【技术实现步骤摘要】
一种膜片上下料机构
本技术涉及上下料机构，具体涉及一种膜片上下料机构。
技术介绍
半导体器件在生产作业过程中，通常需要将晶粒整齐的排列在膜片上，若干片膜片则会放置在卡匣中。一般设备在上下卡匣时，通常需要将设备停机，待更换新的卡匣后，才能继续进行作业。上下卡匣的过程占用过多时间，影响了生产作业的效率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种膜片上下料机构，其能够无缝衔接上下膜作业，而无需停机更换，效率高，稳定性好。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种膜片上下料机构，包括底座、卡匣承载单元、卡匣升降单元、退料单元和上下膜单元；所述卡匣承载单元包括设置在底座上的卡匣架，所述卡匣架上设置有卡匣板，所述卡匣板的底部设置有供卡匣在水平方向上通过的开口；所述卡匣升降单元包括设置在底座上的升降驱动源，所述升降驱动源的自由端设置有升降平台，所述升降平台位于卡匣架和卡匣板之间；所述退料单元包括均设置在底座上的退料平台、悬空驱动源和退料驱动源，所述退料平台上开设有用于让升降平台通过并截留卡匣的退料开口，所述悬空驱...
【技术保护点】
1.一种膜片上下料机构，其特征在于，包括底座、卡匣承载单元、卡匣升降单元、退料单元和上下膜单元；/n所述卡匣承载单元包括设置在底座上的卡匣架，所述卡匣架上设置有卡匣板，所述卡匣板的底部设置有供卡匣在水平方向上通过的开口；/n所述卡匣升降单元包括设置在底座上的升降驱动源，所述升降驱动源的自由端设置有升降平台，所述升降平台位于卡匣架和卡匣板之间；/n所述退料单元包括均设置在底座上的退料平台、悬空驱动源和退料驱动源，所述退料平台上开设有用于让升降平台通过并截留卡匣的退料开口，所述悬空驱动源和退料驱动均的自由端分别设置有位于卡匣板的开口的上方和卡匣板的开口处的垫板；/n所述上下膜单...
【技术特征摘要】
1.一种膜片上下料机构，其特征在于，包括底座、卡匣承载单元、卡匣升降单元、退料单元和上下膜单元；
所述卡匣承载单元包括设置在底座上的卡匣架，所述卡匣架上设置有卡匣板，所述卡匣板的底部设置有供卡匣在水平方向上通过的开口；
所述卡匣升降单元包括设置在底座上的升降驱动源，所述升降驱动源的自由端设置有升降平台，所述升降平台位于卡匣架和卡匣板之间；
所述退料单元包括均设置在底座上的退料平台、悬空驱动源和退料驱动源，所述退料平台上开设有用于让升降平台通过并截留卡匣的退料开口，所述悬空驱动源和退料驱动均的自由端分别设置有位于卡匣板的开口的上方和卡匣板的开口处的垫板；
所述上下膜单元包括设置在底座上的推杆驱动源，所述推杆驱动源的自由端设置有用于上膜或下膜的推杆。
2.如权利要求1所述的膜片上下料机构，其特征在于，所述卡匣架上设置有延伸板，所述延伸板上滑动设置有滑块，所述卡匣板设置在滑块上，所述滑块上设置有紧固件。
3.如权利要求2所述的膜片上下料机构，其特征在于，所述推杆驱动源的自由端设置有推杆支板，所述推杆支板上沿延伸板的方向开设有多个推杆槽，所述推杆插设在推杆槽内。
4.如权利要求3所述的膜片上下料机构，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱小和，
申请(专利权)人：苏州隆格尔精密自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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