一种固定稳定的智能三坐标检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体检测技术领域，且公开了一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板，所述底板顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨，所述底板的顶部固定安装有旋转电机，所述底板的顶部固定连接有位于底部滑轨左侧的固定板，所述旋转电机的输出轴固定连接有一端与固定板右侧活动连接的底部螺纹杆，所述底部螺纹杆的外部活动安装有数量为两个的活动块。该固定稳定的智能三坐标检测装置，通过启动旋转电机，使螺纹杆转动，通过设置有底部滑块与底部滑轨滑动连接，限制了活动块的位置，从而使两个活动块可通过底部螺纹杆与第一螺纹通孔螺纹连接而发生相对或相背的运动，进一步的使连接杆运动，使放置板可倾斜稳定的翻转。

A fixed and stable intelligent three coordinate measuring device

【技术实现步骤摘要】
一种固定稳定的智能三坐标检测装置
本技术涉及半导体检测
，具体为一种固定稳定的智能三坐标检测装置。
技术介绍
三坐标检测是检验工件的一种精密测量方法，广泛应用于机械制造业，汽车工业等现代工业中，三坐标检测就是运用三坐标测量机对工件进行形位公差的检验和测量，判断该工件的误差是不是在公差范围之内，也叫三坐标测量。半导体越来越多的应用在各个领域中，随之而来的是对半导体零件的精度的高要求和高标准，在精密零件中，半导体的精度影响着其使用性能，现有的半导体零件检测大多用高度测量仪进行测量，主要为检测高度、深度和平面度等，但是随着半导体零件的轮廓面不规则及复杂型面增多，需要通过三坐标检测才能达成检测需求，但是由于零件型面复杂，在检测过程中零件的形状不一，不好夹持，特别是针对一些大型的半导体零件，需要保证其在夹具上被夹持稳定和翻转时稳定性，故提出一种固定稳定的智能三坐标检测装置以解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种固定稳定的智能三坐标检测装置，具备固定稳定的优点，解决了由于零件型面复杂，在检测过程中零件的形状不一，不好夹持，特别是针对一些大型的半导体零件，需要保证其在夹具上被夹持稳定和翻转时稳定性的问题。(二)技术方案为实现上述固定稳定的目的，本技术提供如下技术方案：一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板，所述底板顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨，所述底板的顶部固定安装有旋转电机，所述底板的顶部固定连接有位于底部滑轨左侧的固定板，所述旋转电机的输出轴固定连接有一端与固定板右侧活动连接的底部螺纹杆，所述底部螺纹杆的外部活动安装有数量为两个的活动块，两个所述活动块的底部固定连接有与底部滑轨滑动连接的底部滑块，所述底板的顶部固定连接有位于两个底部滑轨之间的U型固定架，所述U型固定架的顶部铰接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部固定连接有放置板，所述放置板的底部固定连接有数量为两个且分别位于伸缩杆左右两侧的顶部U型连接架，两个所述活动块的顶部均固定连接有底部U型连接架，两个所述底部U型连接架的顶部均铰接有一端分别与两个顶部U型连接架铰接的连接杆，所述放置板的顶部固定连接有挡板，所述放置板的顶部固定连接有调节仓，所述放置板的顶部固定连接有位于调节仓右侧的支撑板，所述支撑板的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓内部的顶部螺纹杆，所述顶部螺纹杆的左侧活动连接有金属杆，所述调节仓正面的内壁和背面的内壁均固定连接有顶部滑轨，所述金属杆的正面和背面均固定连接有金属板，两个所述金属板相背的一侧均固定连接有与顶部滑轨滑动连接的顶部滑块，所述调节仓的内底壁和内顶壁均固定连接有数量为两个的第一限位条，所述金属杆的左侧固定连接有第三固定块，所述第三固定块的顶部和底部均固定连接有位于两个第一限位条之间的第二限位条，所述第三固定块的正面活动安装有的一端贯穿并延伸至第三固定块背面的运动杆，所述调节仓左侧的内壁固定连接有位于第一限位条背面的第一固定块，所述调节仓左侧的内壁固定连接有位于第一限位条正面的第二固定块，所述第一固定块的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓左侧的第一夹杆，所述第二固定块的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓左侧的第二夹杆。