废气处理装置制造方法及图纸

一种废气处理装置，能够用剥离构件有效地刮落附在燃烧室内面上的粉体，并能延长使在剥离构件上发生冲击的冲击构件的寿命。杠杆（７ａ）是剥离构件，沿着燃烧室（１）的内面向圆周方向移动而剥离附在该燃烧室（１）内面上的粉体，在杠杆（７ａ）上面对燃烧室（１）内面的位置上设置刀刃部或锐角边缘部（７ａ１）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使废气燃烧以作无害化处理的废气处理装置，这种废气例如为用于半导体制造工序且被排出来的气体，由含有可燃性气体成分或助燃性气体成分的气体组成。
技术介绍
众所周知，在半导体制造过程的特定工序中，会生成硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)、乙硼烷(B2H6)、磷化氢(PH3)、砷化三氢(AsH3)、三氟化氮(NF3)等有害的废气。这种有毒性废气对人体有很高的毒性，所以要求在排放于大气时完全去除有毒性物质。此外，在半导体制造过程的其他特定工序中会生成四氟化碳(CF4)等对地球环境造成恶劣影响的氟利昂气体的废气。要求这种废气在放出于大气时要去除。日本特许第2963792号公报中记载了通过使上述废气燃烧而无毒化后排放于大气、以满足上述要求的有毒性废气的处理方法及装置。上述技术是通过将上述废气导入一端被封闭的筒状燃烧室，用配置于该燃烧室的燃烧器，在氢、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷等燃料燃烧时生成的高温部进行分解，或者利用助燃用空气的作用使之燃烧，以实现无毒化，其后由燃烧气体运送通路排出。在上述构成的废气处理装置中，随着废气的燃烧，各种废气中所含的固型化成分变成粉体。虽然大部分粉体在由燃烧部排出到燃烧气体运送通路后，聚集于设在该燃烧气体运送通路上的洗涤器中，但有一部分附在构成废气供给路及燃烧部的筒状体的内面上。例如，当在燃烧室内发生粉体、且该粉体堆积于构成废气供给路及燃烧部的筒状体内面上时，会对废气的流动或燃烧状态有不良影响，可能降低除害性能，所以必须除去粉体，而这样就导致效率降低。为了有效地除去粉体，考虑设置一种刮板，该刮板的一部分一边接触燃烧室的筒状体内面一边在圆周方向移动，从外部操纵该刮板，使之沿着筒状体内面旋转而将附着于筒状体内面的粉体剥离。在导入燃烧气流以及助燃用空气或燃烧气体冷却用空气等时，被上述刮板从筒状体的内面剥离的粉体由于这些空气的流动而经由燃烧气体运送通路排出。如上所述，附在筒状体内面上的粉体可被前述刮板剥离后排出，但在只是用扁杆等来构成刮板时，由于对附在筒状体内面上的粉体进行刮除的面相对于燃烧室的内径而略成直角，所以不能有效地刮除粉体，仍会有粉体固着在筒状体内面上。此外，为了使附在刮板本体上的粉体落下，虽然可用板簧来使刮板挠曲，以其发生冲击，但是当板簧的固定部位为单点或为线接触时，在板簧挠曲时容易发生固定部位折损的问题。此外，前述的刮板是单臂支承，所以有时该刮板的前端部很难一边可靠地接触筒状体内面一边将粉体剥离，所以希望有能够一边在筒状体的轴向可靠地接触一边将粉体剥离的结构。
技术实现思路
本专利技术是为了解决前述课题，第1目的为能将附着于燃烧室内面的粉体通过剥离构件而有效地刮落，并且能延长使在剥离构件上发生冲击的冲击构件的寿命；第二目的是提供一种废气处理装置，其剥离构件能够一边在废气流经该燃烧室的整个范围内确实地接触燃烧室内面一边将粉体剥离。为了实现前述目的，本专利技术的废气处理装置具有燃烧室和燃烧气体运送通路，前述燃烧室的一端被封闭，另一端与前述燃烧气体运送通路连接，并且在被封闭的端部配置有废气供给路，同时在比该废气供给路更靠近前述燃烧气体运送通路的部位配置燃烧器，通过前述燃烧器使已被供给到前述燃烧室的废气形成高温，以使之分解或燃烧后从前述燃烧气体运送通路排出，其特征在于，具有在前述燃烧室的内面沿圆周方向移动、以将附着于该燃烧室内面的粉体剥离的剥离构件，该剥离构件是由杠杆构成，该杠杆的一端安装在设于该燃烧室外部的驱动构件上，另一端为自由端，在前述杠杆的面对前述燃烧室内面的位置上设有刀刃部或者锐角边缘部。本专利技术采用上述构成，具有将从废气供给路供给的废气用燃烧器的火焰加热成高温后分解、燃烧的燃烧室，以及燃烧气体运送通路，燃烧室的一端被封闭，在该端部配置有废气供给路，且在比该废气供给路更靠近燃烧气体运送通路的位置上配置燃烧器，所以可通过燃烧器使从废气供给路供给的废气燃烧或分解，并能将该燃烧气体由燃烧气体运送通路排出。