一种芯片用的手动探针台制造技术

本实用新型专利技术涉及探针台技术领域，具体是一种芯片用的手动探针台，用于解决现有手动探针台检测芯片效率低的问题。本实用新型专利技术通过转动第一转轴可以快速带动齿条箱及探针上下移动，达到探针在竖直方向快速移动的目的；通过水平快调机构使探针在水平方向快速移动，达到探针在水平方向快速移动的目的；如此，当探针与芯片间的距离较远时，可以通过转动第一转轴或调节水平快调机构使探针快速的接近芯片，缩短了调节探针到芯片间的时间，从而提高了该手动探针台检测芯片的效率。

A kind of manual probe table for chip

【技术实现步骤摘要】
一种芯片用的手动探针台
本技术涉及探针台
，更具体的是涉及一种芯片用的手动探针台。
技术介绍
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台一般分为全自动探针台、半自动探针台和手动探针台。现有技术中用于导体芯片的手动探针台包括观察台、目孔、针头固定板和横板，观察台的下方设置有操作台，操作台的下方中间位置处设置有放物台，放物台的下方设置有底座，目孔安装在观察台的上方，目孔的下方设置有目镜支撑台，目镜支撑台的下方中间位置处设置有真空室，真空室的右侧设置有旋钮，真空室的下方中间位置处设置有观测口，真空室的左侧设置有抵扣，抵扣的左侧下方设置有连接架，针头固定板安装在操作台的上方，针头固定板的右侧设置有探针，探针的右侧下方靠近针头固定板的上表面设置有卡扣，卡扣的右侧上方设置有挡针架，挡针架的右侧下方设置有挡板，挡板的右侧设置有第一滑槽，横板安装在放物台的上方，横板的右侧上方设置有固定螺母，固定螺母的右侧设置有连接杆，固定螺母的左侧上方设置有支撑柱，支撑柱的上方中间位置处设置有放物板，支撑柱的左侧设置有X轴滑动板，X轴滑动板的左侧设置有X轴调控旋钮，通过调节X轴等调节按钮可以调节操作台与放物台间的距离，从而可以调节探针与导体芯片间的距离，进而实现对导体芯片的探测。但是，上述手动探针台在调节探针与导体芯片间的相对距离时，没有设置快速调节和细微调节的机构，当探针与导体芯片间的距离较大时，如果还缓慢的调节探针与导体芯片间的距离，必定会花费更多的时间，从而影响到探针探测导体芯片的效率。因此，我们迫切的需要一种可以提高探针探测导体芯片效率的手动探针台。
技术实现思路
基于以上问题，本技术提供了一种芯片用的手动探针台，用于解决现有手动探针台检测芯片效率低的问题。本技术通过转动第一转轴可以快速带动齿条箱及探针上下移动，达到探针在竖直方向快速移动的目的；由于第二转轴与顶板间通过螺纹连接，所以通过转动第二转轴可以使操作台及探针缓慢的上下移动，达到探针在竖直方向缓慢移动的目的；分别通过水平快调机构和水平微调机构可以分别使探针在水平方向快速移动和缓慢移动；如此，当探针与芯片间的距离较远时，可以通过转动第一转轴或调节水平快调机构使探针快速的接近芯片，缩短了调节探针到芯片间的时间，从而提高了该手动探针台检测芯片的效率。本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：一种芯片用的手动探针台，包括底座，所述底座上安装有观测台，所述底座顶面安装有与观测台相对应且可旋转的放物台，所述底座顶面在竖直方向安装有支撑板，所述支撑板上开有第一滑槽，所述第一滑槽内安装有可沿第一滑槽上下滑动的齿条箱，所述齿条箱内相对两侧面上设有齿条，所述齿条箱内还安装有与齿条可相互啮合的齿轮，所述齿轮的轮齿未布满齿轮的整个圆周面，所述齿条箱上还开有通槽，所述齿轮的轮心连接有依次穿过通槽和支撑板的第一转轴，所述第一转轴的末端连接有第一手柄；所述齿条箱上连接有连接板，所述连接板上开有第一滑槽，所述连接板的顶面安装有顶板，所述顶板被第二转轴穿过，所述第二转轴的上端连接有第二手柄，下端连接有可沿第二滑槽上下滑动的操作台，所述顶板与第二转轴通过螺纹连接；所述操作台上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针。作为一种优选的方式，所述操作台的顶面开有第三滑槽，所述水平快调机构安装在第三滑槽内，所述水平快调机构包括安装在第三滑槽内且可沿第三滑槽左右滑动的滑动板，所述滑动板上设有固定机构，所述滑动板的顶面安装有竖直板，所述微调机构安装在竖直板上。作为一种优选的方式，所述微调机包括第三转轴，所述第三转轴沿滑动板滑动的方向穿过竖直板且与竖直板间均通过螺纹连接，所述第三转轴的一端连接有第三手柄，另一端连接有轴承，所述轴承上连接有连接环，所述连接环上安装有探针。作为一种优选的方式，所述轴承包括从外到内依次连接成一体的外圈、滚动体和内圈，所述内圈与第三转轴接触，所述外圈与连接环接触。作为一种优选的方式，所述固定机构包括开在操作台上的多个安装孔，所述滑动板上连接有固定片，所述固定片可通过螺钉与安装孔连接。作为一种优选的方式，所述放物台包括安装在底座上的放物筒，所述放物筒的顶面安装有放物槽，所述放物槽内安装有放物板，所述放物筒的顶面开有电机槽，所述电机槽内安装有电机，所述电机连接有穿过放物槽并连接放物板的第四转轴。