蓄压除净的蓄热焚化炉制造技术

本发明专利技术为一种蓄压除净的蓄热焚化炉，其废气主要管路与蓄热焚化炉的通气管路连接，废气旁通管路上设有废气进口阀组及通向控制阀组来控制切换管路，控制管路中的废气的流向，干净气送风管路之一端与废气主要管路相连接，送入气体进入废气主要管路中，干净气送风管路上设储压桶、气体控制阀组提供压缩气体设备，使气体经储压桶产生高压下快速进入废气主要管路中，提供蓄热焚化炉切换气流流动方向时，干净气送风管路中的气体通过废气主要管路快速抵达至蓄热焚化炉的通气管路，使切换气流方向时的泄漏污染去除，蓄热焚化炉中其一蓄热床中未燃烧处理的有机废气进入焚化炉燃烧室处理，防止未处理的有机废气直接排出，去除废气污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种蓄压除净的蓄热焚化炉，有关一种蓄热焚化炉(RegenerativeThermalOxidizer， RTO)，通过设有一蓄热焚化炉、 一废 气主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、一 储压桶、 一气体控制阀组及一提供压缩气体设备，可将蓄热燃烧炉气流流 动方向在切换蓄热床时一方面使切换气流方向时的泄漏污染去除，另一作 用其一蓄热床的未燃烧废气不致有外泄，将此蓄热床中未处理有机废气推 入燃烧室处理，防止未处理有机废气于切换时及切换后排出，避免产生运 转的污染峰值，达到稳定利用的功能，适用于产生有机废气需要减除的行 业如某些特定工业的生产领域，如半导体业、光电产业，化工业等。
技术介绍
挥发性有机物质(VolatileOrganicCompound， VOC)在产业界广泛被使 用，亦随制程而排放至大气环境，例如，随半导体与光电业制程排放的有 机废气，IPA(IsopropylAlcohol， C3H80)、丙酮、环己酮等，易造成环境 污染。各国对于挥发性有机物质皆有严格的空污管制标准，以维护环保以 及民众的健康；例如环保署已公告实施半导体制造业空气污染管制及排 放标准，对于半导体业挥发性有机废气强制要求的削减率，至少应大于 90%。有机废气的处理方法很多，热焚化分解有机废气是重要的方法之一， 而蓄热焚化炉是其中一种，特色是热回效率可以高达90%以上。其中蓄热焚化炉(RT0)可为双塔式而配置有二个蓄热床(Regenerativebeds)，蓄 热床内充填蓄热材，使挥发性有机废气流经蓄热床预热(此时蓄热材释出 热能)，而后进入燃烧室；此时，由于燃烧室燃料喷嘴产生火焰提供热能， 使燃烧室保持一定的温度(例如850°C)，在设计的滞留时间内，废气所含 的V0Cs成份几乎被完全氧化成H20及C02然后排放。图1为一般传统双塔式蓄热焚化炉(RT0)的结构示意图；其中的蓄 热焚化炉l 0 a主要含有两组蓄热床，第一蓄热床l 2 a和第二蓄热床l1 a、燃烧室l 3 a及其相连的废气进出管线和流向调节阀等；其中风机2 8 a自废气来源端抽排有机废气(VOCsLadenAir)至蓄热焚化炉1 0 a 入口后，可有两种模式进入燃烧室l 3 a中反应。第一种模式有机废气 通过一风机2 8 a入口进入管线，分别经由第一流向调节阀2 1 a进入第 一蓄热床l 2 a (此时的第二流向调节阀2 2 a和第三流向调节阀2 3 a 为0FF状态)；预热后进的有机废气进入燃烧室中进行反应；有机废 气在燃烧室1 3 a中由燃料喷嘴1 4 a提供一燃烧火焰1 5 a ，其燃烧室 1 3 a内部的燃烧温度可达摄氏温度80(TC以上，将有机废气经氧化反应 形成H20及C02;有机废气经由第二蓄热床l 1 a、第四流向调节阀2 4 a，经由烟囱3 5 1 a排出至大气中；其中废气在通过第二蓄热床1 1 a 时，第二蓄热床l 1 a被来自燃烧室的高温废气流加热。第二种模式有 机废气由风机2 8 a前段进入管线，分别经由第三流向调节阔2 3 a (此 时的第一流向调节阀2 1 a和第四流向调节阀2 4 a为OFF状态)进入第 二蓄热床l 1 a;在通过第二蓄热床l 1 a预热后，有机废气在燃烧室l3 a中由燃烧喷嘴1 4 a提供一燃烧用火焰1 5 a将有机废气氧化成H20 及C02，然后通过第一蓄热床l 2 a，及第二流向调节阀2 2 a排放，第 一蓄热床1 2 a被自燃烧室的高温气流加热。其上述的第一种和第二种模式定时循环做气流流动方向切换保持第 一蓄热床l 2 a及第二蓄热床l 1 a可维持高温用以预热有机废气；其中蓄热材多为陶瓷材料所组成。常用的蓄热焚化炉l 0 a，运作周期中于双 塔式焚化炉进出阀门做切换蓄热床时，会产生一个相当于入口浓度的排放 峰值到烟囱(排放口)，由于焚化炉对有机废气的破坏效率可达98°/。以上，而入口气流在切换时会直接排到烟囱，以此98%破坏效率预估，可知此浓度是经焚化炉处里过排气的50倍高，此一直造成产业界的困扰；再者，完成切换后，对于原为进气预热用的蓄热床将变为排气蓄热用的蓄热床， 此时原存在于蓄热床内的废气，因为尚未进入燃烧室焚化分解处理，仍为 未处理废气，将因气流反向而被气流吹出排放，变成污染。故知常用蓄热 焚化炉的缺点在于阀的气流流动方向切换时会产生一污染的切换峰值，其 污染的缺失使得其于实用场合有其缺失。有鉴于此，本专利技术期能提供一种蓄压除净的蓄热焚化炉，通过设有干 净气送风管路、储压桶、气体控制阀组及提供压縮气体设备的组合设计， 即可减除常用蓄热焚化炉装置因阀组切换气流流动方向时的污染峰值的 目的，以有效防止有机废气污染大气，并可提供相关于半导体业或光电产 业的设备需求使用，乃潜心研思、设计组制，为本专利技术所欲研创的动机者。
技术实现思路
本专利技术的主要目的，是提供一种蓄压除净的蓄热焚化炉，具减除污染 物浓度，对传统蓄热焚化炉的配合装置，通过一蓄热焚化炉、 一废气主要 管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、 一储压桶、 一气体控制阀组及一提供压縮气体设备的组合设计，来控制切换管路，使 双塔式的蓄热焚化炉于运作周期中气流流动方向切换时不致有切换峰值 产生的污染物外泄，以供半导体设备、光电设备或其它需去除设备产生污 染物的环境使用。本专利技术的次一目的，是提供一种蓄压除净的蓄热焚化炉，通过设有一 蓄热焚化炉、 一废气主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、 一储压桶、 一气体控制阀组及一提供压缩气体设备的组合 设计，通过储压桶来储存气体，并以高静压方式来将气体送入废气主要管 路及蓄热床中，使有机废气在高静压除净的效应作用下，运作周期中其一 蓄热床未处理废气污染自动送进燃烧室中燃烧，防止切换峰值的污染。 本专利技术主要是包含有一蓄热焚化炉、 一废气主要管路、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一干净气送风管路、 一储压桶、 一气体控制阀组及一提 供压縮气体设备；该废气主要管路是与蓄热焚化炉的通气管路连接，而废 气旁通管路上设有废气进口阀组及通向控制阀组来控制切换管路，以控制 管路中的废气的流向，而该干净气送风管路的一端是与废气主要管路相连 接，以供送入气体进入废气主要管路中，而干净气送风管路上设有储压桶、 气体控制阀组及提供压缩气体设备，以使气体能经由储压桶产生高静压下 而快速进入废气主要管路中，提供蓄热焚化炉切换气流流动方向时，干净 气送风管路中的气体可通过废气主要管路快速抵达至蓄热焚化炉的通气 管路里， 一方面使切换气流方向时的泄漏污染去除，另一作用使蓄热焚化 炉中其一蓄热床中未燃烧处理的有机废气进入焚化炉燃烧室处理，防止未 处理的有机废气于切换时及切换后排出，达到去除废气污染。本专利技术的其它特点及具体实施例可于以下配合附图的详细说明中，进 一步了解。附图说明图1为传统蓄热焚化炉的结构示意图2为本专利技术第一实施例中蓄压除净的蓄热焚化炉实施例的结构示意图3为本专利技术第二实施例中蓄压除净的蓄热焚化炉实施例的结构示意图4为本专利技术第三实施例中蓄压除净的蓄热焚化炉实施例的结构示意图5为本专利技术第四实施例中蓄压除净的蓄热焚化炉实施例的结构示意本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓄压除净的蓄热焚化炉，其特征在于包含：　一蓄热焚化炉，该蓄热焚化炉设有第一蓄热床、第二蓄热床及一燃烧室，该燃烧室位与第一蓄热床及第二蓄热床的顶部相通的空间，而该第一蓄热床及第二蓄热床各设有至少一通气管路，以供气体的进出；　一废气主要管路，该废气主要管路与蓄热焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供废气进入燃烧室处理，并将处理后的气体排出；　一废气进口阀组，该废气进口阀组设于废气主要管路上，以控制废气进出，该废气进口阀组连设有一废气旁通管路通往燃烧室中，通过废气进口阀组来控制切换管路；　一通向控制阀组，该通向控制阀组设于废气主要管路上，以控制废气的进出于第一蓄热床、第二蓄热床及燃烧后的气体排放，通过通向控制阀组来控制切换管路；　一干净气送风管路，该干净气送风管路的一端与废气主要管路相连接，以供送入气体进入废气主要管路及蓄热床中；　一储压桶，该储压桶连设于干净气送风管路之中，以供储存气体；　一气体控制阀组，该气体控制阀组设于干净气送风管路上，以供控制气体进出；以及　一提供压缩气体设备，该提供压缩气体设备设于干净气送风管路之一端，以供将气体送入储压桶中，再将气体经干净气送风管路送入废气主要管路及蓄热床中；　通过此，提供蓄热焚化炉于切换双塔气流时，通过将气体送入储压桶中，再将此气体经干净气送风管路送入废气主要管路及一蓄热床中，将此蓄热床中未处理有机废气推入燃烧室处理，防止未处理有机废气于切换时及切换后排出，达到去除废气污染。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，田磊，徐瑞珠，刘邦昱，洪守铭，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]