【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及稀释阀，具体涉及一种虹吸式硫酸稀释阀和高温硫酸模组换酸系统。
技术介绍
1、晶圆湿法清洗中，浓硫酸常用作晶片表面的有机污染物清洗，也能作为金属残留清洗剂。常用98％浓度的浓硫酸与30％浓度的h2o2混合，控制温度在110-145℃的工况下用作清洗剂。在浓硫酸的浓度低于94％或是浓硫酸循环次数达到一定要求后，需要更换槽内的浓硫酸已保证其清洗效果，因此排空槽内废酸更换新药液显得尤为重要。
2、高温硫酸的排放一般分为两个阶段，第一阶段是在槽内药液处于较高位置时通过其自身重力排放到冷却装置(cooling unit)冷却排放。第一阶段是等药液到达底部时依靠自生重力无法排空，此时再采用泵排放.在排放过程中高温硫酸会产生酸气，通过气动隔膜阀的气管返回到阀岛内部，腐蚀阀岛，同时采用泵排的方式排放时，泵之后的管路内会残留一定的废酸。
3、此时排放的废酸不仅温度高，浓度也很高，如果直接排放到废液箱内，会造成废液箱内存在大量高温、高浓度的浓酸，当其他管路排放废液时可能受热沸腾而四处飞溅，而且使用过后需要排放的废硫酸，浓度依然较高，如果直接排放可能会造成药液沸腾，造成系统内不稳定。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于，提供一种集成虹吸式硫酸稀释阀，解决以上技术问题；
2、本专利技术的目的还在于，提供一种高温硫酸模组换酸系统，解决以上技术问题。
3、本专利技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
4、一种集成虹吸式硫酸稀
5、阀体，所述阀体内具有贯通的腔体；
6、喷嘴，设于所述阀体内，所述喷嘴的进水口设有进水腔体，所述喷嘴的出水口设有出水腔体，所述出水腔体为沿远离所述喷嘴的方向上直径逐渐变窄的管状结构；
7、驱动流体入口，设于所述阀体上，与所述进水腔体连通，用于流入驱动液体；
8、负压吸入口，设于所述阀体上，与所述出水腔体连通，基于所述驱动液体在所述出水腔体流出形成的伯努利效应吸入待排出液体，并和所述驱动液体一同排出；
9、活塞，可活动设于所述阀体内，基于所述活塞沿远离或靠近所述喷嘴的方向上移动用以通断所述驱动液体进入所述喷嘴。
10、优选的，所述出水腔体包括远离所述喷嘴一侧的前段腔体和靠近所述喷嘴一侧的前侧的后段腔体，至少所述前段腔体为沿远离所述喷嘴的方向上直径逐渐变窄的管状结构，所述喷嘴的出水口从所述后段腔体穿出伸入所述前段腔体与所述前段腔体形成文丘里管结构，所述后段腔体为受到所述驱动液体通过所述前段腔体形成的伯努利效应影响的区域，所述负压吸入口与所述后段腔体连通。
11、优选的，还包括，
12、阀盖，设于所述阀体的靠近所述喷嘴的进水口的一侧上；
13、中心支架，设于所述阀体内，所述中心支架靠近所述阀盖的第一端以及活塞与所述阀盖的位于所述阀体内的一端围合形成一用于控制所述活塞运动的活塞活动腔体，所述中心支架靠近所述喷嘴的第二端与所述喷嘴的进水口和所述阀体的内侧壁围合形成所述进水腔体。
14、优选的，所述活塞包括，
15、中间连接部，可活动设于所述中心支架内；
16、头部，连接所述中间连接部的前端，位于所述进水腔体内，所述头部的形状与所述活塞的进水口的形状相适配；
17、尾部，连接所述中间连接部的后端，位于所述活塞活动腔体内，所述尾部的外侧壁与所述活塞活动腔体的内侧壁紧密贴合，所述活塞活动腔体包括被所述尾部分隔的靠近所述阀盖一侧的第一腔体和靠近所述中心支架一侧的第二腔体。
18、优选的，还包括，
19、第一密封圈，设于所述喷嘴与所述阀体的连接处；
20、第二密封圈，设于所述活塞与所述中心支架的连接处；
21、第三密封圈，设于所述中心支架与所述阀体的连接处；
22、第四密封圈，设于所述活塞与所述阀盖的连接处；
23、第五密封圈，设于所述阀盖与所述阀体的连接处。
24、优选的，所述阀体和所述阀盖通过螺纹紧闭连接；所述阀体和所述喷嘴通过螺纹紧闭连接。
25、优选的，还包括，
26、第一进气口，设于所述阀盖上与所述第一腔体连通，通过所述第一进气口向所述第一腔体内通入气体用以驱动所述活塞在靠近所述喷嘴的方向上运动；
27、第二进气口，设于所述阀体上与所述第二腔体连通，通过所述第二进气口向所述第二腔体内通入气体用以驱动所述活塞在远离所述喷嘴的方向上运动；
28、所述第一进气口和所述第二进气口分别设有电磁阀，通过所述电磁阀控制所述第一进气口和所述第二进气口进气。
29、优选的，所述阀体靠近所述喷嘴的出水口的一侧设有出口，所述出口与所述出水腔体，所述出口的直径大于所述出水腔体的直径，所述阀体在与所述出口相对应的外侧壁上设有保护圈。
30、优选的，所述驱动液体为水，所述待排出液体为硫酸，所述待排出液体和所述驱动液体在所述出水腔体内混合后形成废液流出。
31、一种高温硫酸模组换酸系统，包括，
32、高温硫酸模组，用于储存和加热硫酸；
33、废酸排放口，连接所述高温硫酸模组，所述高温硫酸模组内的废酸依靠自身重力从所述废酸排放口排出；
