氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体、液位计、第一连接臂和第二连接臂，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第一连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第二连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体设有空腔，所述液位计设有液位腔，所述空腔的底部与第一连接臂相连通，所述第一连接臂与第二连接臂相连接并相连通，所述第二连接臂与液位腔的底部相连通。本实用新型专利技术中，氮化铝陶瓷蒸发皿体具有相对的化学稳定性，能有效减少浆料的粘壁和爬壁现象，减少对金属浆料的污染。本实用新型专利技术还通过设置与氮化铝陶瓷蒸发皿体相连通的液位计，方便用户对蒸镀时氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位变化进行观察。

Aluminum nitride ceramic evaporation dish

【技术实现步骤摘要】
氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿
本技术涉及蒸镀设备设计领域，尤其涉及一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿。
技术介绍
蒸镀加工，是一种将金属浆料于真空环境中加热，使浆料气化后沉淀到产品上，以此来于产品上形成薄膜的一种加工方法，其又称真空蒸镀或真空镀膜。蒸镀加工中往往需要使用金属蒸发皿，以便于金属浆料的承载和加热，但是目前常见的金属蒸发皿在使用过程中往往会对金属浆料造成污染，并且在加热时，还常会出现金属浆料的爬壁和粘壁现象。另一方面，在蒸镀加工过程中，用户往往需要观察蒸发皿的液位变化情况，以了解当前的加工速度，加工效果等加工情况，来便于适时对加热温度等参数进行调整，以保证能获得良好的蒸镀效果。但由于蒸镀过程中，存在蒸汽影响，加上金属浆料量大，用户难以观察当前蒸发皿的液位变化情况。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，可以解决上述问题中的一个或几个。根据本技术的一个方面，提供了一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体、液位计、第一连接臂和第二连接臂，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第一连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体与第二连接臂相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体设有空腔，所述液位计设有液位腔，所述空腔的底部与第一连接臂相连通，所述第一连接臂与第二连接臂相连接并相连通，所述第二连接臂与液位腔的底部相连通。本技术的有益效果是：本技术中，氮化铝陶瓷蒸发皿体具有相对的化学稳定性，其用于承载金属浆料，在蒸镀不易与金属浆料反应，也不易粘着金属浆料，能有效减少浆料的粘壁和爬壁现象，减少对金属浆料的污染。本技术还通过设置与氮化铝陶瓷蒸发皿体相连通的液位计，则其能利用一部分金属浆料来对应出当前氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位高度，方便用户对蒸镀时氮化铝陶瓷蒸发皿体的液位变化进行观察。在一些实施方式中，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体包括杯体、杯口和杯底，所述杯体的顶部与杯口相连接，所述杯体的底部与杯底相连接，所述杯底的内径为57～59mm，杯底的外径为59～61mm，所述杯口的外径为62～64mm，所述杯口的内径为60～62mm。氮化铝陶瓷蒸发皿体的各个部件限制在上述范围内，其制作成本和用于蒸镀的加工效率的性价比高。在一些实施方式中，所述杯底和杯体的连接处设有圆角，所述圆角的半径为5～7mm。圆角的设置能防止其连接处锐边的产生，提高安全性。在一些实施方式中，所述液位计包括壳体和浮球，所述液位腔设于壳体内，所述浮球位于液位腔内，所述壳体与第二连接臂相连接。由此，浮球能随着液位腔能的液位上升和下降，以更直观地表示出当前液位。在一些实施方式中，所述壳体上设有刻度。刻度的设置能便于用户更直观地了解液位的高度。在一些实施方式中，所述液位计包括安装块，所述安装块固定安装在壳体上。安装块的设置能便于液位计的固定，以减少加工时液位计发生的震动。在一些实施方式中，所述第一连接臂设有第一法兰，所述第二连接臂设有第二法兰，所述第一法兰和第二法兰相连接。第一法兰和第二法兰的设置能便于第一连接臂和第二连接臂的拆卸，以便于对液位计的更换和清洗。在一些实施方式中，本技术还包括第三连接臂和第四连接臂，所述第三连接臂和第四连接臂相连接并相连通，所述第三连接臂与氮化铝陶瓷蒸发皿体相连接，所述第四连接臂与液位计相连接，所述第三连接臂与空腔相连通，所述第四连接臂与液位腔的相连通。由此，能提高液位计与氮化铝陶瓷蒸发皿体的连接强度，避免其仅依靠第一连接臂和第二连接臂相连，而导致其受力过度集中，造成第一连接臂和第二连接臂的断裂。在一些实施方式中，所述第三连接臂设有第三法兰，所述第四连接臂设有第四法兰，所述第三法兰和第四法兰相连接。第三法兰和第四法兰的设置能便于第三连接臂和第四连接臂的拆卸，以便于对液位计的更换和清洗。附图说明图1为本技术的一种方式的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿的结构示意图的正视图图2为图1的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿的结构示意图的正视图的剖视图。图3图1的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿的结构示意图的正视图的剖视图的标注图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明。参考图1、图2和图3，本实施例中的一种氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体1、液位计2、第一连接臂3、第二连接臂4、第三连接臂5和第四连接臂6。氮化铝陶瓷蒸发皿体1其是由以氮化铝为主晶相的陶瓷所制作的，氮化铝陶瓷蒸发皿体1呈杯型。氮化铝陶瓷蒸发皿体1包括杯体11、杯口12和杯底13，杯体11的顶部与杯口12一体成型式连接，杯体11的底部与杯底13一体成型式连接，而由于氮化铝陶瓷蒸发皿体1呈杯状，则杯口12和杯底13的横截面均为圆形，而杯底13的内径在57mm到59mm之间，杯底13的外径在59mm到61mm之间，杯口12的外径在62mm到64mm之间，杯口12的内径在60mm到62mm之间，本实施例中，杯底13的内径A优选为58mm，杯底13的外径B优选为60mm，杯口12的外径D优选为63mm，杯口12的内径C优选为61mm。另外，杯底13和杯体11的连接处设有圆角14，圆角14的半径在5mm到7mm之间，本实施例中，圆角14的半径R优选为6mm。氮化铝陶瓷蒸发皿体1内设有空腔10，第一连接臂3的一端与氮化铝陶瓷蒸发皿体1通过焊接相连接，第一连接臂3的另一端上设有第一法兰31，且第一连接臂3与空腔10的底部相连通。液位计2包括壳体21、浮球22和安装块23。壳体21的表面上还设有刻度，壳体21内设有液位腔20，浮球22位于液位腔20内，壳体21与第二连接臂4的一端通过焊接相连接，而第二连接臂4的另一端上设有第二法兰41，且第二连接臂4与液位腔20的底部相连通。而安装块23通过螺栓固定安装在壳体21上。第一法兰31和第二法兰41通过螺栓固定连接，即第一连接臂3和第二连接臂4固定连接，且第一连接臂3和第二连接臂4之间相连通。第三连接臂5的一端与氮化铝陶瓷蒸发皿体1通过焊接相连接，第三连接臂5的另一端上设有第三法兰51，且第三连接臂5与空腔10相连通。第四连接臂6的一端与液位计2的壳体21通过焊接，第四连接臂6的另一端上设有第四法兰61，且第四连接臂6也液位腔20相连通。第三法兰61和第四法兰61通过螺栓相连接，即第三连接臂5和第四连接臂6固定连接，且第三连接臂5和第四连接臂6之间相连通。本技术使用时，用户可以通过将安装块23通过螺栓固定于机架等结构上，以实现对液位计2的固定。而氮化铝陶瓷蒸发皿体1内的空腔10可以装载用于蒸镀的金属浆料，则金属浆料一部分会流到液位计2的液位腔20中，直到液位腔20的液位和空腔10的液位平齐，且在加工过程中，液位计2的液位高度能随氮化铝陶瓷蒸发皿体1的液位高度发生改变，则用户能通过浮球22于壳体21上所对应的刻度，即可获得当前氮化铝陶瓷蒸发皿体1的液位高度。以上所述的仅是本技术的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)、液位计(2)、第一连接臂(3)和第二连接臂(4)，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)与第一连接臂(3)相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)与第二连接臂(4)相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)设有空腔(10)，所述液位计(2)设有液位腔(20)，所述空腔(10)的底部与第一连接臂(3)相连通，所述第一连接臂(3)与第二连接臂(4)相连接并相连通，所述第二连接臂(4)与液位腔(20)的底部相连通。/n

