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本实用新型提供的一种半导体晶圆片的存储结构,在固定座上设置有若干个弧形槽,而螺栓则通过弧形槽将固定座固定于底板上,从所述固定座两侧的推送,所述固定座会沿着弧形槽所预设的轨迹范围内发生逆时针或者顺时针的转动。这种转动推送是通过顶推机构中的推送...该专利属于苏州艾斯达克智能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州艾斯达克智能科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供的一种半导体晶圆片的存储结构,在固定座上设置有若干个弧形槽,而螺栓则通过弧形槽将固定座固定于底板上,从所述固定座两侧的推送,所述固定座会沿着弧形槽所预设的轨迹范围内发生逆时针或者顺时针的转动。这种转动推送是通过顶推机构中的推送...