本技术的有益效果如下：本技术通过转动第一转轴可以快速带动齿条箱及探针上下移动，达到探针在竖直方向快速移动的目的；由于第二转轴与顶板间通过螺纹连接，所以通过转动第二转轴可以使操作台及探针缓慢的上下移动，达到探针在竖直方向缓慢移动的目的；通过拧开连接在固定片与操作台间的螺钉，可以推动滑动板带动探针在水平方向快速的移动，达到探针在水平方向快速移动的目的，通过旋转第三转轴可以带动探针在水平方向缓慢移动；如此，当探针与芯片间的距离较远时，可以通过转动第一转轴或调节水平快调机构使探针快速的接近芯片，缩短了调节探针到芯片间的时间，从而提高了该手动探针台检测芯片的效率。附图说明图1为本技术的正面剖视结构简图；图2为本技术图1中A-A处的剖视结构简图；图3为本技术图1中B处的放大示意图；图4为本技术图1中C处的放大示意图；图5为本技术图1中D处的放大示意图；图6为本技术轴承的结构简图；附图标记：1底座，2放物筒，3探针，4观测台，5第二手柄，6第二转轴，7顶板，8连接板，9第二滑槽，10通槽，11齿条箱，12齿轮，13齿条，14第一滑槽，15支撑板，16操作台，17放物槽，18放物板，19连接环，20安装孔，21固定片，22竖直板，23滑动板，24第一手柄，25第一转轴，26第三手柄，27第三转轴，28轴承，281外圈，282滚动体，283内圈，29第三滑槽，30电机槽，31电机，32第四转轴。具体实施方式为了本
的人员更好的理解本技术，下面结合附图和以下实施例对本技术作进一步详细描述。实施例1：如图1-6所示，一种芯片用的手动探针台，包括底座，所述底座上安装有观测台，所述底座顶面安装有与观测台相对应且可旋转的放物台，所述底座顶面在竖直方向安装有支撑板，所述支撑板上开有第一滑槽，所述第一滑槽内安装有可沿第一滑槽上下滑动的齿条箱，所述齿条箱内相对两侧面上设有齿条，所述齿条箱内还安装有与齿条可相互啮合的齿轮，所述齿轮的轮齿未布满齿轮的整个圆周面，所述齿条箱上还开有通槽，所述齿轮的轮心连接有依次穿过通槽和支撑板的第一转轴，所述第一转轴的末端连接有第一手柄；所述齿条箱上连接有连接板，所述连接板上开有第一滑槽，所述连接板的顶面安装有顶板，所述顶板被第二转轴穿过，所述第二转轴的上端连接有第二手本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片用的手动探针台，包括底座(1)，所述底座(1)上安装有观测台(4)，其特征在于：所述底座(1)顶面安装有与观测台(4)相对应且可旋转的放物台，所述底座(1)顶面在竖直方向安装有支撑板(15)，所述支撑板(15)上开有第一滑槽(14)，所述第一滑槽(14)内安装有可沿第一滑槽(14)上下滑动的齿条箱(11)，所述齿条箱(11)内相对两侧面上设有齿条(13)，所述齿条箱(11)内还安装有与齿条(13)可相互啮合的齿轮(12)，所述齿轮(12)的轮齿未布满齿轮(12)的整个圆周面，所述齿条箱(11)上还开有通槽(10)，所述齿轮(12)的轮心连接有依次穿过通槽(10)和支撑板(15)的第一转轴(25)，所述第一转轴(25)的末端连接有第一手柄(24)；所述齿条箱(11)上连接有连接板(8)，所述连接板(8)上开有第一滑槽(14)，所述连接板(8)的顶面安装有顶板(7)，所述顶板(7)被第二转轴(6)穿过，所述第二转轴(6)的上端连接有第二手柄(5)，下端连接有可沿第二滑槽(9)上下滑动的操作台(16)，所述顶板(7)与第二转轴(6)通过螺纹连接；所述操作台(16)上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针(3)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种芯片用的手动探针台，包括底座(1)，所述底座(1)上安装有观测台(4)，其特征在于：所述底座(1)顶面安装有与观测台(4)相对应且可旋转的放物台，所述底座(1)顶面在竖直方向安装有支撑板(15)，所述支撑板(15)上开有第一滑槽(14)，所述第一滑槽(14)内安装有可沿第一滑槽(14)上下滑动的齿条箱(11)，所述齿条箱(11)内相对两侧面上设有齿条(13)，所述齿条箱(11)内还安装有与齿条(13)可相互啮合的齿轮(12)，所述齿轮(12)的轮齿未布满齿轮(12)的整个圆周面，所述齿条箱(11)上还开有通槽(10)，所述齿轮(12)的轮心连接有依次穿过通槽(10)和支撑板(15)的第一转轴(25)，所述第一转轴(25)的末端连接有第一手柄(24)；所述齿条箱(11)上连接有连接板(8)，所述连接板(8)上开有第一滑槽(14)，所述连接板(8)的顶面安装有顶板(7)，所述顶板(7)被第二转轴(6)穿过，所述第二转轴(6)的上端连接有第二手柄(5)，下端连接有可沿第二滑槽(9)上下滑动的操作台(16)，所述顶板(7)与第二转轴(6)通过螺纹连接；所述操作台(16)上安装有水平快调机构，所述水平快调机构上安装有水平微调机构，所述水平微调机构上安装有与放物台相对应的探针(3)。


2.根据权利要求1所述的一种芯片用的手动探针台，其特征在于：所述操作台(16)的顶面开有第三滑槽(29)，所述水平快调机构安装在第三滑槽(29)内，所述水平快调机构包括安装在第三滑槽(29)内且可沿第三滑槽(29)左右滑动的滑动板(23)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋次为，
申请(专利权)人：成都汉芯国科集成技术有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51