一种新型4寸磷扩石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型4寸磷扩石英舟，涉及石英舟领域，针对现有的磷扩后结深的均匀度不够的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔，所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁，两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的横板，且横板与底座固定连接，两个所述横板相互靠近的一侧均开设有矩形口，两个所述横板相互远离的一侧均连接有固定在底座上的罩壳，所述罩壳的内部设有开设在底座上的气孔，本实用新型专利技术，在各部件的共同作用下，使其在炉管中各部分接触气体的氛围一致，使晶片在磷扩时扩散速度一致，提高磷面各点浓度的均匀性，进而提高晶片结深的一致性。

A new 4-inch phosphorous stone expanding boat

【技术实现步骤摘要】
一种新型4寸磷扩石英舟
本技术涉及石英舟领域，尤其涉及一种新型4寸磷扩石英舟。
技术介绍
随着半导体行业的迅速发展，对电性一致性的要求越来越高，即其对结深的一致性要求越来越高。制造商千方百计的来提高结深均匀性，提升自身的竞争优势，改善磷结均匀性也是重点改善方向。前期晶片边缘磷结深度差异差异很大，一片上有5um左右的差异，造成晶粒电压有100-200V的差异。因此为了保证磷结边缘深度的均匀度，研究一种新的磷扩石英舟具有很重要的意义，为此我们提出了一种新型4寸磷扩石英舟。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型4寸磷扩石英舟。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种新型4寸磷扩石英舟，包括底座，所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔，所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁，两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的横板，且横板与底座固定连接，两个所述横板相互靠近的一侧均开设有矩形口，两个所述横板相互远离的一侧均连接有固定在底座上的罩壳，所述罩壳的内部设有开设在底座上的气孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型4寸磷扩石英舟，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶部开设有等距设置的连通孔（5），所述底座（1）顶部两侧的边缘处均固定有横梁（2），两个所述横梁（2）的两端之间均固定有竖向设置的横板（3），且横板（3）与底座（1）固定连接，两个所述横板（3）相互靠近的一侧均开设有矩形口（6），两个所述横板（3）相互远离的一侧均连接有固定在底座（1）上的罩壳（4），所述罩壳（4）的内部设有开设在底座（1）上的气孔（7）。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型4寸磷扩石英舟，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的顶部开设有等距设置的连通孔（5），所述底座（1）顶部两侧的边缘处均固定有横梁（2），两个所述横梁（2）的两端之间均固定有竖向设置的横板（3），且横板（3）与底座（1）固定连接，两个所述横板（3）相互靠近的一侧均开设有矩形口（6），两个所述横板（3）相互远离的一侧均连接有固定在底座（1）上的罩壳（4），所述罩壳（4）的内部设有开设在底座（1）上的气孔（7）。


2.根据权利要求1所述的一种新型4寸磷扩石英舟，其特征在于，所述连通孔（5）开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹孙根，张俊超，陈松，
申请(专利权)人：安徽钜芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34