一种LPCVD系统法兰炉门技术方案

本实用新型专利技术涉及法兰炉门技术领域，且公开了一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁和活动炉门，所述活动炉门位于连接壁的一侧，所述连接壁四周开设有开孔，所述连接臂靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块。该LPCVD系统法兰炉门，当需要进行该活动炉门的快速密封操作时，储气箱通过一侧石英管和出气头往活动炉门的一侧输入气体，以气体形式提供构成薄膜的原料，反应尾气由排气口排除，通过控制面板控制加热块的温度到适宜高度，热能除加热基板到适当温度之外，还对气体分子进行激发、分解，促进其反应，分解生成物或反应产物沉积在基板表面形成薄膜，使活动炉门与连接壁一侧凹槽之间快速密封。

A flange furnace door of LPCVD System

【技术实现步骤摘要】
一种LPCVD系统法兰炉门
本技术涉及法兰炉门
，具体为一种LPCVD系统法兰炉门。
技术介绍
炉门，一种带有灰槽的炉门，包括圆形炉门座、炉门盖，其特征是圆型炉门座内套放与炉膛直径长的半圆型灰槽，半圆型灰槽直径用元钢连接，元钢中心点与炉门盖圆心点用连杆连接，连杆的长度是炉门座与炉门盖上的封火孔对准、半圆灰槽前端吻合炉膛内壁，锅炉是利用燃料或其他能源的热能把水加热成为热水或蒸汽的机械设备。锅的原义是指在火上加热的盛水容器，炉是指燃烧燃料的场所，锅炉包括锅和炉两大部分。锅炉中产生的热水或蒸汽可直接为工业生产和人民生活提供所需要的热能，也可通过蒸汽动力装置转换为机械能，或再通过发电机将机械能转换为电能。提供热水的锅炉称为热水锅炉，主要用于生活，工业生产中也有少量应用。产生蒸汽的锅炉称为蒸汽锅炉，常简称为锅炉，多用于火电站，船舶，机车和工矿企业。现有的法兰炉门一般用于重工业中，用于关闭密封锅炉等炉体，但是现有的法兰炉门开关不便，开关炉门需要使用者耗费大量力气，而且炉门密封性不好，无法快速实现锅炉的密封关闭，因此，我们提出了一种LPCVD系统法兰炉门来解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种LPCVD系统法兰炉门，具备能够快速密封和炉门开关便捷等优点，解决了现有炉门密封性较差和开关并不便捷的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁和活动炉门，所述活动炉门位于连接壁的一侧，所述连接壁四周开设有开孔，所述连接壁靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块，所述活动炉门的一侧固定连接有第二连接块，所述第一连接块和第二连接块之间活动连接有活动转轴，所述活动炉门靠近正面的一侧固定安装有卡槽，所述连接壁靠近正面的一侧固定安装有位于卡槽一侧的固定块，所述固定块靠近正面的一侧活动安装有活动块，所述活动块的底部固定连接有转动把手，所述活动块的顶部固定安装有卡块，所述活动炉门的内部开设有排气口，所述活动炉门靠近正面的一侧固定安装有位于排气口上方的控制面板，所述活动炉门靠近正面的一侧固定安装有位于控制面板上方的储气箱，所述储气箱的一侧活动连接有石英管，所述石英管远离储气箱的一端固定连接有出气头，所述活动炉门的一侧外壁上固定安装有基板，所述基板的一侧固定连接有加热块，所述活动炉门的一侧外壁上开设有第一开槽，所述第一开槽的上下两侧内壁上开设有第二开槽，所述第一开槽远离基板的一侧内壁上开设有第三开槽，所述第二开槽的一侧活动连接有移动块，所述移动块远离第三开槽的一侧固定连接有压块。进一步的，所述移动块一侧外壁与第三开槽之间活动安装有弹簧。进一步的，所述第一开槽位于基板一侧，且第一开槽也位于加热块的一侧。进一步的，所述连接壁的内部开设有凹槽，且该凹槽与活动炉门一侧基板互相卡接。进一步的，所述第一连接块和第二连接块的内部开设有通口，且活动转轴与该通口活动连接。进一步的，所述卡槽的内部设置有弧形凹槽，且卡块与卡槽内部互相凹槽互相卡接。本技术的有益效果是：1、该LPCVD系统法兰炉门，通过连接壁、开孔、第一连接块、活动转轴、第二连接块、活动炉门、转动把手、排气口、控制面板、储气箱、石英管、出气头、加热块和基板的联合设置，当需要进行该活动炉门的快速密封操作时，储气箱通过一侧石英管和出气头往活动炉门的一侧输入气体，以气体形式提供构成薄膜的原料，反应尾气由排气口排除，通过控制面板控制加热块的温度到适宜高度，热能除加热基板到适当温度之外，还对气体分子进行激发、分解，促进其反应，分解生成物或反应产物沉积在基板表面形成薄膜，使活动炉门与连接壁一侧凹槽之间快速密封，提高了该装置的实用性。2、该LPCVD系统法兰炉门，通过卡槽、固定块、活动块、卡块、转动把手、第一开槽、第二开槽、第三开槽、移动块和压块的联合设置，当需要进行该活动炉门的关闭操作时，将活动炉门沿着活动转轴转动，使活动炉门的一侧与连接壁的一侧贴合，同时使用者旋转转动把手，使位于活动块一侧的卡块进入卡槽内部，实现活动炉门的关闭操作，同时移动块和压块收入第一开槽和第二开槽内部，便于下次活动炉门的开启，提高了该装置的实用性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术结构示意图；图2为本技术基板处侧视图；图3为本技术第一开槽处侧视图。附图标记说明：1连接壁、2开孔、3第一连接块、4活动转轴、5第二连接块、6活动炉门、7卡槽、8固定块、9活动块、10卡块、11转动把手、12排气口、13控制面板、14储气箱、15石英管、16出气头、17加热块、18基板、19第一开槽、20第二开槽、21第三开槽、22移动块、23压块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。