一种电子显微真空系统故障位置报警装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电子显微真空系统故障位置报警装置。本发明专利技术包括：分级真空系统(1)；真空测量规(2)；计时器（3）；报警器(4)。本发明专利技术适用于电子显微镜真空系统的异常提示和故障定位，用来监测电镜分级真空系统中具体的故障位置，保护仪器，为检修提供依据。

A fault location alarm device for electronic micro vacuum system

【技术实现步骤摘要】
一种电子显微真空系统故障位置报警装置
本专利技术公开一种电子显微真空系统故障位置报警装置。
技术介绍
电子显微镜(ElectronMicroscope,简称EM)，以下称电镜，随着科学技术的发展，电镜在研究领域起着不可替代的作用，其应用越来越广泛，在材料科学、生物科学、医学等领域发挥着重要作用。电镜主要组成部分为电子光学系统、真空系统和电控系统，镜筒中各部件需要在高真空状态下工作，当电子显微镜镜筒内真空度达不到要求时有可能出现的问题主要表现在以下几个方面：（1）高速电子与残余气体分子碰撞改变电子的正常运动轨迹并产生电离和放电气体分子对电子的随机散射也会降低成像反差；（2）导致炽热的阴极钨灯丝速速氧化烧毁，降低灯丝的使用寿命；（3）会引起栅极与阴极间空气分子电离发生极间放电；（4）残余气体在样品周围会污染样品。由以上的影响因素可以看出，想要保持电镜的良好运行状态，并获得一张高质量的电子显微镜图像，电镜镜筒具备较高的真空度是不可忽视的必备条件之一。由于电镜真空系统比较复杂，一般涉及2到3级真空泵，数十个真空接头和密封部位，5-7个由电磁阀/气压阀隔开的相对独立真空空间。这其中任意一个部位出现问题都会影响仪器整体的真空状态。因此，设置相关的指示、预警装置十分必要。本专利技术采用真空度测量规、计时器和报警装置联用，当电镜各个部位的真空度过低、抽真空时间过长、短时间内真空连续降低等情况时，报警器发出通知，可以及时停止当前操作，锁定故障位置，便于查找故障原因，保护仪器，节省时间。
技术实现思路
本专利技术提供一种电子显微真空系统故障位置报警装置，该装置包括：分级真空系统(1)；真空测量规(2)；计时器（3）；报警器(4)。本装置将数个真空测量规(2)分别置于在分级真空系统（1）中的各个关键位置，根据电镜出厂参数设定监控阈值和适当的抽真空时间。当任一位置的真空度出现异常时，报警器(4)及时发出通知。本专利技术的有益效果是：可以及时停止当前操作，锁定故障位置，便于查找故障原因，保护仪器，节省时间。附图说明附图1本专利技术结构示意图。具体实施方式以下以具体实施例来说明本专利技术的技术方案，但本专利技术的保护范围不限于此：如图所示，真空测量规（2）安装于真空系统（1）中，常用重点位置和监控数值包括：空压机（压力约0.4MPa），机械泵（真空度约1.0×10-2Pa，可能多个）、扩散泵（真空度约1.0×10-4Pa，可能多个）、观察室（真空度约1.0×10-3Pa）、样品仓（真空度约1×10-3Pa，频繁打开—重抽）、分子泵（真空度约1.0×10-5Pa)、离子泵（真空度约1.0×10-8Pa)、电子枪室（真空度约1.0×10-5Pa)。以上真空状况部分具有先后关系，当任一位置中真空度出现异常时，可能会无法进行至下一步真空，还可能触发仪器保护逻辑，强制关闭束流、高压、隔离阀。应用本装置，当任一真空测量规（2）或计时器（3）发现异常时，通过报警器（4）发出警报，可以及时停止当前操作，锁定故障位置，便于查找故障原因。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子显微真空系统故障位置报警装置，该装置包括：分级真空系统(1) ；真空测量规(2)；计时器（3）；报警器(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子显微真空系统故障位置报警装置，该装置包括：分级真空系统(1)；真空测量规(2)；计时器（3）；报警器(4)。


2.根据权利要求书1所述的分级真空系统（1），分为前级低真空、次级高真空、电子枪室高真空，分别对应不同等级的真空抽取和测量设备。


3.根据权利要求书1所述的真空测量规（2），是一类利用气体分子电离原理测量真空度的装置，安装于分级真空系...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨艳娜，郭新勇，张康，李盛，
申请(专利权)人：河南河大科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：河南;41