【技术实现步骤摘要】
一种电子产品生产用电路板刻蚀装置
本技术涉及电子产生加工附属装置的
,特别是涉及一种电子产品生产用电路板刻蚀装置。
技术介绍
众所周知,刻蚀工艺是在半导体工艺,按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术,刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺,而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工,刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀,电子产品生产用电路板刻蚀装置是一种用于电子器件芯片进行加工的辅助装置,其在半导体芯片加工的领域中得到了广泛的使用;电子产品生产用电路板刻蚀装置包括箱体、基板和掩模,箱体的内部设置有工作腔,并在工作腔内装有刻蚀液,箱体的顶端设置有取放口,基板的顶端设置有固定槽,掩模位于固定槽内,并在掩模上设置有模孔;现有的电子产品生产用电路板刻蚀装置使用时,将待加工的电路板至于固定槽内,然后将掩模盖在芯片的顶端并将电路板压紧,然后将基板连同电路板和掩模一同自取放口导入至工作腔内,通过刻蚀液对芯片的裸露部位进行刻蚀即可;现有的电子产品生产用电路板刻蚀装置使用中发现,其对电 ...
【技术保护点】
1.一种电子产品生产用电路板刻蚀装置,包括箱体(1),箱体(1)的内部设置有工作腔,并在工作腔内装有刻蚀液,箱体(1)的顶端设置有取放口(2);其特征在于,还包括左支板(3)、右支板(4)、顶板(5)、连接轴(6)、四组滑杆(7)、固定板(8)、旋转电机(9)、下转盘(10)、驱动电机(11)、两组丝杠(12)、传动链条(13)和升降板(14),所述左支板(3)和右支板(4)的底端分别与箱体(1)顶端的左侧和右侧连接,左支板(3)和右支板(4)的顶端分别与顶板(5)底端的左侧和右侧连接,所述顶板(5)的顶端中部设置有圆形槽(15),并在圆形槽(15)内设置有上转盘(16)、 ...
【技术特征摘要】
1.一种电子产品生产用电路板刻蚀装置,包括箱体(1),箱体(1)的内部设置有工作腔,并在工作腔内装有刻蚀液,箱体(1)的顶端设置有取放口(2);其特征在于,还包括左支板(3)、右支板(4)、顶板(5)、连接轴(6)、四组滑杆(7)、固定板(8)、旋转电机(9)、下转盘(10)、驱动电机(11)、两组丝杠(12)、传动链条(13)和升降板(14),所述左支板(3)和右支板(4)的底端分别与箱体(1)顶端的左侧和右侧连接,左支板(3)和右支板(4)的顶端分别与顶板(5)底端的左侧和右侧连接,所述顶板(5)的顶端中部设置有圆形槽(15),并在圆形槽(15)内设置有上转盘(16)、多组上支杆(17)和多组上支撑轮(18),所述多组上支杆(17)的底端均与圆形槽(15)的内底壁连接,所述多组上支撑轮(18)分别安装于多组上支杆(17)的顶端,多组上支撑轮(18)的顶端均与上转盘(16)的底端贴紧,顶板(5)的中部设置有上安装通孔,并在上安装通孔内固定安装有上滚珠轴承(19),所述连接轴(6)的顶端自顶板(5)的底端穿过上滚珠轴承(19)伸入至圆形槽(15)内并与上转盘(16)的底端中部固定连接,连接轴(6)的底端与固定板(8)的顶端中部连接,所述旋转电机(9)安装于箱体(1)的底端中部,并在旋转电机(9)的顶部输出端设置有转轴(20),所述转轴(20)的顶端自箱体(1)的底端伸入至工作腔内部并与下转盘(10)的底端中部固定连接,所述升降板(14)的左前端、右前端、左后端和右后端均设置有上下贯通的穿孔,所述四组滑杆(7)的底端均与下转盘(10)的顶端连接,四组滑杆(7)的顶端自升降板(14)的底端分别穿过四组穿孔并均与上转盘(16)的底端连接,所述驱动电机(11)安装于固定板(8)的底端中部,并在驱动电机(11)的底部输出端设置有主动链轮(21),固定板(8)底端的左侧和右侧均设置有上安装槽,并在两组上安装槽内均固定安装有第一滚珠轴承(22),所述下转盘(10)顶端的左侧和右侧均设置有下安装槽,并在两组下安装槽内均固定安装有第二滚珠轴承(23),所述升降板(14)的左端和右端均设置有上下贯通的螺纹孔,所述两组丝杠(12)的顶端自固定板(8)的底端分别插入至两组第一滚珠轴承(22)内部,两组丝杠(12)的底端自升降板(14)的顶端分别螺装穿过两组螺纹孔并分别插入至两组第二滚珠轴承(23)内部,并在两组丝杠(12)的外侧顶部均设置有从动链轮(24),所述两组从动链轮(24)与所述主动链轮(21)通过所述传动链条传动连接;还包括气缸(25)、四组连接杆(26)、基板(27)和掩模(28),所述掩模(28)的左前端、右前端、左后端和右后端均设置有上下贯通的通孔,所述四组连接杆的底端均与基板(27)的顶端连接,四组连接杆(26)的顶端自掩模(28)的底端分别穿过四组通孔并均与升降板(14)的底端连接,所述基板(27)的顶端设置有定位槽(29),所述气缸(25)安装于升降板(14)的顶端,并在气缸(25)的底部输出端设置有活塞杆(30),所述活塞杆(30)的底端自...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨文吉,
申请(专利权)人:泉州迅捷工业设计服务有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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