请参阅图1-3，一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁1和活动炉门6，活动炉门6位于连接壁1的一侧，连接壁1四周开设有开孔2，连接壁1靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块3，活动炉门6的一侧固定连接有第二连接块5，第一连接块3和第二连接块5的内部开设有通口，且活动转轴4与该通口活动连接，第一连接块3和第二连接块5之间活动连接有活动转轴4，活动炉门6靠近正面的一侧固定安装有卡槽7，连接壁1靠近正面的一侧固定安装有位于卡槽7一侧的固定块8，固定块8靠近正面的一侧活动安装有活动块9，活动块9的底部固定连接有转动把手11，活动块9的顶部固定安装有卡块10，卡槽7的内部设置有弧形凹槽，且卡块10与卡槽7内部互相凹槽互相卡接，活动炉门6的内部开设有排气口12，活动炉门6靠近正面的一侧固定安装有位于排气口12上方的控制面板13，活动炉门6靠近正面的一侧固定安装有位于控制面板13上方的储气箱14，储气箱14的一侧活动连接有石英管15，石英管15远离储气箱14的一端固定连接有出气头16，活动炉门6的一侧外壁上固定安装有基板18，连接壁1的内部开设有凹槽，且该凹槽与活动炉门6一侧基板18互相卡接，基板18的一侧固定连接有加热块17，活动炉门6的一侧外壁上开设有第一开槽19，第一开槽19位于基板18一侧，且第一开槽19也位于加热块17的一侧，第一开槽19的上下两侧内壁上开设有第二开槽20，第一开槽19远离基板18的一侧内壁上开设有第三开槽21，移动块22一侧外壁与第三开槽21之间活动安装有弹簧，第二开槽20的一侧活动连接有移动块22，移动块22远离第三开槽21的一侧固定连接有压块23。在使用时，当需要进行该活动炉门6的快速密封操作时，储气箱14通过一侧石英管15和出气头16往活动炉门6的一侧输入气体，以气体形式提供构成薄膜的原料，反应尾气由排气口12排除，通过控制面板13控制加热块17的温度到适宜高度，热能除加热基板18到适当温度之外，还对气体分子进行激发、分解，促进其反应，分解生成物本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁（1）和活动炉门（6），其特征在于：所述活动炉门（6）位于连接壁（1）的一侧，所述连接壁（1）四周开设有开孔（2），所述连接壁（1）靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块（3），所述活动炉门（6）的一侧固定连接有第二连接块（5），所述第一连接块（3）和第二连接块（5）之间活动连接有活动转轴（4），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有卡槽（7），所述连接壁（1）靠近正面的一侧固定安装有位于卡槽（7）一侧的固定块（8），所述固定块（8）靠近正面的一侧活动安装有活动块（9），所述活动块（9）的底部固定连接有转动把手（11），所述活动块（9）的顶部固定安装有卡块（10），所述活动炉门（6）的内部开设有排气口（12），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有位于排气口（12）上方的控制面板（13），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有位于控制面板（13）上方的储气箱（14），所述储气箱（14）的一侧活动连接有石英管（15），所述石英管（15）远离储气箱（14）的一端固定连接有出气头（16），所述活动炉门（6）的一侧外壁上固定安装有基板（18），所述基板（18）的一侧固定连接有加热块（17），所述活动炉门（6）的一侧外壁上开设有第一开槽（19），所述第一开槽（19）的上下两侧内壁上开设有第二开槽（20），所述第一开槽（19）远离基板（18）的一侧内壁上开设有第三开槽（21），所述第二开槽（20）的一侧活动连接有移动块（22），所述移动块（22）远离第三开槽（21）的一侧固定连接有压块（23）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁（1）和活动炉门（6），其特征在于：所述活动炉门（6）位于连接壁（1）的一侧，所述连接壁（1）四周开设有开孔（2），所述连接壁（1）靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块（3），所述活动炉门（6）的一侧固定连接有第二连接块（5），所述第一连接块（3）和第二连接块（5）之间活动连接有活动转轴（4），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有卡槽（7），所述连接壁（1）靠近正面的一侧固定安装有位于卡槽（7）一侧的固定块（8），所述固定块（8）靠近正面的一侧活动安装有活动块（9），所述活动块（9）的底部固定连接有转动把手（11），所述活动块（9）的顶部固定安装有卡块（10），所述活动炉门（6）的内部开设有排气口（12），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有位于排气口（12）上方的控制面板（13），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有位于控制面板（13）上方的储气箱（14），所述储气箱（14）的一侧活动连接有石英管（15），所述石英管（15）远离储气箱（14）的一端固定连接有出气头（16），所述活动炉门（6）的一侧外壁上固定安装有基板（18），所述基板（18）的一侧固定连接有加热块（17），所述活动炉门（6）的一侧外壁上开设有第一开槽（19...

【专利技术属性】
技术研发人员：李保，李玲，
申请(专利权)人：上海旻跃半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31