34、排酸泵，连接所述高温硫酸模组，用于泵出所述高温硫酸模组内可使用的硫酸或泵出所述废酸排放口无法自然放出的所述废酸；
35、集成虹吸式硫酸稀释阀，所述集成虹吸式硫酸稀释阀为所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，所述集成虹吸式硫酸稀释阀的所述驱动流体入口连接驱动液体出口，用于流入所述驱动液体，所述集成虹吸式硫酸稀释阀的所述负压吸入口连接所述高温硫酸模组、所述高温硫酸模组连接所述废酸排放口的排酸管路、所述排酸泵的出液端管路，用于吸入所述高温硫酸模组内、所述排酸管路内、所述排酸泵的出液端管路残留的废酸；
36、废液收集装置，连接所述集成虹吸式硫酸稀释阀的出口，用于收集所述废酸和所述驱动液体混合形成的废液。
37、本专利技术的有益效果：由于采用以上技术方案，本专利技术将控制虹吸阀的通断开关集成到了虹吸阀本体之上，减少槽体到阀之间的管路与接头布置，降低高温带来的管路变形与松动渗漏的风险。同时节省了安装所需空间，降低了渗漏风险。
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1.一种集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述出水腔体(15)包括远离所述喷嘴(2)一侧的前段腔体(151)和靠近所述喷嘴(2)一侧的前侧的后段腔体(152)，至少所述前段腔体(151)为沿远离所述喷嘴(2)的方向上直径逐渐变窄的管状结构，所述喷嘴(2)的出水口从所述后段腔体(152)穿出伸入所述前段腔体(151)与所述前段腔体(151)形成文丘里管结构，所述后段腔体(152)为受到所述驱动液体通过所述前段腔体(151)形成的伯努利效应影响的区域，所述负压吸入口(12)与所述后段腔体(152)连通。
3.根据权利要求1所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，还包括，
4.根据权利要求3所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述活塞(3)包括，
5.根据权利要求3所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，还包括，
6.根据权利要求3所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述阀体(1)和所述阀盖(4)通过螺纹紧闭连接；所述阀体(1)和所述喷嘴(2)通过螺纹紧
7.根据权利要求4所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，还包括，
8.根据权利要求1所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述阀体(1)靠近所述喷嘴(2)的出水口的一侧设有出口(13)，所述出口(13)与所述出水腔体(15)，所述出口(13)的直径大于所述出水腔体(15)的直径，所述阀体(1)在与所述出口(13)相对应的外侧壁上设有保护圈(18)。
9.根据权利要求1所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述驱动液体为水，所述待排出液体为硫酸，所述待排出液体和所述驱动液体在所述出水腔体(15)内混合后形成废液流出。
10.一种高温硫酸模组换酸系统，其特征在于，包括，
...【技术特征摘要】
1.一种集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述出水腔体(15)包括远离所述喷嘴(2)一侧的前段腔体(151)和靠近所述喷嘴(2)一侧的前侧的后段腔体(152)，至少所述前段腔体(151)为沿远离所述喷嘴(2)的方向上直径逐渐变窄的管状结构，所述喷嘴(2)的出水口从所述后段腔体(152)穿出伸入所述前段腔体(151)与所述前段腔体(151)形成文丘里管结构，所述后段腔体(152)为受到所述驱动液体通过所述前段腔体(151)形成的伯努利效应影响的区域，所述负压吸入口(12)与所述后段腔体(152)连通。
3.根据权利要求1所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，还包括，
4.根据权利要求3所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其特征在于，所述活塞(3)包括，
5.根据权利要求3所述的集成虹吸式硫酸稀释阀，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘志鹏，屠国强，徐铭，廖世保，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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