【技术实现步骤摘要】
一种金属锂蒸镀方法
本专利技术涉及锂蒸镀
,尤其涉及一种金属锂蒸镀方法。
技术介绍
OLED是有多种功能层堆叠组成的发光器件,目前OLED的主要制作工艺可以分为打印工艺和蒸镀工艺,就目前市场上小尺寸的量产来说,蒸镀工艺更加成熟,而打印工艺为保证OLED器件的器件性能,往往在发光层后还需蒸镀ETL和EIL层。常用的白光器件中的电荷连接层以及EIL层都需要用到金属锂,一般金属锂在200-300℃即可熔化为液态,然而,由于其化学性质非常活泼,在空气中很容易被氧化或氮化,所以金属锂在填料过程中,极易在锂条的表面形成一层氧化或氮化过的锂化合物,而氧化后或氮化后的锂蒸发温度会升高到约450℃,升温时间也要延长到7-8个小时(需要450℃持续加热7-8个小时才能冲破锂化合物层),对工艺生产来说很耗费时间。
技术实现思路
基于
技术介绍
存在的技术问题,本专利技术提出了一种金属锂蒸镀方法,本专利技术解决了金属锂在填料和真空置换过程中由于锂表面氧化或氮化,而导致蒸镀过程久,耗时的问题。本专利技术提出了一种金属锂蒸镀方法,包括如下步骤:在锂条的一面压入至少一个塞子,然后进行蒸镀,其中,塞子的熔点>锂的熔点,塞子的密度>锂的密度。优选地,塞子与锂不发生化学反应。上述“塞子与锂不发生化学反应”是指塞子的化学成分与锂不发生化学反应。优选地,塞子的熔点>锂的蒸镀温度。上述蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程,其对应的温度为蒸镀温度。优选 ...
【技术保护点】
1.一种金属锂蒸镀方法,其特征在于,包括如下步骤:在锂条的一面压入至少一个塞子,然后进行蒸镀,其中,塞子的熔点>锂的熔点,塞子的密度>锂的密度。/n
【技术特征摘要】
1.一种金属锂蒸镀方法,其特征在于,包括如下步骤:在锂条的一面压入至少一个塞子,然后进行蒸镀,其中,塞子的熔点>锂的熔点,塞子的密度>锂的密度。
2.根据权利要求1所述金属锂蒸镀方法,其特征在于,塞子与锂不发生化学反应。
3.根据权利要求1或2所述金属锂蒸镀方法,其特征在于,塞子的熔点>锂的蒸镀温度。
4.根据权利要求1-3任一项...
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