探针、检查单元以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及探针、检查单元以及检查装置，探针具有：弹性部，沿着第1方向伸缩；第1接触部，配置于弹性部的第1方向的一端；第2接触部，配置于弹性部的第1方向的另一端，与第1接触部的第2方向的一端相比，弹性部在第2方向上配置于第1接触部的第2方向的另一端侧，第1接触部具有支承部，相对于第1接触部的一端，支承部与弹性部配置于第2方向的相同侧，且支承部在第2方向上突出，支承部构成为能够在收纳于插座的状态下在第1方向上与插座的内部抵接，弹性部具有沿着第2方向延伸的多个延伸部以及与相邻的延伸部连接的至少一个弯曲部，延伸部和弯曲部分别具有贯通孔，贯通孔在探针的板厚方向贯通并且沿着弹性部的形状延伸。

Probe, inspection unit and inspection device

【技术实现步骤摘要】
探针、检查单元以及检查装置本专利技术专利申请是专利技术名称为“探针”、国际申请日为2017年3月14日、国际申请号为“PCT/JP2017/010191”、国家申请号为“201780002574.4”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及探针、检查单元以及检查装置。
技术介绍
在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般来讲，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将FPC接触电极或所安装的基板对基板连接器等的电极部与检查装置连接，由此进行这些检查，其中，该FPC接触电极用于与在电子部件模块中设置的主体基板连接。作为这种探针，例如存在专利文献1中记载的探针。该探针由在长度方向上伸缩的弹性部以及在该弹性部的长度方向的两端分别设置的1个触点部构成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-516398号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在所述探针中，由于通过1个触点部使检查对象物和检查装置接触，因此，例如在检查对象物的端子是基板对基板连接器的凸侧的连接器等的凸触点的情况下，无法将探针的触点部和检查对象物的凸触点稳定地连接，有时无法确保接触可靠性。因此，本专利技术的课题在于，提供能够与凸触点稳定地连接的探针以及具有该探针的检查单元以及检查装置。用于解决问题的手段本专利技术的一个方式的探针具有：弹性部，其沿着第1方向伸缩；第1接触部，其配置于所述弹性部的所述第1方向的一端；以及第2接触部，其配置于所述弹性部的所述第1方向的另一端，该探针能够以所述弹性部能够在所述第1方向上伸缩的状态收纳于插座，其中，与所述第1接触部的与所述第1方向交叉的第2方向的一端相比，所述弹性部在所述第2方向上配置于所述第1接触部的所述第2方向的另一端侧，所述第1接触部具有支承部，相对于所述第1接触部的所述一端，该支承部与所述弹性部配置于所述第2方向的相同侧，且该支承部在所述第2方向上突出，所述支承部构成为能够在收纳于所述插座的状态下在所述第1方向上与所述插座的内部抵接，所述弹性部具有沿着所述第2方向延伸的多个延伸部以及与相邻的所述延伸部连接的至少一个弯曲部，所述延伸部和所述弯曲部分别具有贯通孔，所述贯通孔在所述探针的板厚方向贯通并且沿着所述弹性部的形状延伸。专利技术效果根据所述方式的探针、检查单元以及检查装置，能够通过一对能够挠曲的脚部的前端的一对触点部与凸触点稳定地连接。附图说明图1是用于说明本专利技术的第1实施方式的探针的使用状态的立体图。图2是沿着图1的II-II线的剖视图。图3是本专利技术的第1实施方式的探针的立体图。图4是图3的探针的平面图。图5是示出图3的探针的与公连接器的凸触点接触之前的状态的剖视图。图6是示出图3的探针的与公连接器的凸触点接触的状态的剖视图。图7是示出图3的探针的其他例子的立体图。图8是本专利技术的第2实施方式的探针的平面图。图9是示出图8的探针的与公连接器的凸触点接触的状态的剖视图。图10是示出图8的探针的其他例子的平面图。图11是本专利技术的第3实施方式的探针的主视图。图12是示出图11的探针的与公连接器的凸触点接触的状态的剖视图。图13是本专利技术的第4实施方式的探针的主视图。图14是示出图13的探针的与公连接器的凸触点接触的状态的剖视图。标号说明1：插座；2：收纳部；3：槽部；4：贯通孔；10、110、210、310：探针；20：弹性部；120：螺旋弹簧；21：直线部；22：弯曲部；23：贯通孔；221：第1弯曲部；222：第2弯曲部；30、130：第1接触部；31：支承部；32、33、132、133：脚部；321、331：触点部；34：间隙；35：弯曲面；36：倾斜面；37：插入部；38：贯通孔；40、140：第2接触部；41：基部；42：突出部；43：贯通孔；44、45：弹性片；46、47：突起；50、60：止动件；51、61：突起部；70：联结部；80：检查对象物；81：凸触点；90：基板；91：端子；CL0：(插座的)中心线；CL1：(弹性部的)中心线；CL2：(一对脚部的)中心线；L1：(连接第1弯曲部的顶点的)直线；L2：(连接第2弯曲部的顶点的)直线；W1：弹性部的宽度；W2：支承部的宽度；W3：从支承部起到弯曲面的顶点为止的距离；P1：(相邻探针的突出部间的)间距；P2：(相邻的探针的脚部间的)间距。