一种晶棒保护组件、晶棒转移装置及晶棒转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种晶棒保护组件、晶棒转移装置及晶棒转移方法，所述晶棒保护组件包括：保护支架，包括平行设置的两个旋转臂、以及连接在两个旋转臂之间的托板；两个旋转轴，两个旋转臂分别通过两个旋转轴枢接于牵引室的外壁的相对两侧，且旋转臂能够绕对应的旋转轴旋转，以带动托板在第一状态和第二状态之间切换；第一动力部件，与两个旋转轴中的至少一个旋转轴连接，以驱动两个旋转轴中至少一个旋转轴旋转；在第一状态，托板位于牵引室的开口下方，以承托自开口伸出的晶棒；在第二状态，托板移动至避让开牵引室的开口的位置。本发明专利技术晶棒保护组件、晶棒转移装置及晶棒转移方法能够提高晶棒转移效率，提高晶棒生产效率及晶棒转移环节的稳定性与安全性。

A protection component, transfer device and transfer method of crystal rod

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒保护组件、晶棒转移装置及晶棒转移方法
本专利技术涉及晶体生长
，尤其涉及一种晶棒保护组件、晶棒转移装置及晶棒转移方法。
技术介绍
多晶硅是生产太阳能光伏产品和半导体产品的主要原材料。丘克拉尔斯基(Czochralski，简称Cz)法是单晶硅最常用的制备方法之一，高纯度固态多晶硅原料在晶体生长炉内的坩埚中熔化形成熔体，通过籽晶提拉机构下降籽晶，使籽晶与旋转坩埚中的熔融状态下的硅熔汤接触，然后，将籽晶按照一定的工艺方法提拉出，熔体围绕籽晶凝固形成单晶硅棒。传统的Cz晶体生长炉在完成一炉原料拉晶生产后，需要为晶棒的取出做很多繁杂的工作，包括冷却、牵引室移动、人工保护晶棒下降、晶棒在运晶小车上固定、晶颈剪断、运晶小车移动、天车吊取晶棒转运、晶棒成品车储放等工序。这些工序费时费力，严重影响了拉制完成的单晶硅棒的取出，制约了直拉式单晶硅的生产效率，且存在单晶硅棒容易损坏的风险；此外，在牵引室移动、人工保护晶棒下降、晶棒在运晶小车上固定、晶颈剪断、天车吊取晶棒转运的过程中，大量涉及人工操作，在此人工操作过程中不可避免的在某一工序操作人员本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶棒保护组件，用于在晶棒随牵引室转移出晶体生长炉过程中保护晶棒，所述牵引室内部设有容纳晶棒的腔室，所述牵引室的底部设有开口；其特征在于，所述晶棒保护组件包括：/n保护支架，包括平行设置的两个旋转臂、以及连接在两个所述旋转臂之间的托板；/n两个旋转轴，两个所述旋转臂分别通过两个所述旋转轴枢接于所述牵引室的外壁的相对两侧，且所述旋转臂能够绕对应的所述旋转轴旋转，以带动所述托板在第一状态和第二状态之间切换；/n以及，第一动力部件，与两个所述旋转轴中的至少一个旋转轴连接，以驱动所述两个旋转轴中至少一个旋转轴旋转；/n其中，在所述第一状态，所述托板位于所述牵引室的开口下方，以承托自所述开口伸出的...

【技术特征摘要】
1.一种晶棒保护组件，用于在晶棒随牵引室转移出晶体生长炉过程中保护晶棒，所述牵引室内部设有容纳晶棒的腔室，所述牵引室的底部设有开口；其特征在于，所述晶棒保护组件包括：
保护支架，包括平行设置的两个旋转臂、以及连接在两个所述旋转臂之间的托板；
两个旋转轴，两个所述旋转臂分别通过两个所述旋转轴枢接于所述牵引室的外壁的相对两侧，且所述旋转臂能够绕对应的所述旋转轴旋转，以带动所述托板在第一状态和第二状态之间切换；
以及，第一动力部件，与两个所述旋转轴中的至少一个旋转轴连接，以驱动所述两个旋转轴中至少一个旋转轴旋转；
其中，在所述第一状态，所述托板位于所述牵引室的开口下方，以承托自所述开口伸出的晶棒；在所述第二状态，所述托板移动至避让开所述牵引室的开口的位置。


2.根据权利要求1所述的晶棒保护组件，其特征在于，
所述托板上设有用于对晶棒进行定位的定位元件。


3.根据权利要求2所述的晶棒保护组件，其特征在于，
所述定位元件包括：开设于所述托板上的定位孔。


4.根据权利要求3所述的晶棒保护组件，其特征在于，
所述托板上设有用于对晶棒进行缓冲保护的柔性缓冲元件。


5.根据权利要求4所述的晶棒保护组件，其特征在于，
所述柔性缓冲元件包括：设置在所述定位孔内的环形弹性缓冲垫。


6.根据权利要求1所述的晶棒保护组件，其特征在于，
所述晶棒保护组件还包括用于对从所述牵引室的开口伸出的晶棒的侧面进行防护的侧面防护模块，所述侧面防护模块设置在所述保护支架上。


7.根据权利要求6所述的晶棒保护组件，其特征在于，
所述侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘佳奇，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61