一种LPCVD系统法兰炉门技术方案

本实用新型专利技术涉及法兰炉门技术领域，且公开了一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁和活动炉门，所述活动炉门位于连接壁的一侧，所述连接壁四周开设有开孔，所述连接臂靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块。该LPCVD系统法兰炉门，当需要进行该活动炉门的快速密封操作时，储气箱通过一侧石英管和出气头往活动炉门的一侧输入气体，以气体形式提供构成薄膜的原料，反应尾气由排气口排除，通过控制面板控制加热块的温度到适宜高度，热能除加热基板到适当温度之外，还对气体分子进行激发、分解，促进其反应，分解生成物或反应产物沉积在基板表面形成薄膜，使活动炉门与连接壁一侧凹槽之间快速密封。

A flange furnace door of LPCVD System

【技术实现步骤摘要】
一种LPCVD系统法兰炉门
本技术涉及法兰炉门
，具体为一种LPCVD系统法兰炉门。
技术介绍
炉门，一种带有灰槽的炉门，包括圆形炉门座、炉门盖，其特征是圆型炉门座内套放与炉膛直径长的半圆型灰槽，半圆型灰槽直径用元钢连接，元钢中心点与炉门盖圆心点用连杆连接，连杆的长度是炉门座与炉门盖上的封火孔对准、半圆灰槽前端吻合炉膛内壁，锅炉是利用燃料或其他能源的热能把水加热成为热水或蒸汽的机械设备。锅的原义是指在火上加热的盛水容器，炉是指燃烧燃料的场所，锅炉包括锅和炉两大部分。锅炉中产生的热水或蒸汽可直接为工业生产和人民生活提供所需要的热能，也可通过蒸汽动力装置转换为机械能，或再通过发电机将机械能转换为电能。提供热水的锅炉称为热水锅炉，主要用于生活，工业生产中也有少量应用。产生蒸汽的锅炉称为蒸汽锅炉，常简称为锅炉，多用于火电站，船舶，机车和工矿企业。现有的法兰炉门一般用于重工业中，用于关闭密封锅炉等炉体，但是现有的法兰炉门开关不便，开关炉门需要使用者耗费大量力气，而且炉门密封性不好，无法快速实现锅炉的密封关闭，因此，我们提出了一种LPCVD系本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁（1）和活动炉门（6），其特征在于：所述活动炉门（6）位于连接壁（1）的一侧，所述连接壁（1）四周开设有开孔（2），所述连接壁（1）靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块（3），所述活动炉门（6）的一侧固定连接有第二连接块（5），所述第一连接块（3）和第二连接块（5）之间活动连接有活动转轴（4），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有卡槽（7），所述连接壁（1）靠近正面的一侧固定安装有位于卡槽（7）一侧的固定块（8），所述固定块（8）靠近正面的一侧活动安装有活动块（9），所述活动块（9）的底部固定连接有转动把手（11），所述活动块（9）的顶部固定...

【技术特征摘要】
1.一种LPCVD系统法兰炉门，包括连接壁（1）和活动炉门（6），其特征在于：所述活动炉门（6）位于连接壁（1）的一侧，所述连接壁（1）四周开设有开孔（2），所述连接壁（1）靠近正面的一侧外壁上固定安装有第一连接块（3），所述活动炉门（6）的一侧固定连接有第二连接块（5），所述第一连接块（3）和第二连接块（5）之间活动连接有活动转轴（4），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有卡槽（7），所述连接壁（1）靠近正面的一侧固定安装有位于卡槽（7）一侧的固定块（8），所述固定块（8）靠近正面的一侧活动安装有活动块（9），所述活动块（9）的底部固定连接有转动把手（11），所述活动块（9）的顶部固定安装有卡块（10），所述活动炉门（6）的内部开设有排气口（12），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有位于排气口（12）上方的控制面板（13），所述活动炉门（6）靠近正面的一侧固定安装有位于控制面板（13）上方的储气箱（14），所述储气箱（14）的一侧活动连接有石英管（15），所述石英管（15）远离储气箱（14）的一端固定连接有出气头（16），所述活动炉门（6）的一侧外壁上固定安装有基板（18），所述基板（18）的一侧固定连接有加热块（17），所述活动炉门（6）的一侧外壁上开设有第一开槽（19...

【专利技术属性】
技术研发人员：李保，李玲，
申请(专利权)人：上海旻跃半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31