一种二氧化钛纳米管透明导电组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种二氧化钛纳米管透明导电组件，涉及一种透明导电器件，包括导电玻璃，导电玻璃包括玻璃本体和沉积在其表面的掺氟二氧化锡导电层，掺氟二氧化锡导电层外侧沉积有二氧化钛层，二氧化钛层外侧沉积有金属钛层，通过阳极氧化法使金属钛层生成转变为二氧化钛纳米管层。本实用新型专利技术提供的一种二氧化钛纳米管透明导电组件，二氧化钛纳米管与导电玻璃的结合度高，能很好地发挥底维材料特有的性能。

A transparent conductive component of titanium dioxide nanotubes

【技术实现步骤摘要】
一种二氧化钛纳米管透明导电组件
本技术涉及一种透明导电器件，尤其涉及一种二氧化钛纳米管透明导电组件。
技术介绍
纳米二氧化钛是一种重要的无机功能材料，其具有特殊的晶体及能带结构、优良的光传输特性，化学性能稳定，在光催化、太阳能的储存盒利用及光电转换等方面有着广泛的应用。纳米结构由于其特殊的结构、较高的比表面积、高密度表面晶格缺陷而成为催化领域关注的焦点。而自从管状结构纳米材料发现以来，有关二氧化钛纳米管的研究更是得到了长足的发展。二氧化钛纳米管与其它形态的二氧化钛相比，其独特的物理化学性能、更强的吸附能力及高效的电子传输通道，使其表现出更好的光催化活性以及光电转化效率，特别是纳米管中复合无机、有机颗粒或是磁性纳米粒子，都将会大大改善材料的性能。现有技术中，二氧化钛纳米管无法直接在玻璃上制备，需要再其他衬底上制备并转移，使二氧化钛纳米管与玻璃的结合强度相对较低，容易脱落。
技术实现思路
为此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，从而提供一种二氧化钛纳米管透明导电组件，二氧化钛纳米管与导电玻璃的结合度高，能很好地发挥底维材料特有的性能。为了实现上述目的，本技术提供了一种二氧化钛纳米管透明导电组件，包括导电玻璃，所述导电玻璃包括玻璃本体和沉积在其表面的掺氟二氧化锡导电层，所述掺氟二氧化锡导电层外侧沉积有二氧化钛层，所述二氧化钛层外侧沉积有金属钛层，通过阳极氧化法使金属钛层生成转变为二氧化钛纳米管层。进一步地，所述掺氟二氧化锡导电层通过离子注入制备表面改性层。进一步地，所述二氧化钛层和金属钛层的沉积设备采用磁过滤阴极镀膜机。进一步地，所述离子注入采用的设备为金属蒸汽真空弧离子注入系统。本技术提供的一种二氧化钛纳米管透明导电组件，直接在导电玻璃上沉积二氧化钛纳米管，且二氧化钛纳米管与导电玻璃的结合力强。所形成的二氧化钛纳米管高度定向排布，能很好地发挥底维材料特有的性能，使光透过导电玻璃即可以直接进行反应，大大减小了光在传播过程中的损耗，更有利于提高光电转换效率。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式的技术方案，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对技术作进一步详细说明。图1为本实施例中阳极氧化前的膜层结构示意图；图2本实施例中阳极氧化后的膜层结构示意图。图中各附图标记说明如下。100、导电玻璃；110、玻璃本体；120、掺氟二氧化锡导电层；200、二氧化钛层；300、金属钛层；400、二氧化钛纳米管层；500、表面改性层。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“正面”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1和图2所示，一种二氧化钛纳米管透明导电组件，包括导电玻璃100，导电玻璃100包括玻璃本体110和沉积在其表面的掺氟二氧化锡导电层120。掺氟二氧化锡导电层120的外侧沉积有二氧化钛层200，二氧化钛层200外侧沉积有金属钛层300。二氧化钛层200和金属钛层300的沉积设备采用磁过滤阴极镀膜机。沉积有二氧化钛层200和金属钛层300的导电玻璃100通过阳极氧化法后，金属钛层300转变为二氧化钛纳米管层400。采用电化学的阳极氧化法，氟化铵的乙二醇溶液作为电解液，采用双电极体系，恒定阳极氧化电压。金属钛层300为反应电极，铂片为氧化阴极。这样的透明导电组件中，二氧化钛纳米管与玻璃的结合强度大，且该二氧化钛纳米层高度定向排布，能很好地发挥底维材料特有的性能。光透过导电玻璃100既可以直接进行反应，大大减小了光在传播过程中的损耗，更有利于提高光电转换效率。为了提高膜层与机体的结合力，在掺氟二氧化锡导电层120外侧通过离子注入制备表面改性层500。其中，离子注入采用的设备为金属蒸汽真空弧离子注入系统。金属蒸汽真空弧离子注入系统引出载能的离子束，磁过滤阴极镀膜机把需要的等离子体沿弯曲的磁场导向，最终沉积在工件表面形成表面改性层500。不带电的大颗粒不受磁场的控制而被过滤掉。制备过程：首先对工件进行表面清洁，将导电玻璃100置于洗洁精、去离子水、丙酮及乙醇中依次超声波清洗15分钟，然后用氮气吹干。将系统真空抽至真空度3*10-2Pa，将导电玻璃100加热到200摄氏度，准备膜层的制备。将清洁后的导电玻璃100放置在磁过滤阴极真空弧镀膜机的工作位置上，通过金属蒸汽真空弧离子注入系统注入离子束，在导电玻璃100表层制备表面改性层500，提高导电玻璃100与膜层的结合力。随后向真空室中通入高纯氧气，将真空室真空度控制为10-2Pa，生成二氧化钛层200。随后停止通入氧气，将真空室的真空度恢复为3*10-3Pa，制备金属钛层300。然后将沉积有二氧化钛层200和金属钛层300的导电玻璃100进行阳极氧化，使金属钛层300转变为二氧化钛纳米管层400。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术创造的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二氧化钛纳米管透明导电组件，包括导电玻璃，其特征在于，所述导电玻璃包括玻璃本体和沉积在其表面的掺氟二氧化锡导电层，所述掺氟二氧化锡导电层外侧沉积有二氧化钛层，所述二氧化钛层外侧沉积有金属钛层，通过阳极氧化法使金属钛层生成转变为二氧化钛纳米管层。/n

【技术特征摘要】
1.一种二氧化钛纳米管透明导电组件，包括导电玻璃，其特征在于，所述导电玻璃包括玻璃本体和沉积在其表面的掺氟二氧化锡导电层，所述掺氟二氧化锡导电层外侧沉积有二氧化钛层，所述二氧化钛层外侧沉积有金属钛...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖斌，唐杰，罗军，庞盼，陈琳，
申请(专利权)人：深圳南科超膜材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44