激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法，该激光能量补偿系统包括：第一分束器、调整模块和监控模块，第一分束器用于接收激光信号，将激光信号分成第一束激光信号及第二束激光信号，并将第一束激光信号传输至监控模块，将第二束激光信号传输至调整模块；监控模块用于判断第一束激光信号是否发生变化，并将判断结果传输至调整模块；调整模块用于根据判断结果对第二束激光信号进行调整，并将调整后的第二束激光信号传输至激光信号所在光路。通过实施本发明专利技术，不仅可以监控激光能量变化，还可以对激光能量进行补偿，使得激光能量保持稳定，解决了现有激光晶化装置无法使激光能量保持稳定的技术问题。

Laser energy compensation system, laser crystallization device and method of laser energy compensation

【技术实现步骤摘要】
激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法
本专利技术涉及激光
，具体涉及一种激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法。
技术介绍
目前，在LTPS(LowTemperaturePoly-Silicon,低温多晶硅，简称：P-Si)技术中，镀有A-Si(AmorphousSilicon,非晶硅,简称：A-Si)膜层的玻璃基板经过激光照射，可以使A-Si熔融后重新结晶生成P-Si薄膜。该过程通常称为激光晶化过程，而照射在A-Si表面激光能量的稳定性和均一性是决定晶化均一性的重要因素之一。但是，激光器由于自身热量的累积以及器件的热膨胀、环境温湿度的改变等因素，在使用过程中难免有一定的能量波动。同时，激光器也有一定的寿命，在长期使用后能量会出现衰减。现有的激光晶化装置通常只能监控激光能量是否发生变化，无法使激光能量保持稳定。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法，以解决现有技术中激光晶化装置通常只能监控激光能量是否发生变化，无法使激光能量保持稳定的技术问题。本专利技术提出的技术方案如下：本专利技术实施例第一方面提供一种激光能量补偿系统，该激光能量补偿系统包括：第一分束器、调整模块和监控模块，所述第一分束器用于接收激光信号，将所述激光信号分成第一束激光信号及第二束激光信号，并将所述第一束激光信号传输至所述监控模块，将所述第二束激光信号传输至所述调整模块；所述监控模块用于判断所述第一束激光信号是否发生变化，并将判断结果传输至所述调整模块；所述调整模块用于根据所述判断结果对所述第二束激光信号进行调整，并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光信号所在光路。可选地，所述调整模块包括：第一衰减器、放大器、微处理器及激光合并器；所述微处理器连接所述衰减器和放大器，所述微处理器用于根据所述判断结果控制所述第一衰减器和/或所述放大器对所述第二束激光信号进行调整，并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光合并器的第一入口；所述激光合并器的第一入口用于接收所述调整后的第二束激光信号，所述激光合并器的第二入口用于接收原始激光信号，所述激光合并器用于将所述调整后的第二束激光信号和所述原始激光信号合并后，由所述激光合并器的出口输出至所述原始激光信号所在光路。可选地，所述监控模块包括：监控器和第二衰减器，所述第二衰减器用于将所述第一束激光信号衰减后传输至所述监控器；所述监控器用于判断衰减后的第一束激光信号是否发生变化，并将判断结果传输至所述调整模块。可选地，所述调整模块还包括：第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述调整后的第二束激光信号，将所述调整后的第二束激光信号反射至所述激光合并器的第一入口。可选地，所述监控模块还包括：第二反射镜，所述第二反射镜用于接收所述第一束激光信号，将所述第一束激光信号反射至所述第二衰减器。本专利技术实施例第二方面提供一种激光晶化装置，该激光晶化装置包括：激光器、第二分束器及如本专利技术实施例第一方面及第一方面任一项所述的激光能量补偿系统，所述第二分束器用于接收激光信号，将所述激光信号分为第三束激光信号及第四束激光信号，将所述第三束激光信号用于照射待加工产品，将所述第四束激光信号传输至所述激光能量补偿系统；所述激光能量补偿系统用于监控所述第四束激光信号是否发生变化，当第四束激光信号发生变化时，所述激光能量补偿系统用于对第四束激光信号进行调整，并将调整后的第四束激光信号传输至所述激光信号所在光路。可选地，该激光晶化装置还包括：第三反射镜，所述第三反射镜用于接收所述第四束激光信号，将所述第四束激光信号反射至所述激光能量补偿系统。可选地，该激光晶化装置还包括：线性转换系统，所述线性转换系统用于接收补偿后的第三束激光信号，将补偿后的第三束激光信号转换为线光束后照射至待加工产品。可选地，该激光晶化装置还包括：承载平台，用于承载所述待加工产品，所述待加工产品为包含待晶化薄膜的基板。本专利技术实施例第三方面提供一种激光晶化装置补偿激光能量的方法，应用于如本专利技术实施例第二方面及第二方面任一项所述的激光晶化装置，该方法包括：采用所述第二分束器接收激光信号，并将所述激光信号分为第三束激光信号及第四束激光信号，将所述第三束激光信号用于照射待加工产品，将所述第四束激光信号传输至所述激光能量补偿系统；通过所述激光能量补偿系统监控所述第四束激光信号是否发生变化，当第四束激光信号发生变化时，通过所述激光能量补偿系统对第四束激光信号进行调整，并将调整后的激光信号传输至所述激光信号所在光路，进行补偿。本专利技术提供的技术方案，具有如下优点：本专利技术实施例提供的激光能量补偿系统、激光晶化装置及补偿激光能量的方法，通过设置第一分束器将需要监控的激光能量分别传输至调整模块和监控模块，监控模块可以监控激光能量是否发生变化，当激光能量发生突变时，监控模块用于将判断结果发送至调整模块，调整模块可以根据判断结果确定激光突变量，并对激光能量进行补偿，使得激光能量保持稳定。将该激光能量补偿系统用于激光晶化装置或激光退火设备中时，可以提高照射在A-Si表面激光的稳定性，降低晶化缺陷发生率，提高晶化良率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有激光晶化装置中激光能量突变曲线；图2为现有激光晶化装置的结构框图；图3为本专利技术实施例中激光能量补偿系统的原理框图；图4为本专利技术实施例中激光晶化装置的原理框图；图5为本专利技术实施例中激光晶化装置补偿激光能量的方法的流程图。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光能量补偿系统，其特征在于，包括：第一分束器、调整模块和监控模块，/n所述第一分束器用于接收激光信号，将所述激光信号分成第一束激光信号及第二束激光信号，并将所述第一束激光信号传输至所述监控模块，将所述第二束激光信号传输至所述调整模块；/n所述监控模块用于判断所述第一束激光信号是否发生变化，并将判断结果传输至所述调整模块；/n所述调整模块用于根据所述判断结果对所述第二束激光信号进行调整，并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光信号所在光路。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光能量补偿系统，其特征在于，包括：第一分束器、调整模块和监控模块，
所述第一分束器用于接收激光信号，将所述激光信号分成第一束激光信号及第二束激光信号，并将所述第一束激光信号传输至所述监控模块，将所述第二束激光信号传输至所述调整模块；
所述监控模块用于判断所述第一束激光信号是否发生变化，并将判断结果传输至所述调整模块；
所述调整模块用于根据所述判断结果对所述第二束激光信号进行调整，并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光信号所在光路。


