一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡制造技术

本实用新型专利技术涉及芯片检测技术领域，公开了一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡，包括基板、线路板，所述基板的顶面右端固定有连接柱，所述基板的底面右端设有凹腔，所述的线路板通过长螺栓与凹腔的底部固定连接；所述基板的左端设有滑孔，所述滑孔内设有滑杆，所述滑杆的上端设有限位螺母，滑杆的下端设有连接座，所述连接座的下端设有两根倾斜的探针，所述探针的尾端通过数据线与线路板连接，所述滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧；所述的探针为刚性探针。本实用新型专利技术结构紧凑，稳定性好，探针长度较短，能提高高频芯片的检测灵敏度。

A cantilever probe card for high frequency chip detection

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡
本技术涉及芯片检测
，尤其涉及一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡。
技术介绍
半导体集成电路芯片的电性测试在半导体制作工艺的不同阶段都是必要的，每个芯片在晶片与封装形态都必须接受测试以确保其电性功能。目前晶片检测的方式是将测试机与探针卡构成测试回路，将探针卡上的探针头直接与芯片的焊垫或凸块接触，利用探针头逐一探测晶片上的各个芯片，并将探测信号数据传送到测试机上。悬臂式探针的长度通常较长，以满足其检测时的弹性形变，确保探针与芯片接触良好，然而对于一些高频芯片检测，为了提高检测灵敏度，要求探针越短越好，目前的悬臂式探针卡上的探针较长，用于检测高频芯片时，灵敏度会降低，从而降低检测精度。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术中的悬臂探针卡上的探针较长导致用于检测高频芯片时检测灵敏度降低的问题，提供了一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡，该探针卡上的探针长度最大限度的缩短，从而提高高频芯片的检测灵敏度。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡，包括基板、线路板，所述基板的顶面右端固定有连接柱，所述基板的底面右端设有凹腔，所述的线路板通过长螺栓与凹腔的底部固定连接；所述基板的左端设有滑孔，所述滑孔内设有滑杆，所述滑杆的上端设有限位螺母，滑杆的下端设有连接座，所述连接座的下端设有两根倾斜的探针，所述探针的尾端通过数据线与线路板连接，所述滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧；所述的探针为刚性探针。探针直接固定在连接座上，连接座与滑杆连接，滑杆可沿着滑孔升降，检测时探针本身就不需要伸缩了，因此直接采用刚性探针，刚性探针会比弹性探针(弹性探针通常包含固定段、伸缩段)短很多，而且探针尾端直接通过数据线与线路板连接，从而极大的缩短探针头部到线路板连接端的长度，提高了高频芯片的检测精度。作为优选，所述滑杆的侧面设有长槽孔，所述基板的左端设有伸入长槽孔内的限位销。通过限位销、长槽孔对滑杆进行周向限位，防止滑杆转动，确保每次检测时探针头部的位置一致。作为优选，所述连接座的下端设有连接孔，所述连接座内位于连接孔的上端设有引线腔，所述连接孔内设有连接套，连接套与连接孔螺纹连接，所述的探针通过绝缘胶固定在连接套内。即将绝缘胶注入连接套内，待绝缘胶凝固后就将探针定位，绝缘胶凝固后受压具有微小的形变量，即使探针头部存在微小的高度差，受压时也能确保两根探针均与芯片接触检测。作为优选，所述长螺栓上位于线路板与凹腔底部之间的部位设有支撑套，所述线路板与基板之间形成散热间隙。散热间隙便于线路板散热。作为优选，所述的基板由陶瓷制成。陶瓷具有良好的绝缘性和刚性。因此，本技术结构紧凑，稳定性好，探针长度较短，能提高高频芯片的检测灵敏度。附图说明图1为本技术的一种结构示意图。图2为图1中A处局部放大示意图。图中：基板1、线路板2、连接柱3、凹腔4、长螺栓5、支撑套6、滑孔8、滑杆9、限位螺母10、长槽孔11、限位销12、连接座13、探针14、引线腔15、连接套16、绝缘胶17、数据线18、压簧19。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步描述：如图1、图2所示的一种用于检测高频芯片的悬臂式探针卡，包括基板1、线路板2，基板由陶瓷制成，基板的顶面右端固定有连接柱3，基板的底面右端设有凹腔4，线路板2通过长螺栓5与凹腔的底部固定连接，长螺栓5上位于线路板与凹腔底部之间的部位设有支撑套6，线路板与基板之间形成散热间隙；基板1的左端设有滑孔8，滑孔内设有滑杆9，滑杆的上端设有限位螺母10，滑杆的侧面设有长槽孔11，基板的左端设有伸入长槽孔内的限位销12；滑杆的下端设有连接座13，连接座的下端设有两根倾斜的探针14，连接座的下端设有连接孔，连接座内位于连接孔的上端设有引线腔15，连接孔内设有连接套16，连接套与连接孔螺纹连接，探针14通过绝缘胶17固定在连接套内,探针的尾端伸入引线腔内，探针的尾端通过数据线18与线路板连接，滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧19；本实施例中的探针为刚性探针。结合附图，本技术的原理如下：探针通过绝缘胶固定在连接套内，连接套与连接座连接，连接座与滑杆连接，探针尾端通过数据线与线路板连接；使用时，连接柱与测试机之间机械连接，线路板与测试机之间电连接，检测时，两根探针与高频芯片接触，并对探针施加一个压力，绝缘胶本身具有一定的弹性，当两根探针头部存在微小的高度差时，受压后能够自动调节到平齐状态，滑杆可沿着滑孔滑动，防止压力过大而导致探针损坏；由于滑杆可弹性升降，因此直接采用刚性探针，刚性探针会比弹性探针(弹性探针通常包含固定段、伸缩段)短很多，而且探针尾端直接通过数据线与线路板连接，从而极大的缩短探针头部到线路板连接端的长度，提高了高频芯片的检测精度。以上仅为本技术的具体实施例，但本技术的技术特征并不局限于此。任何以本技术为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出的简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本技术的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡，其特征是，包括基板、线路板，所述基板的顶面右端固定有连接柱，所述基板的底面右端设有凹腔，所述的线路板通过长螺栓与凹腔的底部固定连接；所述基板的左端设有滑孔，所述滑孔内设有滑杆，所述滑杆的上端设有限位螺母，滑杆的下端设有连接座，所述连接座的下端设有两根倾斜的探针，所述探针的尾端通过数据线与线路板连接，所述滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧；所述的探针为刚性探针。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡，其特征是，包括基板、线路板，所述基板的顶面右端固定有连接柱，所述基板的底面右端设有凹腔，所述的线路板通过长螺栓与凹腔的底部固定连接；所述基板的左端设有滑孔，所述滑孔内设有滑杆，所述滑杆的上端设有限位螺母，滑杆的下端设有连接座，所述连接座的下端设有两根倾斜的探针，所述探针的尾端通过数据线与线路板连接，所述滑杆上位于连接座与基板底面之间的部位套设有压簧；所述的探针为刚性探针。


2.根据权利要求1所述的一种用于检测高频芯片的悬臂探针卡，其特征是，所述滑杆的侧面设有长槽孔，所述基板的左端设有伸入长槽孔内...

【专利技术属性】
技术研发人员：王思轩，洪家萍，
申请(专利权)人：普铄电子上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31