一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜制造技术

本发明专利技术提供了一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜。其中，用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台包括至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。其可对单个断口样品进行倾斜而不影响其他断口样品，提高扫描电镜测试效率。

A scanning electron microscope universal rotating sample table and scanning electron microscope for fracture analysis

【技术实现步骤摘要】
一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜
本专利技术属于断口分析设备领域，尤其涉及一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜。
技术介绍
本部分的陈述仅仅是提供了与本专利技术相关的
技术介绍
信息，不必然构成在先技术。断口分析是工程材料领域的重要分析手段。通过断口形貌分析可以确定材料开裂的起始位置与最终位置，还可以判定材料的断裂原因，如疲劳、磨损、腐蚀等。目前分析材料断口微观形貌的有效手段是利用扫描电镜的二次电子成像技术获得断口表面的形貌特征。扫描电镜与能谱相结合可以确定外来元素对断口成因的影响。通常情况下断裂材料的断口都是高低不平有相对倾斜的表面的。在观察断口的过程中，有些倾斜面可能由于其倾斜角度过大超出了扫描电镜成像的衬度范围，导致最终获得的图片有模糊区域。为了解决上述问题的一般方法是将样品台倾斜，使断口的倾斜面转至水平位置。专利技术人发现，样品台的倾斜角度通常有一定的限制，而且将样品台倾斜的方法只适用于样品台上只有一个断口样品的情况，如果样品台上有多个断口样品，样品台的倾斜使一个样品达到观察条件，却会使其他的样品由于样品台倾斜而转变位置甚至站立不稳，最终掉入样品仓，不利于观察，甚至会对仪器有损害。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜，其可对单个断口样品进行倾斜而不影响其他断口样品，提高扫描电镜测试效率。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：本专利技术的第一方面提供一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其包括：至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。作为一种实施方式，所述支架底部设置有支架固定轴，所述支架固定轴可拆卸连接在样品孔内。作为一种实施方式，所述第一转动轴与第一驱动机构相连，所述第一驱动机构与微处理器相连。作为一种实施方式，两个第二转动轴分别与两个同步的第二驱动机构对应相连，第二驱动机构与微处理器相连。作为一种实施方式，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面(-180°～180°)范围内转动。作为一种实施方式，第二转动辅可绕两端的第二转动轴在(-90°～90°)范围内转动。作为一种实施方式，所述样品孔设置在样品台底座上，所述样品台底座底部设置有第三转动轴，所述第三转动轴与第三驱动机构相连，第三驱动机构与微处理器相连。作为一种实施方式，当样品台底座上存在两个样品孔时，这两个样品孔均布于样品台底座的靠近边缘位置。作为一种实施方式，当样品台底座上存在至少三个样品孔时，一个样品孔设置在样品台底座中心位置，其他样品孔均布于样品台底座的靠近边缘位置；本专利技术的第二方面提供一种扫描电镜，其包括上述所述的用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台。作为一种实施方式，所述扫描电镜还包括控制面板，所述控制面板用于控制所述扫描电镜万向转动样品台运动。本专利技术的有益效果是：本专利技术利用第一转动辅绕其底部的第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；第二转动辅绕其两端的第二转动轴在预设角度范围内转动，实现单个样品的转动而不影响不影响其他的样品，最终提高扫描电镜的分析效率。附图说明构成本专利技术的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。图1是本专利技术实施例提供的样品孔剖面图；图2是本专利技术实施例提供的样品孔俯视图；图3是本专利技术实施例提供的样品台底座结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的样品台底座在样品台底座的装配图；图5是本专利技术实施例提供的控制面板界面；图6是本专利技术实施例提供的样品台初始位置特征；图7是本专利技术实施例提供的①号断口初始位置示意图。其中，1-第一转动辅；2-第二转动辅；3-第二转动轴；4-支架；5-第一转动轴；6-支架固定轴；7-样品台底座；8-样品孔；9-探测器。具体实施方式下面结合附图与实施例对本专利技术作进一步说明。应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本专利技术提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本专利技术所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本专利技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。在本专利技术中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本专利技术各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本专利技术中任一部件或元件，不能理解为对本专利技术的限制。本专利技术中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接，也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本专利技术中的具体含义，不能理解为对本专利技术的限制。本实施例提供的一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其包括：至少一个样品孔8，所述样品孔8内设置有第一转动辅1，所述第一转动辅1用于支撑断口样品，所述第一转动辅1的底部设置有第一转动轴5，第一转动辅1可绕第一转动轴5在水平面的预设角度范围(例如：-180°～180)内转动；所述第一转动轴5固定在第二转动辅2上，所述第二转动辅2两端分别与一个第二转动轴3对应相连，所述第二转动辅2可绕两端的第二转动轴3在预设角度范围(例如：-90°～90°)内转动；两个第二转动轴3分别与支架4的两端相连，所述支架4固定在样品孔8内，如图1和图2所示。作为一种实施方式，所述支架4底部设置有支架固定轴6，所述支架固定轴6可拆卸连接在样品孔8内。在具体实施中，所述第一转动轴与第一驱动机构相连，所述第一驱动机构与微处理器相连。两个第二转动轴分别与两个同步的第二驱动机构对应相连，第二驱动机构与微处理器相连。如图3和图4所示，所述样品孔8设置在样品台底座7上，所述样品台底座7底部设置有第三转动轴，所述第三转动轴与第三驱动机构相连，第三驱动机构与微处理器相连。在具体实施中，第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构可采用驱动电机或其他现有的驱动结构来实现。作为一种实施方式，当样品台底座上存在两个样品孔时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其特征在于，包括：/n至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其特征在于，包括：
至少一个样品孔，所述样品孔内设置有第一转动辅，所述第一转动辅用于支撑断口样品，所述第一转动辅的底部设置有第一转动轴，第一转动辅可绕第一转动轴在水平面的预设角度范围内转动；所述第一转动轴固定在第二转动辅上，所述第二转动辅两端分别与一个第二转动轴对应相连，所述第二转动辅可绕两端的第二转动轴在预设角度范围内转动；两个第二转动轴分别与支架的两端相连，所述支架固定在样品孔内。


2.如权利要求1所述的用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其特征在于，所述支架底部设置有支架固定轴，所述支架固定轴可拆卸连接在样品孔内。


3.如权利要求1所述的用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其特征在于，所述第一转动轴与第一驱动机构相连，所述第一驱动机构与微处理器相连。


4.如权利要求1所述的用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其特征在于，两个第二转动轴分别与两个同步的第二驱动机构对应相连，第二驱动机构与微处理器相连。


5.如权利要求1所述的用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭卫民，丁宁，刘珑，侯南，李囡，
申请(专利权)人：山东省分析测试中心，
类型：发明
国别省市：山东;37