一种镍基管状阴极靶材的制备方法及其应用技术

技术编号:23596812 阅读:34 留言:0更新日期:2020-03-28 02:04
本发明专利技术公开了一种镍基管状阴极靶材的制备方法,本方法通过合金熔炼工艺及成分控制、型壳工艺和铸造工艺、机加工工艺,制备出满足技术要求的镍基管状阴极靶材。所述镍基管状阴极靶材的应用采用真空电弧镀涂镀,涂镀工艺参数有:1)离子清理;2)涂层涂镀。本发明专利技术将镍基管状阴极靶材作为挥发阴极材料,采用真空电弧镀工艺方法,用于涂敷热端部件表面涂层的制备,提高了零件表面的高温抗氧化、抗腐蚀性能,延长零件的使用寿命。

Preparation and application of a nickel based tubular cathode target

【技术实现步骤摘要】
一种镍基管状阴极靶材的制备方法及其应用
本专利技术涉及涂镀
,具体的说是涉及一种镍基管状阴极靶材的制备方法及其应用。
技术介绍
目前,国外在定向凝固和单晶涡轮叶片上已广泛使用了MCrAlX包覆型涂层,该类涂层的特点是将耐循环氧化和耐高温腐蚀的合金作为涂层,包覆在叶片合金基体上,可以克服一般铝化物涂层的缺点,兼顾了抗氧化、抗腐蚀,并根据使用要求调整涂层成分。根据相关资料介绍,该类涂层1100℃条件下其保护寿命比铝化物涂层高3~4倍。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种镍基管状阴极靶材的制备方法及其应用,研制的管状阴极靶材作为挥发阴极材料,采用真空电弧镀工艺方法制备出热端部件表面的高温抗氧化、抗腐蚀性能涂层,延长热端部件的使用寿命,从而提高热端部件的长期使用性能。本专利技术的技术方案是:一种镍基管状阴极靶材的制备方法,本方法通过合金熔炼工艺及成分控制、型壳工艺和铸造工艺、机加工工艺,制备出满足技术要求的镍基管状阴极靶材,具体如下:1)、合金熔炼工艺及成分控制:在熔炼过程中,按4~6次分批加入A本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镍基管状阴极靶材的制备方法,其特征在于:本方法通过合金熔炼工艺及成分控制、型壳工艺和铸造工艺、机加工工艺,制备出满足技术要求的镍基管状阴极靶材,具体如下:/n1)、合金熔炼工艺及成分控制:在熔炼过程中,按4~6次分批加入Al;镍基管状阴极的化学成为:Cr20~22;Al10~11;Y1.5~2.0;Si0.2~0.4;Fe0.05~0.10;C0.005~0.010;Ni余量;/n2)、型壳工艺和铸造工艺:在型壳工艺中,型壳材料采用Al2O3占30~40wt%的高Al2O3面层,型壳材料采用Al2O3-SiO2系耐火材料背层,形成复合陶瓷型壳;在铸造工艺设计上,外部工作表面为少余量铸造...

【技术特征摘要】
1.一种镍基管状阴极靶材的制备方法,其特征在于:本方法通过合金熔炼工艺及成分控制、型壳工艺和铸造工艺、机加工工艺,制备出满足技术要求的镍基管状阴极靶材,具体如下:
1)、合金熔炼工艺及成分控制:在熔炼过程中,按4~6次分批加入Al;镍基管状阴极的化学成为:Cr20~22;Al10~11;Y1.5~2.0;Si0.2~0.4;Fe0.05~0.10;C0.005~0.010;Ni余量;
2)、型壳工艺和铸造工艺:在型壳工艺中,型壳材料采用Al2O3占30~40wt%的高Al2O3面层,型壳材料采用Al2O3-SiO2系耐火材料背层,形成复合陶瓷型壳;在铸造工艺设计上,外部工作表面为少余量铸造的表面,其铸造余量为0.3~0.8mm,内部非工作表面铸造余量为0.3mm以下;采用模数法结合经验法设计铸造浇铸系统,保证凝固过程的顺序性和良好的补缩,铸造浇铸系统采用顶铸式铸口;采用的型壳温度为900~950℃...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓先树
申请(专利权)人:成都建极微波技术有限公司
类型:发明
国别省市:四川;51

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