【技术特征摘要】
1.氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，包括氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)、液位计(2)、第一连接臂(3)和第二连接臂(4)，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)呈杯型，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)与第一连接臂(3)相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)与第二连接臂(4)相连接，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)设有空腔(10)，所述液位计(2)设有液位腔(20)，所述空腔(10)的底部与第一连接臂(3)相连通，所述第一连接臂(3)与第二连接臂(4)相连接并相连通，所述第二连接臂(4)与液位腔(20)的底部相连通。


2.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述氮化铝陶瓷蒸发皿体(1)包括杯体(11)、杯口(12)和杯底(13)，所述杯体(11)的顶部与杯口(12)相连接，所述杯体(11)的底部与杯底(13)相连接，所述杯底(13)的内径为57～59mm，杯底(13)的外径为59～61mm，所述杯口(12)的外径为62～64mm，所述杯口(12)的内径为60～62mm。


3.根据权利要求2所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述杯底(13)和杯体(11)的连接处设有圆角(14)，所述圆角(14)的半径为5～7mm。


4.根据权利要求1所述的氮化铝陶瓷蒸镀蒸发皿，其特征在于，所述液位计(2)包括壳体(21)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡鑫，孙伟，朱立志，王秀秀，陈家淦，
申请(专利权)人：无锡海古德新技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32