【技术实现步骤摘要】
料盘吸取装置
本技术涉及一种用于夹取料盘的吸取装置。
技术介绍
用于存放半导体元器件的料盘如图1所示。这些料盘存放于静电箱内如图2所示。在料盘的存取过程中,为了提升效率将采用机械手自动夹取料盘,本技术就提供了一种料盘吸取装置能够有效的保证料盘在被移取过程中稳定有效。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供了一种料盘吸取装置,其目的是,提供一种料盘吸取装置,能够有效的吸取料盘。一种料盘吸取装置,其包括第一支撑盘体和第二支撑盘体,所述的第一支撑盘体和第二支撑盘体之间设置有支撑柱体,使得第一支撑盘体和第二支撑盘体之间形成容置空间;所述的第一支撑盘体上设置有若干个通孔,所述的通孔内设置有吸真空装置;所述的容置空间内设置有夹取装置。进一步的,以相对位置成三角形的三个通孔构成一组均匀布置于第一支撑盘体的表面。进一步的,所述的夹取装置其上端固定于第二支撑盘体的下表面,所述的夹取装置包括气缸,所述的气缸的下部设置有能够横向扩张的夹头,所述的夹头略突出于所述的第一支撑盘体的下表面。进一步的,所述的夹头还设置有盘片。进一步的,所述的第二支撑盘体上设置有定位孔。进一步的,所述的吸真空装置包括吸盘和吸真空阀。本技术提供的一种料盘吸取装置,其有益效果在于,其包括吸真空装置和夹取装置两个用于吸取或夹取料盘的部件,其中所述的吸真空装置以三个为组件均布于第一支撑盘体上,由于三角形是比较稳定的吸取面,这样若干个具有组件组成的部件吸取料盘能够稳定的吸取料盘。如果一个组件中的真 ...
【技术保护点】
1.一种料盘吸取装置,其特征在于,其包括第一支撑盘体和第二支撑盘体,所述的第一支撑盘体和第二支撑盘体之间设置有支撑柱体,使得第一支撑盘体和第二支撑盘体之间形成容置空间;所述的第一支撑盘体上设置有若干个通孔,所述的通孔内设置有吸真空装置;所述的容置空间内设置有夹取装置。/n
【技术特征摘要】
1.一种料盘吸取装置,其特征在于,其包括第一支撑盘体和第二支撑盘体,所述的第一支撑盘体和第二支撑盘体之间设置有支撑柱体,使得第一支撑盘体和第二支撑盘体之间形成容置空间;所述的第一支撑盘体上设置有若干个通孔,所述的通孔内设置有吸真空装置;所述的容置空间内设置有夹取装置。
2.根据权利要求1所述的一种料盘吸取装置,其特征在于,以相对位置成三角形的三个通孔构成一组均匀布置于第一支撑盘体的表面。
3.根据权利要求1或者2所述的一种料盘吸取装置,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:沙伟中,
申请(专利权)人:苏州艾斯达克智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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