一种CVD装置尾气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种CVD装置尾气处理装置，该处理装置可以增大尾气与水的接触面积，且采用水幕与吸附结构相结合的方式对尾气进行处理，有效解决以往仅通过水幕处理效果不佳的问题。包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通；所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接；所述的第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。

A tail gas treatment device of CVD device

【技术实现步骤摘要】
一种CVD装置尾气处理装置
本专利技术涉及半导体制造领域，具体为一种CVD装置尾气处理装置。
技术介绍
随着科技的进步，社会的发展，我国的电子技术得到了快速发展，随之而来的是半导体技术的快速发展。在CVD半导体制作工艺中，会排出大量的尾气，尾气中含有大量有害物质，如果不对其进行处理，将会对工作人员和周围环境产生极大的危害。现有的尾气处理装置，通常是采用喷淋装置，现有的喷淋装置，通常是在喷水管底部产生水幕，通过水幕与尾气进行接触，然而，在实际应用过程中，现有的喷淋装置不能将水与尾气充分混合，因为而处理效果不佳。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种CVD装置尾气处理装置，该处理装置可以增大尾气与水的接触面积，且采用水幕与吸附结构相结合的方式对尾气进行处理，有效解决以往仅通过水幕处理效果不佳的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种CVD装置尾气处理装置，包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，其特征在于：所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通，所述的第一处理桶整体呈竖向的长方体状，且第一处理桶固定设有上下开口的矩形固定框，所述的矩形固定框边沿与第一处理桶内表面固定连接，所述的矩形固定框内设有若干内外纵向的支杆，支杆将矩形固定框分隔为若干矩形通孔，所述的矩形通孔中分别内外纵向设有转轴，所述的转轴左右排列设置，内外两端部分别与矩形固定框转动连接，所述的转轴上分别固定设有卷辊，所述的卷辊外表面均匀固定设有若干第一过滤网，相邻的第一过滤网外端部相接触；所述的矩形固定框上侧的第一处理桶内表面固定设有第一喷淋管，所述的第一喷淋管底部设有若干第一喷头，所述的第一喷头分别位于两个转轴中间位置的正上方，第一喷淋管与外侧的输水管相连接，所述的输水管上设有增压泵，所述的第一连接管下方的第一处理桶上设有第一排液管，所述的第一排液管上设有第一控制阀；所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接，所述的第二处理桶整体呈横向的长方体状，所述的第二处理桶内顶部设有第二喷淋管，所述的第二喷淋管底部设有若干第二喷头，第二处理桶左端部设有排气口，排气口下方设有第二排液管，第二排液管上设有第二控制阀，第二喷淋管通过第三连接管与增压泵后侧的输水管相连接；所述的第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置。优选的，所述的第一过滤网为矩形固定片，所述的矩形固定片上均匀固定设有若干圆形通孔。优选的，所述的矩形固定框上下侧面分别设有固定板，所述的固定板通过螺栓与第一处理桶固定连接。优选的，所述的第一吸附装置和第二吸附装置结构相同，包括中空长方体状的第二过滤网，所述的第二过滤网中设有空心球。优选的，所述的第二过滤网边沿分别设有固定块，所述的固定块通过螺栓与第一处理桶和第二处理桶相连接。优选的，所述的空心球为多面体空心球。与现有技术相比，本专利技术提供了一种CVD装置尾气处理装置，具备以下有益效果：1.本专利技术通过第一处理桶的设置，使用时，尾气通过高温反应桶处理后进入第一处理桶，则通过第一喷淋头可以将水喷向两个转轴之间，使得第一过滤网呈旋转过滤效果，且可以将水分旋转分散，利于增加水分与尾气的接触面积，从而提升处理效果。2.本专利技术通过第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接，所述的第二处理桶整体呈横向的长方体状，所述的第二处理桶内顶部设有第二喷淋管，所述的第二喷淋管底部设有若干第二喷头，第二处理桶左端部设有排气口，排气口下方设有第二排液管，第二排液管上设有第二控制阀，使用时，第二处理桶可以通过多道水幕对尾气进行处理，实现对尾气的二次处理，从而提升处理效果。3.本专利技术通过第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置，使用时，第一吸附装置和第二吸附装置可以分别在第一处理桶和第二处理桶中对尾气起到吸附处理的作用。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为图1中矩形固定框的俯视结构示意图；图3为第一过滤网的结构示意图；图4为第二过滤网的结构示意图。图中标示：1.高温反应桶；11.进气口；12.第一连接管；2.第一处理桶；21.矩形固定框；211.固定板；22.支杆；23.第一排液管；231.第一控制阀；24.第二连接管；3卷辊；31.第一过滤网；311.圆形通孔；4.第一喷淋管；41.第一喷头；42.输水管；421.增压泵；5.第一吸附装置；51.第二过滤网；511.固定块；6.第二处理桶；61.第二喷淋管；611.第二喷头；62.第二吸附装置；63.排气管；64.第二排液管；641.第二控制阀。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1至图4所示，一种CVD装置尾气处理装置，包括高温反应桶1(现有技术，其结构本领域技术人员知晓，尾气中多种气体通过反应后生成可溶解或者沉淀粉尘)，所述的高温反应桶1顶部设有进气口11，所述的高温反应桶1底部通过第一连接管12与第一处理桶2右侧相连通，所述的第一处理桶2整体呈竖向的长方体状，且第一处理桶2固定设有上下开口的矩形固定框21，所述的矩形固定框21边沿与第一处理桶2内表面固定连接，所述的矩形固定框21内设有若干内外纵向的支杆22，支杆22将矩形固定框21分隔为若干矩形通孔(未单独标记)，所述的矩形通孔中分别内外纵向设有转轴(图中未示出)，所述的转轴左右排列设置，内外两端部分别与矩形固定框21转动连接，所述的转轴上分别固定设有卷辊3，所述的卷辊3外表面均匀固定设有若干第一过滤网31(周向均匀分布)，相邻的第一过滤网31外端部相接触。所述的矩形固定框21上侧的第一处理桶2内表面固定设有第一喷淋管4，所述的第一喷淋管4底部设有若干第一喷头41，所述的第一喷头41分别位于两个转轴3中间位置的正上方，第一喷淋管4与外侧的输水管42相连接，所述的输水管42上设有增压泵421，所述的第一连接管12下方的第一处理桶2上设有第一排液管23，所述的第一排液管23上设有第一控制阀231。上述实施例中，具体的，所述的第一处理桶2顶部通过第二连接管24与第二处理桶6的右端部相连接，所述的第二处理桶6整体呈横向的长方体状，所述的第二处理桶6内顶部设有第二喷淋管61，所述的第二喷淋管61底部设有若干第二喷头611(形成左右排列的多道水幕)，第二处理桶6左端部设有排气口63，排气口63下方设有第二排液管64，第二排液管64上设有第二控制阀641，第二喷淋管61通过第三连接管422与增压泵421后侧的输水管42相连接。上述实施例中，具体的，所述的第一喷淋管4上方的第一处理桶2中设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CVD装置尾气处理装置，包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，其特征在于：所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通，所述的第一处理桶整体呈竖向的长方体状，且第一处理桶固定设有上下开口的矩形固定框，所述的矩形固定框边沿与第一处理桶内表面固定连接，所述的矩形固定框内设有若干内外纵向的支杆，支杆将矩形固定框分隔为若干矩形通孔，所述的矩形通孔中分别内外纵向设有转轴，所述的转轴左右排列设置，内外两端部分别与矩形固定框转动连接，所述的转轴上分别固定设有卷辊，所述的卷辊外表面均匀固定设有若干第一过滤网，相邻的第一过滤网外端部相接触；所述的矩形固定框上侧的第一处理桶内表面固定设有第一喷淋管，所述的第一喷淋管底部设有若干第一喷头，所述的第一喷头分别位于两个转轴中间位置的正上方，第一喷淋管与外侧的输水管相连接，所述的输水管上设有增压泵，所述的第一连接管下方的第一处理桶上设有第一排液管，所述的第一排液管上设有第一控制阀；/n所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接，所述的第二处理桶整体呈横向的长方体状，所述的第二处理桶内顶部设有第二喷淋管，所述的第二喷淋管底部设有若干第二喷头，第二处理桶左端部设有排气口，排气口下方设有第二排液管，第二排液管上设有第二控制阀，第二喷淋管通过第三连接管与增压泵后侧的输水管相连接；/n所述的第一喷淋管上方的第一处理桶中设有第一吸附装置，所述的第二处理桶中间部分还设有竖向的第二吸附装置。/n...