具体实施方式以下，按照附图对本专利技术的一个实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或位置的用语(例如，包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图来理解专利技术，本专利技术的技术范围不被这些用语的意思限定。此外，以下的说明只不过是本质地进行例示，不会有意地限制本专利技术、其应用物或其用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不一定与现实一致。(第1实施方式)例如，如图1所示，本专利技术的第1实施方式的探针10在收纳在插座1中的状态下被使用，与插座1一起构成检查单元，其中，该插座1安装在检查装置的基板90上。在该插座1中，如图2所示，多对收纳部2被设置成关于中心线CL0对称，在该收纳部2中收纳有探针10。各收纳部2由能够收纳探针10的槽部3以及设于槽部3的底面上的贯通孔4构成，如图1所示，沿着插座1的中心线CL0等间隔地配置。如图3所示，探针10具有弹性部20、在该弹性部20的长度方向的两端设置的第1接触部20和第2接触部40。该探针10为薄板且具有导电性，例如通过电铸法而形成为一体。另外，在以下的说明中，设探针10的板面的宽度方向为X方向、与X方向垂直的探针10的板厚方向为Y方向、与XY方向垂直的弹性部20的长度方向为Z方向。如图4所示，弹性部20具有直线部21和弯曲部22沿着Z方向交替连续的蜿蜒形状，能够沿着Z方向伸缩。直线部21在图4所示的无负荷状态下与X方向平行。弯曲部22具有位于X方向上的右侧的第1弯曲部221、以及位于X方向的左侧的第2弯曲部222，直线L1和直线L2与X方向平行，该直线L1是连接在弹性部20的长度方向上相邻的各第1弯曲部221的顶点的切线，该直线L2是连接在弹性部20的长度方向上相邻的各第2弯曲部222的顶点的切线。此外，在弹性部20的各直线部21的宽度方向的中间部和各弯曲部22的宽度方向的中间部设有贯通孔23，该贯通孔23在板厚方向(Y方向)上贯通，并且沿着蜿蜒形状而延伸。由此，提高了弹性部20的弹簧特性。如图4所示，第1接触部30具有：支承部31，其与弹性部20的Z方向的下端联结；能够挠曲的一对脚部32、33，它们从该支承部31向Z方向的下侧延伸；一对触点部321、331，它们以能够与检查对象物的凸触点接触的方式配置在一对脚部32、33的前端。该一对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针，该探针具有：/n弹性部，其沿着第1方向伸缩；/n第1接触部，其配置于所述弹性部的所述第1方向的一端；以及/n第2接触部，其配置于所述弹性部的所述第1方向的另一端，/n该探针能够以所述弹性部能够在所述第1方向上伸缩的状态收纳于插座，其中，/n与所述第1接触部的与所述第1方向交叉的第2方向的一端相比，所述弹性部在所述第2方向上配置于所述第1接触部的所述第2方向的另一端侧，/n所述第1接触部具有支承部，相对于所述第1接触部的所述一端，该支承部与所述弹性部配置于所述第2方向的相同侧，且该支承部在所述第2方向上突出，/n所述支承部构成为能够在收纳于所述插座的状态下在所述第1方向上与所述插座的内部抵接，/n所述弹性部具有沿着所述第2方向延伸的多个延伸部以及与相邻的所述延伸部连接的至少一个弯曲部，/n所述延伸部和所述弯曲部分别具有贯通孔，所述贯通孔在所述探针的板厚方向贯通并且沿着所述弹性部的形状延伸。/n

【技术特征摘要】
20160617 JP 2016-1211501.一种探针，该探针具有：
弹性部，其沿着第1方向伸缩；
第1接触部，其配置于所述弹性部的所述第1方向的一端；以及
第2接触部，其配置于所述弹性部的所述第1方向的另一端，
该探针能够以所述弹性部能够在所述第1方向上伸缩的状态收纳于插座，其中，
与所述第1接触部的与所述第1方向交叉的第2方向的一端相比，所述弹性部在所述第2方向上配置于所述第1接触部的所述第2方向的另一端侧，
所述第1接触部具有支承部，相对于所述第1接触部的所述一端，该支承部与所述弹性部配置于所述第2方向的相同侧，且该支承部在所述第2方向上突出，
所述支承部构成为能够在收纳于所述插座的状态下在所述第1方向上与所述插座的内部抵接，
所述弹性部具有沿着所述第2方向延伸的多个延伸部以及与相邻的所述延伸部连接的至少一个弯曲部，

【专利技术属性】
技术研发人员：寺西宏真，酒井贵浩，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP