减除切换峰值的蓄热焚化炉制造技术

一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，包含蓄热焚化炉、废气主要管路、废气进口阀组、通向控制阀组、干净气送风管路、气体控制阀组及第一风机；废气主要管路与蓄热焚化炉通气管路连接，废气管路上有废气进口阀组及通向控制阀组，以控制管路中废气流向，而干净气送风管路一端与废气主要管路相通，供送入气体进入废气主要管路，干净气送风管路上有气体控制阀组及第一风机，以使气体快速进入废气主要管路，当蓄热焚化炉切换气流方向时，干净气送风管路中气体经废气主要管路快速抵达蓄热焚化炉的通气管路，去除切换气流方向时的泄漏污染，并使蓄热焚化炉中一蓄热床未燃烧处理的有机废气进入焚化炉燃烧室处理，防止未处理的有机废气直接排出，防止废气污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，是有关一种蓄热焚化炉(Regenerative Thermal Oxidizer, RTO)，通过设有一蓄热焚化炉、一 废气主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、 一气体控制阀组及一第一风机，可将蓄热燃烧炉气流流动方向在切换蓄热 床时一方面使切换气流方向时的泄漏污染去除，另一作用其一蓄热床的未 燃烧废气不致有外泄，而产生运转的污染峰值，达到稳定利用的功能，适 用于产生有机废气需要减除的行业如某些特定工业的生产领域，如半导体 业、光电产业，化工业等。
技术介绍
挥发性有机物质(Volatile Organic Compound, VOC)在产业界广泛被 使用，亦随制造过程排放至大气环境，例如，随半导体与光电业制造过程 排放的有机废气，IPA(Isopropyl Alcohol, C3H80)、丙酮、环己酮等， 易造成环境污染。各国对于挥发性有机物质皆有严格的空污管制标准， 以维护环保以及民众的健康；以中国台湾为例，环保署已公告实施半导体 制造业空气污染管制及排放标准；对于挥发性有机废气强制要求的削减 率，以半导体业为例，至少应大于90%。有机废气的处理方法很多，热焚化是重要的方法之一，而蓄热焚化炉 是其中一种，特色是热回效率可以高达90%以上。其中蓄热焚化炉(RT0) 可为双塔式而配置有二个蓄热床(Regenerative beds),蓄热床内充填蓄热材，使挥发性有机废气流经蓄热床预热(此时蓄热材释出热能)，而后挥 发性有机废气进入燃烧室；此时，由于燃烧炉燃料喷嘴产生辅助热能可提供热量及V0Cs成分氧化分解产生的热量，使燃烧室保持一定的温度(例如 850 °C)，在设计的停留时间中有机废气所含的VOCs成份几乎被完全氧化 成H20及C02。图1是一般传统蓄热焚化炉(RT0)的结构示意图，为双塔式蓄热焚 化炉；其中的蓄热焚化炉l Q a主要含有两组蓄热床，第一蓄热床l 2 a 和第二蓄热床l 1 a、燃烧室l 3 a及其相连的废气进出管线和流向调节 阀等；其中风机2 8 a自废气来源端抽排有机废气(V0Cs Laden Air)至 蓄热焚化炉l 0 a入口后，可有两种模式进入燃烧室l 3 a中反应。第一 种模式有机废气通过一风机2 8 a入口进入管线，分别经由第一流向调 节阀2 1 a进入第一蓄热床l 2 a (此时的第二流向调节阀2 2 a和第三 流向调节阀2 3 a为0FF状态)；预热后的有机废气进入燃烧室中 进行反应；有机废气在燃烧室l 3 a中由燃料喷嘴l 4 a提供一燃烧用火 焰1 5 a ，其燃烧室1 3 a内部的燃烧温度可达摄氏温度800~950°C，将 有机废气经氧化反应形成H20及C02;有机废气流经由第二蓄热床1 1 a、 第四流向调节阀2 4 a，前方由烟囱3 5 1 a排出至大气中，在通过第二 蓄热床l 1 a后，第二蓄热床l 1 a被来自燃烧室的高温气流加热。第二 种模式有机废气由风机2 8 a前段进入管线，分别经由第三流向调节阀 2 3 a (此时的第一流向调节阀2 1 a和第四流向调节阀2 4 a为OFF状 态)进入第二蓄热床l 1 a;在通过第二蓄热床l la预热后，有机废气 在燃烧室1 3 a中由燃烧喷嘴1 4 a提供一燃烧用火焰1 5 a将有机废 气氧化成H20及C02，然后通过第一蓄热床l 2 a，及第二流向调节阀2 2 a排放，第一蓄热床12a被来自燃烧室的高温气流加热。其上述的第一种和第二种模式定时循环做气流流动方向切换保持第 一蓄热床l 2 a及第二蓄热床l 1 a可维持高温用以预热有机废气；其中6蓄热材多为陶瓷材料所组成。常用的蓄热焚化炉l 0 a，运作周期中于双 塔式焚化炉进出阀门做切换蓄热床时，会产生一个相当于入口浓度的排放峰值到烟囱(排放口)，由于焚化炉对有机废气的破坏效率可达98%以上， 而入口气流在切换时会直接排到烟囱，以此98%破坏效率预估，可知此浓度是经焚化炉处里过排气的50倍高，此一直造成产业界的困扰；常用蓄热焚化炉的缺点在于阀的气流流动方向切换时会产生一污染的切换峰值， 其污染的缺失使得其于实用场合有其不便。有鉴于此，本专利技术期能提供一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，通过设 有干净气送风管路、气体控制阀组及第一风机的组合设计，即可减除常用 蓄热焚化炉装置因阀组切换气流流动方向时的污染峰值的目的，以有效防 止有机废气污染大气，并可提供相关于半导体业或光电产业的设备需求使 用。
技术实现思路
本专利技术的主要目的，在提供一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，通过设 有一蓄热焚化炉、 一废气主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、 一气体控制阀组及一第一风机的组合设计，使有机废 气在高静压除净的效应作用下，运作周期中其一蓄热床位处理废气污染自 动送进燃烧室中燃烧，防止切换峰值的污染。本专利技术的次一目的，在提供一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，具减除 污染物浓度，对传统蓄热焚化炉的配合装置，通过一蓄热焚化炉、 一废气 主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、 一气 体控制阀组及一第一风机的组合设计，来控制切换管路，使双塔式的蓄热 焚化炉于运作周期中气流流动方向切换时不致有切换峰值产生的污染物 外泄，以供半导体设备、光电设备或其它需去除设备产生污染物的环境使 用。为达到上述目的，本专利技术的技术解决方案是一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，主要是包含有一蓄热焚化炉、 一废 气主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、一 气体控制阀组及一第一风机；该废气主要管路是与蓄热焚化炉的通气管路 连接，而废气管路上设有废气进口阀组及通向控制阀组来控制切换管路， 以控制管路中的废气的流向，并使切换气流方向时，来源有机废气不会直 接排放；而该干净气送风管路的一端是与废气主要管路相连接，以供送入 气体进入废气主要管路中，而干净气送风管路上设有气体控制阀组及第一 风机，以使气体能快速进入废气主要管路中，提供蓄热焚化炉切换气流流 动方向时，干净气送风管路中的气体可通过废气主要管路快速抵达至蓄热 焚化炉的通气管路里，将未燃烧的有机废气以该压力源将其送进燃烧室， 防止未处理有机废气直接排出，达到去除废气污染的目的。本专利技术的装置具有如下实用优点通过干净气送风管路与废气主要管路连接，而废气主要管路是与蓄热 焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供蓄热焚化炉的双 塔气流切换时，送入压力较高的气体将通气管路形成压力源将其一蓄热床 空间内未处理的气体进入燃烧室，防止未燃烧有机废气直接排出，达到去 除废气污染。通过废气管路、通气管路及是统送风管路上设有控制阀组，以控制管 中的气体流向，以避免双塔气流运作周期中切换时，产生切换污染峰值， 防止切换峰值的污染，以提升空气质量。附图说明图1是传统蓄热焚化炉的结构示意图2是本专利技术第一实施例中减除切换峰值的蓄热焚化炉实施例的结构 示意图；图3是本专利技术第二实施例中减除切换峰值的蓄热焚化炉实施例的结构 示意图4是本专利技术第三实施例中减除切换峰值的蓄热焚化炉实施例的结构 示意图5是本专利技术第四实施例中减除切换峰值的蓄热焚化炉实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减除切换峰值的蓄热焚化炉，其特征在于，包含：　一蓄热焚化炉，该蓄热焚化炉设有第一蓄热床、第二蓄热床及一燃烧室，该燃烧室位与第一蓄热床及第二蓄热床的顶部相通的空间，而该第一蓄热床及第二蓄热床各设有至少一通气管路，以供气体的进出；　 　一废气主要管路，该废气主要管路与蓄热焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供废气进入燃烧室处理，并将处理后的气体排出；　一废气进口阀组，该废气进口阀组设于废气主要管路上，以控制废气进出，该废气进口阀组连设有一废气管路通往 燃烧室中，通过废气进口阀组来控制切换管路；　一通向控制阀组，该通向控制阀组设于废气主要管路上，以控制废气的进出于第一蓄热床、第二蓄热床及燃烧后的气体排放，通过通向控制阀组来控制切换管路；　一干净气送风管路，该干净气送风管路的一端 与废气主要管路相连接，以供送入气体进入废气主要管路及蓄热床中；　一气体控制阀组，该气体控制阀组设于干净气送风管路上，以供控制气体进出，该气体控制阀组连设有一气体管路，以供排放用，通过气体控制阀组来控制切换管路；以及　一第一风机， 该第一风机设于干净气送风管路的一端，以供将气体送入废气主要管路及蓄热床中；　通过此，提供蓄热焚化炉的双塔气流切换时，通过干净气送风管路送入气体，防止未处理有机废气直接排出，达到去除废气污染。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，田磊，徐瑞珠，刘邦昱，洪守铭，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]