【技术特征摘要】
1.一种CVD装置尾气处理装置，包括高温反应桶，所述的高温反应桶顶部设有进气管，其特征在于：所述的高温反应桶底部通过第一连接管与第一处理桶右侧相连通，所述的第一处理桶整体呈竖向的长方体状，且第一处理桶固定设有上下开口的矩形固定框，所述的矩形固定框边沿与第一处理桶内表面固定连接，所述的矩形固定框内设有若干内外纵向的支杆，支杆将矩形固定框分隔为若干矩形通孔，所述的矩形通孔中分别内外纵向设有转轴，所述的转轴左右排列设置，内外两端部分别与矩形固定框转动连接，所述的转轴上分别固定设有卷辊，所述的卷辊外表面均匀固定设有若干第一过滤网，相邻的第一过滤网外端部相接触；所述的矩形固定框上侧的第一处理桶内表面固定设有第一喷淋管，所述的第一喷淋管底部设有若干第一喷头，所述的第一喷头分别位于两个转轴中间位置的正上方，第一喷淋管与外侧的输水管相连接，所述的输水管上设有增压泵，所述的第一连接管下方的第一处理桶上设有第一排液管，所述的第一排液管上设有第一控制阀；
所述的第一处理桶顶部通过第二连接管与第二处理桶的右端部相连接，所述的第二处理桶整体呈横向的长方体状，所述的第二处理桶内顶部设有第二喷淋管，所述的第二喷淋管底部设有若干第二喷头，第二处理桶左端...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁桃宝，吴啸，周琛怿，
申请(专利权)人：苏州晋宇达实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32