【技术实现步骤摘要】
一种新型的电子显微镜冷却系统
本专利技术公开一种新型的电子显微镜冷却系统。
技术介绍
电子显微镜(ElectronMicroscope,简称EM),是一种大型表征仪器,可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2μm的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构,为科技发展做出了巨大的贡献。其结构组成部分主要有电子光学系统、真空系统、电子控制及安全系统。由于电镜工作时磁透镜、扩散泵、集成电路等都会产生高温,所以要求循环冷却水同时工作,电镜工作温度一般控制在15-20℃,一旦冷却系统出现故障,轻则触发高温保护,重则烧毁部件。使用传统的循环水进行冷却,具有以下几个可改进的方面:(1)由于电镜关机后需冷却至室温,传统做法是在关闭电镜后,再等20分钟手动关闭循环冷却水,这样不但增加了电镜操作人员负担,还降低了电镜的有效使用时间;(2)循环水需要经常更换,否则水中会滋生微生物等导致水污染;(3)外接循环水机需占用一定空间且工作时噪音和震动较大,故需放在其它房间;(4)外接循环水机本身故障将导致电镜不能正常工作,增加了维护维修成本。为解决上述问题,本专利技术将应用新的冷媒介质来代替循环冷却水。
技术实现思路
本专利技术的目的是解决现有电子显微镜现有循环系统不方便、易故障的问题,提供了一种新型的电子显微镜冷却系统解决方案。本专利技术包括:复合固固定型储热材料(1);电子显微镜各级磁透镜散热夹层(2);电子显微镜扩散泵包裹层(3);电子显微镜集成电路板散热片包裹层(4);温度传感器(5)。优选的复合固固定型储 ...
【技术保护点】
1.本专利技术涉及一种新型的电子显微镜冷却系统,该系统包括:复合固固定型储热材料(1) ;电子显微镜各级磁透镜散热夹层(2);电子显微镜扩散泵包裹层(3);电子显微镜集成电路板散热片包裹层(4);温度传感器(5)。/n
【技术特征摘要】
1.本发明涉及一种新型的电子显微镜冷却系统,该系统包括:复合固固定型储热材料(1);电子显微镜各级磁透镜散热夹层(2);电子显微镜扩散泵包裹层(3);电子显微镜集成电路板散热片包裹层(4);温度传感器(5)。
2.根据权利要求书1中所述的复合固固定型储热材料(1),是一种新型储热材料作为冷却循环的导热介质,属于被动温控,节约了传统循环水等外部设备,且易于加工成所需要的形状和尺寸,具有温控精确、方便安全、节能高效、环境友好等特点。
3.根据权利要求书1中所述的电子显微镜各级磁透镜散热夹层(2),应用于电子显微镜及其工作场景的温控,保证电镜在适宜温度下工作,...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨艳娜,张康,李盛,
申请(专利权)人:河南河大科技发展有限公司,
类型:发明
国别省市:河南;41
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