半导体晶圆片的存储结构制造技术

本实用新型专利技术提供的一种半导体晶圆片的存储结构，在固定座上设置有若干个弧形槽，而螺栓则通过弧形槽将固定座固定于底板上，从所述固定座两侧的推送，所述固定座会沿着弧形槽所预设的轨迹范围内发生逆时针或者顺时针的转动。这种转动推送是通过顶推机构中的推送块以及螺栓的组合，所述螺栓通过在推送块中的旋转伸缩推动设置于固定座的固定块的推动进而推动所述固定座的旋转。而所述安装架上设置有存储格，所述存储格可以有两个侧板和安装条组成，所述的两个侧板和安装条上均设置有卡槽，所述卡槽围合形成具有安放托盘的空间。通过对固定座的调整设置于固定座上的安装架的位置进而调整存储格的位置，进而保持机械手不会与存储格的卡槽干涉。存储格的卡槽干涉。存储格的卡槽干涉。

【技术实现步骤摘要】
半导体晶圆片的存储结构


[0001]本技术涉及半导体晶圆片存储
，具体涉及一种用于将半导体晶圆片进行存储的机构。

技术介绍

[0002]半导体晶圆片是生产半导体芯片的基础材料。晶圆片存储时需要放置在如图1中的托盘上，所述托盘放置于卡槽中，通过托盘的承托以保证晶圆片不会直接与存储格的卡槽触碰而发生破损变形或者污损。通常情况下，所述托盘具有一个被机械手夹取的端部，机械手伸缩将托盘送入卡槽中。通常的为了能够存储较多的晶圆片，卡槽的存放托盘的空间要尽量的小或者说卡槽的上下空间要尽量小，这样能够使得相同高度下有足够多的卡槽数量，存储更多的托盘。所述的卡槽空间是由至少两侧的卡槽通过对象布置的方式，形成近似平行的面，将托盘平行插入。但是由于安放卡槽的架体由于材料变形，安装变形以及物理影响，不可避免的架体发生形变，而使得对象布置的卡槽就会产生水平错位而不能保存平行布置。而机械手在这种情况下就会将托盘与不平行的卡槽干涉发生碰撞损害对晶圆片损坏。据此，申请人希望通过一种机构能够对架体进行调整，改善架体的背面平行度保证卡槽左右的对象布置的位置使得托盘能够被机械本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆片的存储结构，用于存储半导体晶圆片，其特征在于，包括，底板，设置于底板上的框架体，所述框架体包括固定于底板上的固定座，所述固定座上开设有若干个弧形槽，所述弧形槽通过螺栓与底板实现可分离连接；所述固定座两侧设置顶推机构，所述顶推机构包括顶推块，所述顶推块与顶推螺栓连接，所述顶推螺栓在顶推块中旋转旋进或者旋出，所述顶推螺栓与固定座侧面设置的固定块接触；所述框架体包括两根竖直设置的安装架，所述安装架与固定座之间通过斜向设置的支撑架连接；所述安装架上设置有若干个存储半导体晶圆片的存储格。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片的存储结构，其特征在于，所述安装架上通过横向安装板将存储格固定于所述安装架上，所述存储格包括两个侧板，所述两个侧板与所述安装板固定；所述的两个侧板内侧设置有若干卡槽，所述安...

【专利技术属性】
技术研发人员：沙伟中，
申请(专利权)人：苏州艾斯达克智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：