【技术实现步骤摘要】
自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备
本技术涉及半导体制造设备领域，更具体而言，本技术涉及自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备。
技术介绍
当前行业内普遍使用的尾气处理设备(Scrubber)主要包括三种：干式、湿式和组合式，干式尾气处理设备中采用活性炭等媒介吸附的方法进行吸收或者燃烧方式除去废气，而湿式的尾气处理设备中采用用水吸收或者酸碱液吸收，而组合式一般设计为燃烧水洗或者电热水洗。一般腔室在进行反应时会产生大量粉尘，经真空泵吸后流向尾气处理设备中，在水洗时会留在尾气处理设备的水槽中。图1示出现有的尾气处理设备100的示意图。如图1所示，工艺气体进入尾气处理设备100后发生燃烧反应或其他类型的反应，产生大量粉尘颗粒。尾气处理设备100采用的是重力沉降法沉积粉尘颗粒，大量的粉尘颗粒沉积在水槽110中。水槽110中的水通过循环管道，对气体进行水洗，以清除气体中的粉尘颗粒。这种方法的缺点是需要定期清理水槽110中的粉尘颗粒，造成设备的关机，减少设备的有效工作时间，同时尾气处理设备重新启动时会出现点火失败等一系列原因。<...
【技术保护点】
1.一种自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，包括：/n水槽，带有粉尘颗粒的水在水槽中；/n水泵，所述水泵与所述水槽的排水口相连；以及/n水旋器，所述水旋器与所述水泵的另一端相连，所述水泵将水槽中带有粉尘颗粒的水排入水旋器的入口，水旋器还具有溢流口和排沙口，所述溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸小于特定值，所述排沙口排出粉尘颗粒稠化的水。/n
【技术特征摘要】
1.一种自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，包括：
水槽，带有粉尘颗粒的水在水槽中；
水泵，所述水泵与所述水槽的排水口相连；以及
水旋器，所述水旋器与所述水泵的另一端相连，所述水泵将水槽中带有粉尘颗粒的水排入水旋器的入口，水旋器还具有溢流口和排沙口，所述溢流口排出的水中粉尘颗粒尺寸小于特定值，所述排沙口排出粉尘颗粒稠化的水。
2.如权利要求1所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，还包括再处理设备，所述再处理设备的入口接收粉尘颗粒稠化的水，所述再处理设备采用挤压法，对水旋器的排沙口排出的水进行挤压处理，剩下的残渣直接更换即可。
3.如权利要求2所述的自动清理水槽中粉尘颗粒的尾气处理设备，其特征在于，还包括反应室、水洗室和循环水管道，所述反应室、水洗室和水槽成U型并彼此连通，水槽在反应室和水洗室的下方，待处理气体通过反应室入口进入反应室，并在反应室内发生反应，产生粉尘颗粒，一...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛波，李文强，曾圣翔，郭松辉，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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