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本实用新型公开了一种新型4寸磷扩石英舟,涉及石英舟领域,针对现有的磷扩后结深的均匀度不够的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔,所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁,两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的...该专利属于安徽钜芯半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽钜芯半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种新型4寸磷扩石英舟,涉及石英舟领域,针对现有的磷扩后结深的均匀度不够的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔,所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁,两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的...