优选的，两个所述活动块相对的一侧均开设有与底部螺纹杆螺纹连接的第一螺纹通孔，两个所述第一螺纹通孔转向相反。优选的，所述支撑板的右侧开设有与顶部螺纹杆螺纹连接的第二螺纹通孔，所述第一夹杆和第二夹杆相同且互相对称。优选的，所述调节仓的右侧开设有与顶部螺纹杆相适配的圆形通孔，两个所述第一限位条之间的距离与第二限位条的宽度相同。优选的，所述第三固定块的正面开设有与运动杆相适配的第一通孔，所述运动杆的顶部和底部均为斜面。优选的，所述调节仓的左侧和第一固定块的左侧均开设相互连通且与第一夹杆相适配的第二通孔，所述第一夹杆的右侧为斜面，所述调节仓的左侧和第二固定块的左侧均开设有相互连通且与第二夹杆相适配的第三通孔，所述第二夹杆的右侧为斜面。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种固定稳定的智能三坐标检测装置，具备以下有益效果：该固定稳定的智能三坐标检测装置，通过启动旋转电机，使螺纹杆转动，通过设置有底部滑块与底部滑轨滑动连接，进一步的限制了活动块的位置，从而使两个活动块可通过底部螺纹杆与第一螺纹通孔螺纹连接而发生相对或相背的运动，进一步的使连接杆运动，使放置板可倾斜稳定的翻转，通过转动顶部螺纹杆，通过设置有顶部滑块与顶部滑轨滑动连接，限制了金属杆的位置，进一步的使顶部螺纹杆可通过与第二螺纹通孔螺纹连接而发生水平运动，进而使金属杆向左侧移动，带动第三固定块移动，又通过设置有两个第一限位条之间的距离与第二限位条的宽度相同，使第三固定块的移动更加的稳定，从而使运动杆对第一夹杆和第二夹杆造成挤压，进而使第一夹杆和第二夹杆对放置挡板右侧的工件进行挤压夹持，当夹持的工件表面不平时，第一夹杆和第二夹杆会适应工件的表面进行调整，进而与工件的表面紧密的贴合，从而使工件被夹持稳定。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术调节仓的俯视剖视图。图中：1底板、2固定板、3底部U型连接架、4放置板、5挡板、6调节仓、7伸缩杆、8支撑板、9顶部U型连接架、10连接杆、11旋转电机、12底部螺纹杆、13底部滑块、14底部滑轨、15U型固定架、16活动块、17第一夹杆、18第一固定块、19第一限位条、20第三固定块、21顶部滑轨、22金属板、23金属杆、24第二限位条、25顶部滑块、26运动杆、27第二固定块、28第二夹杆、29顶部螺纹杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板1，底板1顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨14，底板1的顶部固定安装有旋转电机11，旋转电机11的型号可为Y80M1-2，底板1的顶部固定连接有位于底部滑轨14左侧的固定板2，旋转电机11的输出轴固定连接有一端与固定板2右侧活动连接的底部螺纹杆12，底部螺纹杆12的外部活动安装有数量为两个的活动块16，两个活动块16相对的一侧均开设有与底部螺纹杆12螺纹连接的第一螺纹通孔，两个第一螺纹通孔转向相反，两个活动块16的底部固定连接有与底部滑轨14滑动连接的底部滑块13，底板1的顶部固定连接有位于两个底部滑轨14之间的U型固定架15，U型固定架15的顶部铰接有伸缩杆7，伸缩杆7由金属仓和活动杆连接组成，活动杆的一端贯穿并延伸至金属仓的内部，活动杆位于金属仓内部的一端的外侧固定连接有限位环，通过设置有限位环，防止了活动杆与金属仓脱离，金属仓的形状为圆柱形，伸缩本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨(14)，所述底板(1)的顶部固定安装有旋转电机(11)，所述底板(1)的顶部固定连接有位于底部滑轨(14)左侧的固定板(2)，所述旋转电机(11)的输出轴固定连接有一端与固定板(2)右侧活动连接的底部螺纹杆(12)，所述底部螺纹杆(12)的外部活动安装有数量为两个的活动块(16)，两个所述活动块(16)的底部固定连接有与底部滑轨(14)滑动连接的底部滑块(13)，所述底板(1)的顶部固定连接有位于两个底部滑