述第一位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第一目标移动距离；/n竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第一目标移动距离，所述机械手拿取第一目标晶圆片；/n接收所述第二位置信息；/n根据所述第二位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第二目标移动距离；/n竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第二目标移动距离，所述机械手将所述第一目标晶圆片传送至所述第一目标存储位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片传输装置，所述晶圆片传输装置位于装载端口与临时装载区之间，其特征在于，包括：
用于拿取和传送晶圆片的机械手；
带动所述机械手在竖直方向移动的竖直移动机构；
第一位移传感器，获取第一目标晶圆片在装载端口在竖直方向上的第一位置信息；
第二位移传感器，获取临时装载区的第一目标存储位置在竖直方向上的第二位置；
存储器和控制器，所述存储器存储有计算机可读程序代码，所述控制器用以执行所述计算机可读程序代码以控制晶圆片传输装置实现：
接收第一位置信息；
根据所述第一位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第一目标移动距离；
竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第一目标移动距离，所述机械手拿取第一目标晶圆片；
接收所述第二位置信息；
根据所述第二位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第二目标移动距离；
竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第二目标移动距离，所述机械手将所述第一目标晶圆片传送至所述第一目标存储位置。


2.如权利要求1所述的晶圆片传输装置，其特征在于，还包括：
第三位移传感器，获取第二目标晶圆片在临时装载区在竖直方向上的第三位置信息；
第四位移传感器，获取装载端口的第二目标存储位置在竖直方向上的第四位置；
所述控制器控制晶圆片传输装置还能实现：
接收第三位置信息；
根据所述第三位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第三目标移动距离；
竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第三目标移动距离，所述机械手拿取第三目标晶圆片；
接收所述第四位置信息；
根据所述第四位置信息确定所述竖直移动机构的在竖直方向的第四目标移动距离；
竖直移动机构带动机械手在竖直方向移动至第四目标移动距离，所述机械手将所述第二目标晶圆片传送至所述第二目标存储位置。


3.如权利要求2所述的晶圆片传输装置，其特征在于，还包括水平移动机构，所述水平移动机构用于驱动所述竖直移动机构在水平方向移动，所述水平移动机构对应多个装载端口。


4.如权利要求3所述的晶圆片传输装置，其特征在于，所述机械手包括：固定在所述竖直移动机构的移动端上的支撑板；
可旋转的设置在所述支撑板上的机械主体；和
驱动所述机械主体旋转的旋转机构。


5.如权利要求4所述的晶圆片传输装置，其特征在于，所述机械主体包括旋转的设置在所述支撑板上的支撑架；
设置在所述支撑架上的第一伸缩臂，所述第一伸缩臂的伸缩端设置有用于夹持晶圆片的第一加持手；
设置在所述支撑架的第二伸缩臂，所述第二伸缩臂的伸缩端设置有用于夹持晶圆片的第二加持手；
所述第一伸缩臂和所述第二伸缩臂沿竖直方...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31