2.根据权利要求1所述的激光能量补偿系统，其特征在于，所述调整模块包括：第一衰减器、放大器、微处理器及激光合并器；
所述微处理器连接所述衰减器和放大器，所述微处理器用于根据所述判断结果控制所述第一衰减器和/或所述放大器对所述第二束激光信号进行调整，并将调整后的第二束激光信号传输至所述激光合并器的第一入口；
所述激光合并器的第一入口用于接收所述调整后的第二束激光信号，所述激光合并器的第二入口用于接收原始激光信号，所述激光合并器用于将所述调整后的第二束激光信号和所述原始激光信号合并后，由所述激光合并器的出口输出至所述原始激光信号所在光路。


3.根据权利要求2所述的激光能量补偿系统，其特征在于，所述监控模块包括：监控器和第二衰减器，
所述第二衰减器用于将所述第一束激光信号衰减后传输至所述监控器；
所述监控器用于判断衰减后的第一束激光信号是否发生变化，并将判断结果传输至所述调整模块。


4.根据权利要求2所述的激光能量补偿系统，其特征在于，所述调整模块还包括：第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述调整后的第二束激光信号，将所述调整后的第二束激光信号反射至所述激光合并器的第一入口。


5.根据权利要求3所述的激光能量补偿系统，其特征在于，所述监控模块还包括：第二反...

【专利技术属性】
技术研发人员：安永军，王豪，张世权，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13