对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制制造技术

本文公开了用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制。根据本公开的一个方面，一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的方法包括：获取所述相机拍摄的管芯图像；判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。

【技术实现步骤摘要】
对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制
本公开总体上涉及半导体制造过程，更具体地，涉及用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的机制。
技术介绍
在一般的半导体制造过程中，在晶圆制造完成之后，通过切割的方式从晶圆上分离出一个个管芯，以用于接下来的测试和封装。对于每个管芯来说，除了要对它们逐一进行功能和性能上的测试以便于对其进行分类等处理之外，还需要在一个或多个环节中检测管芯可能存在的缺陷，尽早发现缺陷并采取应对措施，以免对后续工序造成不利影响。对管芯缺陷的检测通常是通过对用相机拍摄的管芯的照片图像进行图像分析处理来完成的，但是在确保管芯缺陷检测的准确性和可靠性等方面，仍缺乏简单高效的手段。
技术实现思路
在
技术实现思路
部分中，以简化的形式介绍一些选出的概念，其将在下面的具体实施方式部分中被进一步描述。该
技术实现思路
部分并非是要标识出所要求保护的主题的任何关键特征或必要特征，也不是要被用于帮助确定所要求保护的主题的范围。根据本公开的一个方面，提供了一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的方法，所述方法包括：获取所述相机拍摄的管芯图像；判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。根据本公开的另一个方面，提供了一种计算设备，所述计算设备包括：存储器，其用于存储指令；以及至少一个处理器，其耦合到所述存储器，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器：获取所述相机拍摄的管芯图像；判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。根据本公开的再一个方面，提供了一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的装置，所述装置包括：用于获取所述相机拍摄的管芯图像的模块；用于判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配的模块；以及用于响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置的模块。根据本公开的又一个方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本公开中描述的任一方法。附图说明在附图中对本公开的实现以示例的形式而非限制的形式进行了说明，附图中相似的附图标记表示相同或类似的部件，其中：图1示出了根据本公开的一些实现的示例性系统的框图；图2示出了根据本公开的一些实现的总体处理流程的示意图；图3示出了根据本公开的一些实现的示例性方法的流程图；图4示出了根据本公开的一些实现的示例性操作的流程图；图5示出了根据本公开的一些实现的示例性装置的框图；以及图6示出了根据本公开的一些实现的示例性计算设备的框图。具体实施方式在以下的说明书中，出于解释的目的，阐述了大量具体细节。然而，应当理解的是，本公开的实现无需这些具体细节就可以实施。在其它实例中，并未详细示出公知的电路、结构和技术，以免影响对说明书的理解。说明书通篇中对“一个实现”、“实现”、“示例性实现”、“一些实现”、“各种实现”等的引述表示所描述的本公开的实现可以包括特定的特征、结构或特性，然而，并不是说每个实现都必须要包含这些特定的特征、结构或特性。此外，一些实现可以具有针对其它实现描述的特征中的一些、全部，或者不具有针对其它实现描述的特征。以最有助于理解所要求保护的主题的方式，可能会将各种操作描述为依次序的多个分立的动作或操作。然而，描述的次序并不应当被解释为暗示这些操作必然是依赖于次序的。尤其是，这些操作可以不按照所呈现的次序来执行。在另外的一些实现中，还可以执行各种另外的操作，和/或忽略各种已经描述的操作。在说明书和权利要求书中，可能会出现的短语“A和/或B”用来表示以下之一：(A)、(B)、(A和B)。类似地，可能会出现的短语“A、B和/或C”用来表示以下之一：(A)、(B)、(C)、(A和B)、(A和C)、(B和C)、(A和B和C)。在说明书和权利要求书中，可能会用到术语“耦合”和“连接”及其派生词。需要理解的是，这些术语并非是要作为彼此的同义词。相反，在特定的实现中，“连接”用于表示两个或更多部件彼此直接物理或电接触，而“耦合”则用于表示两个或更多部件彼此协作或交互，但是它们可能、也可能不直接物理或电接触。在晶圆切割完成之后，在一个或多个操作环节中检测切割出的每个管芯可能存在的缺陷。管芯缺陷通常可以包括管芯表面的脏污，其可能是前道工序残留的胶、灰尘，等等；管芯缺陷还可以包括管芯边缘的崩裂，这可能是在晶圆切割过程中产生的；此外，管芯缺陷还可以包括管芯相对于载具上指定放置位置的偏移，等等。这些以及其它管芯缺陷需要尽早被发现，以便能采取应对措施，例如清除脏污、调整放置位置、甚至是丢弃不符合要求的管芯，等等，以免对后续工序造成不利影响或者浪费后续工序。对管芯缺陷的检测通常是采用计算机视觉技术通过对用相机拍摄的管芯的照片图像进行图像分析处理来完成的，该分析处理的基础是该管芯的照片图像对应的灰度图像。灰度图像可以认为是对每个像素位置的光线亮度进行测量的结果，每个像素的值代表相应的灰度等级。因此，图像亮度对于管芯缺陷检测来说是至关重要的影响因素之一。然而，如何能够确保相机拍摄的图像亮度的稳定性，以保证基于图像进行的管芯缺陷检测的准确性和可靠性，现有技术中缺乏有效的解决手段。图1示出了根据本公开的一些实现的示例性系统100的框图。示例性系统100典型地可以是用于拾取管芯的系统或机器。如图1所示，系统100可以包括拾取机构110、相机120以及控制单元130。系统100的这些和其它部件之间可以通过有线和/或无线的方式彼此通信地耦合，以用于传输各种需要的控制和数据信号。如图1所示，系统100可以包括拾取机构110。拾取机构110可以包括诸如吸取头、翻转装置等机电组件，其用于按照要求(例如，在图1所示的控制单元130的控制下)从源位置拾取起管芯，将其移动并放置在指定的目标位置上。例如，拾取机构110可以用于将一个个管芯从切割后的晶圆拾取至托盘的指定目标放置位置上，托盘上的管芯稍后可以被送到另一机器以逐一进行功能和性能上的测试，等等。例如，拾取机构110可以用于将一个个管芯从托盘拾取至载带上的指定目标孔穴中，载带然后可以被转移到后道工序，例如对管芯进行封装，等等。系统100还可以包括相机120。相机120用于在拾取机构110将一个管芯放置在指定的目标位置上之后，按照指定的参数/设置对该管芯进行拍照，所拍摄图像将被用于检测管芯缺陷。此外，系统还可以包括控制单元130，其例如可以被实施为诸如计算机这样的计算设备。控制单元130可以用于对拾取机构110的操作进行控制。此外，在一些实现中，控制单元130也可以用于对相机120的操作进行控制，并且可以基于计算本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的方法，包括：/n获取所述相机拍摄的管芯图像；/n判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及/n响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于对检测管芯缺陷的相机的成像亮度进行校准的方法，包括：
获取所述相机拍摄的管芯图像；
判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及
响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配包括：
将图像灰度范围划分为相等大小的连续的多个灰度区间；
对所述管芯图像的像素的灰度值落入所述多个灰度区间中的每一个灰度区间的数目进行计数；
根据所述计数确定所述管芯图像的包含像素数目最多的一个或多个灰度区间；以及
检查所确定的所述管芯图像的一个或多个灰度区间与所述参考管芯图像的包含像素数目最多的一个或多个灰度区间是否一致。


