一种多晶硅的铸锭炉装置制造方法及图纸

技术编号:23941583 阅读:100 留言:0更新日期:2020-04-25 05:19
本实用新型专利技术涉及到多晶硅铸锭熔化领域,是一种多晶硅的铸锭炉装置。其特征是玻璃棒穿过高温密封圈和测量加长筒到上炉体中,所述的测量加长筒的下端固定在上炉体的外壳上,测量加长筒的上端孔中装有高温密封圈,所述的测量加长筒的上端接有高温计。测量加长筒7的高度为20cm,直径为9cm。由于采用了本技术方案,增加了测量加长筒,保证多晶硅铸锭过程中测量时的安全性,同时也避免高温密封圈因玻璃棒的高温引发的变形,以及变性后导致多晶硅铸锭炉的密封破坏,最终影响多晶硅锭质量的风险。

A kind of ingot furnace device for polysilicon

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅的铸锭炉装置
本技术涉及到多晶硅铸锭熔化领域,是一种多晶硅的铸锭炉装置。
技术介绍
多晶硅在铸锭时,需要将原生硅料在1500℃左右的氩气环境下进行熔化和结晶,用以得到有着晶向竖直向上生长的硅锭,最终加工制作成太阳能电池片生产时使用的多晶硅片。其中在多晶硅铸锭的熔化过程中,我们需要保存坩埚中最底部的籽晶层硅料用来引晶,以保证成品多晶硅锭的晶花均匀,晶向为竖直向上,因此在硅料熔化后期,我们需要使用玻璃棒伸入到坩埚中,用以测量剩余未熔化的硅料高度,以保证在熔化结束时,坩埚中最底部的籽晶硅料能完全保留。其中玻璃棒在硅液中测量时,由于坩埚中硅料有着1500℃左右的高温,所以每次测量后玻璃棒都需要抽出,离开硅液表面,防止玻璃棒在持续的高温下软化或断裂,从而使铸锭失败。在玻璃棒抽离硅液面后,此时玻璃棒下端仍然有着非常高的高温,玻璃棒下端在提升的过程中会直接接触铸锭炉顶的高温密封圈,此时密封圈位置的玻璃棒仍有80℃左右高温,这样会使得高温密封圈发生形变或损坏,同时铸锭炉存在漏气的风险,也给多晶硅铸锭的安全性和硅锭的质量带来很大的隐患。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决上述技术问题,提供一种多晶硅的铸锭炉装置。主要是在多晶硅铸锭炉上炉体顶端与高温计和玻璃棒的连接处,增加一个高度为20cm,直径为9cm的测量加长筒。本技术的目的可以通过以下技术方案来实现:一种多晶硅的铸锭炉装置,是由下炉体1、平台2、坩埚3、硅料4、热场5和上炉体6组成,其特征是玻璃棒8穿过高温密封圈9和测量加长筒7到上炉体6中,所述的测量加长筒7的下端固定在上炉体6的外壳上,测量加长筒7的上端孔中装有高温密封圈9,所述的测量加长筒7的上端接有高温计10。所述的测量加长筒7的高度为20cm,直径为9cm。由于采用了上述技术方案,增加了测量加长筒,保证多晶硅铸锭过程中测量时的安全性,同时也避免高温密封圈因玻璃棒的高温引发的变形,以及变性后导致多晶硅铸锭炉的密封破坏,最终影响多晶硅锭质量的风险。附图说明图1为本技术的结构示意图。在图中:1、下炉体;2、平台;3、坩埚;4、硅料;5、热场;6、上炉体;7、测量加长筒;8、玻璃棒;9、高温密封圈;10、高温计。具体实施方式下面结合附图和实例对本技术作进一步说明。如图1所示,玻璃棒8穿过高温密封圈9和测量加长筒7到上炉体6中,所述的测量加长筒7的下端固定在上炉体6的外壳上,测量加长筒7的上端孔中装有高温密封圈9,所述的测量加长筒7的上端接有高温计10。测量加长筒7的高度为20cm,直径为9cm。在玻璃棒每次完成测量后,提升到密封圈位置时的温度已降低到40℃,可完全保证高温密封圈的安全性和密封性,给多晶硅铸锭的安全性和硅锭的质量提供了很好的保证。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅的铸锭炉装置,是由下炉体(1)、平台(2)、坩埚(3)、硅料(4)、热场(5)和上炉体(6)组成,其特征是玻璃棒(8)穿过高温密封圈(9)和测量加长筒(7)到上炉体(6)中,所述的测量加长筒(7)的下端固定在上炉体(6)的外壳上, 测量加长筒(7)的上端孔中装有高温密封圈(9), 所述的测量加长筒(7)的上端接有高温计(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅的铸锭炉装置,是由下炉体(1)、平台(2)、坩埚(3)、硅料(4)、热场(5)和上炉体(6)组成,其特征是玻璃棒(8)穿过高温密封圈(9)和测量加长筒(7)到上炉体(6)中,所述的测量加长筒(7)的下端固定在上炉体(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张蒙罗威
申请(专利权)人:湖北华昶能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:湖北;42

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