【技术实现步骤摘要】
基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频方法与装置
本专利技术涉及基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频方法与装置，属于激光应用
技术介绍
在测量
中，激光干涉测量是实现超精密测控以及微纳尺度测量的最有效的手段之一，该种测量方式利用光的干涉实现测量，由于具有非接触、无损检测等特点，已经在各个领域得到重要应用，尤其针对光刻机等苛刻测量环境中实现多自由度干涉测量的要求。其中激光光源作为整个激光干涉测量系统的核心组件，其波长作为整个测量系统几何量的量值基准，激光器的频率稳定特性决定了整个激光干涉测量的精度上限，其中频率稳定特性包括频率稳定度和频率复现性两个方面，作为激光器光源光源质量的一项重要指标，频率复现性影响了激光器每次激光器的最终频率工作点，这会给整个激光干涉测量系统带来参考波长不一致，测量复现性低的问题，国内的商品级热稳频激光器能达到10-8以上的频率稳频度，但是频率复现性很难突破10-8，因此提高激光器的频率复现性是激光应用
迫切需要解决的问题。在主动稳频方法中，热稳频方法是双频激光器...
【技术保护点】
1.基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频装置，包括：双纵模激光器电源(1)、激光管(2)、内导热胶层(3)、多组加热薄膜(4)、温度传感器(5)、外导热胶层(6)和隔热层(7)，在所述多组加热薄膜(4)内部分别嵌入所述温度传感器(5)，并通过所述内导热胶层(3)粘贴在所述激光管(2)的外壁上，在所述多组加热薄膜(4)的外部依次紧贴设置所述外导热胶层(6)和隔热层(7)，所述双纵模激光器电源(1)的正负极分别连接在所述激光管(2)的两端，所述隔热层(7)靠近所述激光管(2)的两端处各设置有一透光孔，所述双纵模激光器电源(1)的正负极分别连接在所述激光管(2)的两端，其特...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频装置，包括：双纵模激光器电源(1)、激光管(2)、内导热胶层(3)、多组加热薄膜(4)、温度传感器(5)、外导热胶层(6)和隔热层(7)，在所述多组加热薄膜(4)内部分别嵌入所述温度传感器(5)，并通过所述内导热胶层(3)粘贴在所述激光管(2)的外壁上，在所述多组加热薄膜(4)的外部依次紧贴设置所述外导热胶层(6)和隔热层(7)，所述双纵模激光器电源(1)的正负极分别连接在所述激光管(2)的两端，所述隔热层(7)靠近所述激光管(2)的两端处各设置有一透光孔，所述双纵模激光器电源(1)的正负极分别连接在所述激光管(2)的两端，其特征在于，所述激光稳频装置还包括：稳频控制电路，所述稳频控制电路包括偏振分光镜(8)、光功率转换电路(9)、A/D转换电路(10)、测温电路(11)、微处理器(12)、D/A转换器(13)和加热薄膜驱动器(14)，所述偏振分光镜(8)设置在任一所述透光孔外，所述光功率转换电路(9)设置在偏振分光镜(8)的反射及折射光路上，所述光功率转换电路(9)、A/D转换电路(10)、微处理器(12)、D/A转换器(13)、加热薄膜驱动器(14)和多组加热薄膜(4)依次单向连接，所述温度传感器(5)、测温电路(11)和微处理器(12)依次单向连接。
2.根据权利要求1所述的基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频装置，其特征在于，所述多组加热薄膜(4)为以良好热均匀性材料为基底的加热薄膜。
3.根据权利要求2所述的基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频装置，其特征在于，所述多组加热薄膜(4)不少于三组。
4.根据权利要求1所述的基于激光管温度多点采集的高频率复现性激光稳频装置，其特征在于，所述温度传感器(5)的温度测量精度为0.005℃。
5.基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频方法，应用于权利要求1-4任一项所述的基于激光管多点加热的高频率复现性的激光稳频装置，其特征在于，所述激光稳频方法包括以下步骤：
技术研发人员：杨宏兴，邹运，殷子淇，李婧，胡鹏程，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙;23
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。