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本发明公开了一种镍基管状阴极靶材的制备方法，本方法通过合金熔炼工艺及成分控制、型壳工艺和铸造工艺、机加工工艺，制备出满足技术要求的镍基管状阴极靶材。所述镍基管状阴极靶材的应用采用真空电弧镀涂镀，涂镀工艺参数有：1)离子清理；2)涂层涂镀。本...
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