【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅的铸锭炉装置
本技术涉及到多晶硅铸锭熔化领域,是一种多晶硅的铸锭炉装置。
技术介绍
多晶硅在铸锭时,需要将原生硅料在1500℃左右的氩气环境下进行熔化和结晶,用以得到有着晶向竖直向上生长的硅锭,最终加工制作成太阳能电池片生产时使用的多晶硅片。其中在多晶硅铸锭的熔化过程中,我们需要保存坩埚中最底部的籽晶层硅料用来引晶,以保证成品多晶硅锭的晶花均匀,晶向为竖直向上,因此在硅料熔化后期,我们需要使用玻璃棒伸入到坩埚中,用以测量剩余未熔化的硅料高度,以保证在熔化结束时,坩埚中最底部的籽晶硅料能完全保留。其中玻璃棒在硅液中测量时,由于坩埚中硅料有着1500℃左右的高温,所以每次测量后玻璃棒都需要抽出,离开硅液表面,防止玻璃棒在持续的高温下软化或断裂,从而使铸锭失败。在玻璃棒抽离硅液面后,此时玻璃棒下端仍然有着非常高的高温,玻璃棒下端在提升的过程中会直接接触铸锭炉顶的高温密封圈,此时密封圈位置的玻璃棒仍有80℃左右高温,这样会使得高温密封圈发生形变或损坏,同时铸锭炉存在漏气的风险,也给多晶硅铸锭的安全性和硅锭的质量带来很大的隐患。
技术实现思路
本技术的目的就是为了解决上述技术问题,提供一种多晶硅的铸锭炉装置。主要是在多晶硅铸锭炉上炉体顶端与高温计和玻璃棒的连接处,增加一个高度为20cm,直径为9cm的测量加长筒。本技术的目的可以通过以下技术方案来实现:一种多晶硅的铸锭炉装置,是由下炉体1、平台2、坩埚3、硅料4、热场5和上炉体6组成,其特征是玻璃棒8穿过高温密封圈9和测量加长筒7到上炉体6 ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅的铸锭炉装置,是由下炉体(1)、平台(2)、坩埚(3)、硅料(4)、热场(5)和上炉体(6)组成,其特征是玻璃棒(8)穿过高温密封圈(9)和测量加长筒(7)到上炉体(6)中,所述的测量加长筒(7)的下端固定在上炉体(6)的外壳上, 测量加长筒(7)的上端孔中装有高温密封圈(9), 所述的测量加长筒(7)的上端接有高温计(10)。/n
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅的铸锭炉装置,是由下炉体(1)、平台(2)、坩埚(3)、硅料(4)、热场(5)和上炉体(6)组成,其特征是玻璃棒(8)穿过高温密封圈(9)和测量加长筒(7)到上炉体(6)中,所述的测量加长筒(7)的下端固定在上炉体(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张蒙,罗威,
申请(专利权)人:湖北华昶能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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