3.根据权利要求2所述的方法，其中，在判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配时，忽略所述管芯图像和所述参考管芯图像的其灰度值不满足指定条件的像素。


4.根据权利要求2所述的方法，其中，判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配还包括：
与所述参考管芯图像的像素的灰度值分布相对照地，可视地呈现根据所述计数确定的所述管芯图像的像素的灰度值分布。


5.根据权利要求2所述的方法，其中，与所述相机的成像亮度相关联的设置包括所述相机的曝光时间，并且
其中，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置包括：根据所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上的差异来调整所述相机的曝光时间，其中，所述差异取决于所确定的所述管芯图像的一个或多个灰度区间与所述参考管芯图像的包含像素数目最多的一个或多个灰度区间之间的距离。


6.根据权利要求1所述的方法，其中，获取所述相机拍摄的管芯图像包括对所述管芯图像进行预处理，所述预处理包括以下中的至少一项：
对所述管芯图像进行灰度化处理以获得灰度图像；以及
对所述管芯图像进行裁切以保留其中的有效区域，所述有效区域的大小对应于所述参考管芯图像的大小。


7.根据权利要求1所述的方法，其中，获取所述相机拍摄的管芯图像包括从所述相机为一组管芯拍摄的相应数目的管芯图像中选择一幅管芯图像。


8.一种计算设备，包括：
存储器，其用于存储指令；以及
至少一个处理器，其耦合到所述存储器，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器：
获取所述相机拍摄的管芯图像；
判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配；以及
响应于判定所述管芯图像与所述参考管芯图像在亮度上不匹配，调整与所述相机的成像亮度相关联的设置。


9.根据权利要求8所述的计算设备，其中，判断所述管芯图像与指定的参考管芯图像在亮度上是否匹配包括：
将图像灰度范围划分为相等大小的连续的多个灰度区间；
对所述管芯图像的像素的灰度值落入所述多个灰度区间中的每一个灰度区间的数目进行计数；
根据所述计数确定所述管芯图像的包含像素数目最多的一个或多个灰度区间；以及
检查所确定的所述管芯图像的一个或多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭义，袁也，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：发明
国别省市：四川;51