此外，通过在构成剥离构件的杠杆上的面对燃烧室内面的位置上设置刀刃部或者锐角边缘部，能使该杠杆的刮除粉体的面相对于燃烧室的内面而成锐角，由此能将附在燃烧室内面上的粉体通过剥离构件有效地刮除而清扫燃烧室内。此外，具有使在前述剥离构件上发生冲击的冲击构件，前述冲击构件由多块板簧以不同高度重叠而成，前述板簧在与前述杠杆接触时使该杠杆挠曲，而在脱离接触时伴随着该杠杆的复原而发生冲击。在这种场合，作用于板簧的应力可形成面接触，由此可缓和作用于板簧的应力而防止折断，能延长冲击构件的寿命。通过使废气处理装置如此构成，在通过驱动构件而操作剥离构件(以下称为“刮板”)时，构成该刮板的杠杆与冲击构件接触而发生挠曲，并且随着与冲击构件的接触解除，被挠曲的杠杆恢复到初期的形状，随之发生冲击，能将附着于该杠杆的粉体弹去。此外，本专利技术其他构成的废气处理装置具有燃烧室和燃烧气体运送通路，前述燃烧室的一端被封闭，另一端与前述燃烧气体运送通路连接，并且在被封闭的端部配置有废气供给路，同时在比该废气供给路更靠近前述燃烧气体运送通路的部位配置燃烧器，通过前述燃烧器使已被供给到前述燃烧室的废气形成高温，以使之分解或燃烧后从前述燃烧气体运送通路排出，其特征在于，利用设于前述燃烧室外部的驱动构件使将附着于该燃烧室内面的粉体剥离的剥离构件沿着燃烧室的内面而向废气流经该燃烧室的方向移动。采用上述构成，可利用设于燃烧室外部的驱动构件使剥离构件沿着该燃烧室的内面向废气流经将该燃烧室的方向移动，因此剥离构件可在废气流经该燃烧室的方向一边可靠地接触燃烧室的内面一边且剥离粉体，能容易地将牢固地附在燃烧室内面上的粉体刮除。附图说明图1为揭示本专利技术的废气处理装置的第1实施例的构成的立体说明图。图2(a)为揭示第一实施例的剥离构件的构成的主视图，图2(b)为揭示第1实施例的剥离构件的构成的俯视图，图2(c)为揭示第1实施例的剥离构件的构成的左视图，图2(d)为揭示第1实施例的剥离构件的构成的右视图。图3说明第1实施例的剥离构件的刀刃部或者锐角边缘部的角度。图4为揭示第1实施例的冲击构件的构成的剖视图。图5为揭示本专利技术废气处理装置的第2实施例的构成的立体说明图。具体实施例方式以下结合附图具体说明本专利技术的废气处理装置的实施例。图1为揭示本专利技术的废气处理装置的第1实施例的构成的立体说明图。图2(a)为揭示第一实施例的剥离构件的构成的主视图，图2(b)为揭示第1实施例的剥离构件的构成的俯视图，图2(c)为揭示第1实施例的剥离构件的构成的左视图，图2(d)为揭示第1实施例的剥离构件的构成的右视图。图3说明第1实施例的剥离构件的刀刃部或者锐角边缘部的角度。图4为揭示第1实施例的冲击构件的构成的剖视图。首先，用图1～图4说明涉及本专利技术废气处理装置的第1实施例的构成。在图1中，废气处理装置A能使由半导体制造工序生成的含有硅烷、乙硅烷、乙硼烷、磷化氢、砷化三氢、三氟化氮等毒性特殊材料气体、或四氟化碳等对地球环境有不良影响的氟利昂气体等废气完全燃烧或分解后无害化排出。废气处理装置A具有使从一方端部供给的废气分解、燃烧的燃烧室1；配置于该燃烧室1的一方端部侧、供给要处理的废气的废气供给路2a、2b；在燃烧室1中设于废气供给路2a、2b的下游侧的燃烧器3；与燃烧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理装置，具有燃烧室和燃烧气体运送通路，前述燃烧室的一端被封闭，另一端与前述燃烧气体运送通路连接，并且在被封闭的端部配置有废气供给路，同时在比该废气供给路更靠近前述燃烧气体运送通路的部位配置燃烧器，通过前述燃烧器使已被供给到前述燃烧室的废气形成高温，以使之分解或燃烧后从前述燃烧气体运送通路排出，其特征在于，具有：在前述燃烧室的内面上沿圆周方向移动、以将附在该燃烧室内面上的粉体剥离的剥离构件，该剥离构件由杠杆构成，该杠杆的一端安装在设于该燃烧室外部的驱动构件上， 另一端为自由端，在前述杠杆上的面对前述燃烧室内面的位置上设有刀刃部或者锐角边缘部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：朴炳涉，金炳哲，
申请(专利权)人：小池酸素工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]