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本发明涉及探针、检查单元以及检查装置，探针具有：弹性部，沿着第1方向伸缩；第1接触部，配置于弹性部的第1方向的一端；第2接触部，配置于弹性部的第1方向的另一端，与第1接触部的第2方向的一端相比，弹性部在第2方向上配置于第1接触部的第2方向的...
该专利属于欧姆龙株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。

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