【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体检测，尤其是涉及半导体器件转移过程中的遗留器件检测。
技术介绍
1、在半导体封装、测试过程中，为了提高器件处理效率，需要一次性传送、处理多个电子器件或元件例如晶圆或裸片等。为此通常采用托盘来承载并传送多个待处理的器件，其中托盘上设置有多个容纳槽，每个容纳槽承载一个器件，从而可以在一个批次中同时处理多个器件。
2、通常，在一个工艺节点处理完承载托盘中所有器件后，需要将这些电子器件从承载托盘中移出，以便托盘继续接收下一批次的待处理器件。然而由于工具故障或误操作等因素，可能会导致会有个别的器件遗留在托盘的一个或多个容纳槽中，从而在返回托盘以接收下一批次器件时，将导致在这个或这些个容纳槽的每个槽中错误地存放二个待处理器件，因此会导致器件的损坏，甚至有可能损坏节点处的操作设备。
3、目前，通常采用符合jedec行业标准的装载车(以下简称为‘jlp车’)来运载和转换一组或多组托盘，其中jlp车内的托盘处于槽对齐的状态。目前通常采用肉眼查看或手持工具探测返回的一组或多组托盘的各槽中是否有遗留的器件，但显然这种探...
【技术保护点】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述壳体还包括传送机构，包括：
3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，进一步包括：显示器，用于呈现所述投影。
4.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，当所述承载托盘达到所述预定的垂直位置时，所述第一控制器控制所述光源开启以发出所述光线。
5.如权利要求2-4之一所述的检测设备，其特征在于，进一步包括：
6.如权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第二控制器基于所述投影图像确定在所述至少一组对齐的承载托盘的容纳槽中是...
【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述壳体还包括传送机构，包括：
3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，进一步包括：显示器，用于呈现所述投影。
4.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，当所述承载托盘达到所述预定的垂直位置时，所述第一控制器控制所述光源开启以发出所述光线。
5.如权利要求2-4之一所述的检测设备，其特征在于，进一步包括：
6.如权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述第二控制器基于所述投影图像确定在所述至少一组对齐的承载托盘的容纳槽中是否遗留有所述电子器件。
7.如权利要求6所述的检测设备，其特征在于，进一步包括信息提示单元，包括显示器和/或扬声器，其中当所述第二控制器确定遗留有所述电子器件时，控制所述信息提示单元呈现报警信息。
8.如权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述第一控制器或所述第二控制器配置成自所承载托盘达到所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨雅琪，梅红伟，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。