轨(14)之间的U型固定架(15)，所述U型固定架(15)的顶部铰接有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)的顶部固定连接有放置板(4)，所述放置板(4)的底部固定连接有数量为两个且分别位于伸缩杆(7)左右两侧的顶部U型连接架(9)，两个所述活动块(16)的顶部均固定连接有底部U型连接架(3)，两个所述底部U型连接架(3)的顶部均铰接有一端分别与两个顶部U型连接架(9)铰接的连接杆(10)，所述放置板(4)的顶部固定连接有挡板(5)，所述放置板(4)的顶部固定连接有调节仓(6)，所述放置板(4)的顶部固定连接有位于调节仓(6)右侧的支撑板(8)，所述支撑板(8)的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓(6)内部的顶部螺纹杆(29)，所述顶部螺纹杆(29)的左侧活动连接有金属杆(23)，所述调节仓(6)正面的内壁和背面的内壁均固定连接有顶部滑轨(21)，所述金属杆(23)的正面和背面均固定连接有金属板(22)，两个所述金属板(22)相背的一侧均固定连接有与顶部滑轨(21)滑动连接的顶部滑块(25)，所述调节仓(6)的内底壁和内顶壁均固定连接有数量为两个的第一限位条(19)，所述金属杆(23)的左侧固定连接有第三固定块(20)，所述第三固定块(20)的顶部和底部均固定连接有位于两个第一限位条(19)之间的第二限位条(24)，所述第三固定块(20)的正面活动安装有的一端贯穿并延伸至第三固定块(20)背面的运动杆(26)，所述调节仓(6)左侧的内壁固定连接有位于第一限位条(19)背面的第一固定块(18)，所述调节仓(6)左侧的内壁固定连接有位于第一限位条(19)正面的第二固定块(27)，所述第一固定块(18)的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓(6)左侧的第一夹杆(17)，所述第二固定块(27)的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓(6)左侧的第二夹杆(28)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨(14)，所述底板(1)的顶部固定安装有旋转电机(11)，所述底板(1)的顶部固定连接有位于底部滑轨(14)左侧的固定板(2)，所述旋转电机(11)的输出轴固定连接有一端与固定板(2)右侧活动连接的底部螺纹杆(12)，所述底部螺纹杆(12)的外部活动安装有数量为两个的活动块(16)，两个所述活动块(16)的底部固定连接有与底部滑轨(14)滑动连接的底部滑块(13)，所述底板(1)的顶部固定连接有位于两个底部滑轨(14)之间的U型固定架(15)，所述U型固定架(15)的顶部铰接有伸缩杆(7)，所述伸缩杆(7)的顶部固定连接有放置板(4)，所述放置板(4)的底部固定连接有数量为两个且分别位于伸缩杆(7)左右两侧的顶部U型连接架(9)，两个所述活动块(16)的顶部均固定连接有底部U型连接架(3)，两个所述底部U型连接架(3)的顶部均铰接有一端分别与两个顶部U型连接架(9)铰接的连接杆(10)，所述放置板(4)的顶部固定连接有挡板(5)，所述放置板(4)的顶部固定连接有调节仓(6)，所述放置板(4)的顶部固定连接有位于调节仓(6)右侧的支撑板(8)，所述支撑板(8)的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓(6)内部的顶部螺纹杆(29)，所述顶部螺纹杆(29)的左侧活动连接有金属杆(23)，所述调节仓(6)正面的内壁和背面的内壁均固定连接有顶部滑轨(21)，所述金属杆(23)的正面和背面均固定连接有金属板(22)，两个所述金属板(22)相背的一侧均固定连接有与顶部滑轨(21)滑动连接的顶部滑块(25)，所述调节仓(6)的内底壁和内顶壁均固定连接有数量为两个的第一限位条(19)，所述金属杆(23)的左侧固定连接有第三固定块(20)，所述第三固定块(20)的顶部和底部均固定连接有位于两个第一限位条(19)之间的第二限位条(24)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘政，
申请(专利权)人：重庆雷普机械有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50