防塌边复合式抛光衬垫制造技术

一种防塌边复合式抛光衬垫，包括：机床安装件、缓冲垫、第一安装件、硬质支撑件、第二安装件及抛光件，所述机床安装件用于与机床连接，所述缓冲垫通过所述机床安装件与机床可拆卸连接，所述第一安装件与所述缓冲垫连接，所述硬质支撑件通过所述第一安装件与所述缓冲垫可拆卸连接，所述第二安装件与所述硬质支撑件连接，所述抛光件通过所述第二安装件与所述硬质支撑件可拆卸连接。如此，通过设置所述硬质支撑件，能够大大提高防塌边复合式抛光衬垫的结构强度，能够防止塌边且不易损坏，还能够与抛光对象更加紧密接触从而起到良好抛光效果，另外，通过各个部件的可拆卸连接，使得所述防塌边复合式抛光衬垫更加容易安装及更换，使用更加便捷。

Anti sloughing compound polishing pad

【技术实现步骤摘要】
防塌边复合式抛光衬垫
本技术涉及化学机械抛光领域，特别是涉及一种防塌边复合式抛光衬垫。
技术介绍
在半导体工艺流程中，化学机械抛光是非常重要的一道工序，它是通过采用化学与机械综合作用将半导体硅片上多余的材料进行去除，并使半导体硅片获得平坦表面的工艺过程。通常是在抛光头的夹持下将硅晶圆压于一高速旋转的抛光垫上，并在包抛光液的作用下通过抛光垫与硅晶圆的相互摩擦达到平坦化的目的。然而，现有的抛光垫由于材质较为柔软，抛光垫容易在使用一段时间后，容易发生塌边，使得抛光垫的受力不均，局部应力有差异，从而无法与硅晶圆进行充分接触，进而无法起到良好的抛光效果；另外也容易损坏，需要经常更换，不仅影响了效率也增大了成本；同时安装和更换难度也较大。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种能够防止塌边且不易损坏，还能够与抛光对象更加紧密接触从而起到良好抛光效果，且更加易于安装及更换的防塌边复合式抛光衬垫。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种防塌边复合式抛光衬垫，包括：机床安装件，所述机床安装件用于与机床连接；缓冲垫，所述缓冲垫通过所述机床安装件与机床可拆卸连接；第一安装件，所述第一安装件与所述缓冲垫连接；硬质支撑件，所述硬质支撑件通过所述第一安装件与所述缓冲垫可拆卸连接；第二安装件，所述第二安装件与所述硬质支撑件连接；抛光件，所述抛光件通过所述第二安装件与所述硬质支撑件可拆卸连接。在其中一个实施例中，所述机床安装件为可撕粘接层、魔术贴或卡扣结构；所述第一安装件为可撕粘接层、魔术贴或卡扣结构；所述第二安装件为可撕粘胶层、魔术贴或卡扣结构。在其中一个实施例中，所述第二安装件为魔术贴，所述魔术贴包括纤毛层及勾毛层，所述纤毛层设置在所述硬质支撑件上，所述勾毛层设置于所述抛光件上，用于使得所述抛光件与所述硬质支撑件可拆卸连接。在其中一个实施例中，所述缓冲垫及所述硬质支撑片均为圆片或方片结构。在其中一个实施例中，所述硬质支撑件的厚度为1.5mm～2.5mm。在其中一个实施例中，所述硬质支撑件为硬质钢板。在其中一个实施例中，所述机床安装件用于与机床的转盘连接。在其中一个实施例中，所述缓冲垫为发泡棉缓冲垫。在其中一个实施例中，所述抛光件为抛光磨砂纸。在其中一个实施例中，所述缓冲垫的厚度大于所述硬质支撑件的厚度。上述防塌边复合式抛光衬垫，包括：机床安装件、缓冲垫、第一安装件、硬质支撑件、第二安装件及抛光件，所述机床安装件用于与机床连接，所述缓冲垫通过所述机床安装件与机床可拆卸连接，所述第一安装件与所述缓冲垫连接，所述硬质支撑件通过所述第一安装件与所述缓冲垫可拆卸连接，所述第二安装件与所述硬质支撑件连接，所述抛光件通过所述第二安装件与所述硬质支撑件可拆卸连接。如此，通过设置所述硬质支撑件，能够大大提高防塌边复合式抛光衬垫的结构强度，能够防止塌边且不易损坏，还能够与抛光对象更加紧密接触从而起到良好抛光效果，另外，通过各个部件的可拆卸连接，使得所述防塌边复合式抛光衬垫更加容易安装及更换，使用更加便捷。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术一实施例的防塌边复合式抛光衬垫的结构示意图；图2为图1所示的防塌边复合式抛光衬垫的剖视结构示意图。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施方式。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本技术的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。为了更好地对上述防塌边复合式抛光衬垫进行说明，以更好地理解上述防塌边复合式抛光衬垫的构思。请一并参阅图1及图2，一实施方式中，一种防塌边复合式抛光衬垫10，包括：机床安装件100、缓冲垫200、第一安装件300、硬质支撑件400、第二安装件500及抛光件600，所述机床安装件100用于与机床连接，所述缓冲垫200通过所述机床安装件100与机床可拆卸连接，所述第一安装件300与所述缓冲垫200连接，所述硬质支撑件400通过所述第一安装件300与所述缓冲垫200可拆卸连接，所述第二安装件500与所述硬质支撑件400连接，所述抛光件600通过所述第二安装件500与所述硬质支撑件400可拆卸连接。可以理解，抛光衬垫在抛光过程中，需要不断跟抛光对象例如光学镜片或金属基片等进行接触，然而如果抛光衬垫过硬，容易将抛光对象刮花，然而抛光衬垫过软又容易塌边或者损坏，导致局部应力不匀均，从而无法与抛光对象进行紧密接触，进而无法起到良好的抛光效果。如此，通过设置所述缓冲垫200，能够使得所述防塌边复合式抛光衬垫10的缓冲减压性能更好，避免所述防塌边复合式抛光衬垫10对抛光对象进行磨损。例如，在其中一个实施例中，所述缓冲垫为发泡棉缓冲垫，再如，在其中一个实施例中，所述缓冲垫的厚度大于所述硬质支撑件的厚度。如此，通过设置发泡棉缓冲垫能够起到良好的缓冲减压效果，使得所述防塌边复合式抛光衬垫10在抛光过程中不易损坏抛光对象。另外，通过设置所述硬质支撑件400，能够提高所述防塌边复合式抛光衬垫10的结构强度，防止产生塌边或翻边问题，且不容易磨损，能够使得所述防塌边复合式抛光衬垫10起到良好的抛光效果，延长使用寿命。尤其需要说明的是，所述缓冲垫200通过所述机床安装件100与机床可拆卸连接，所述硬质支撑件400通过所述第一安装件300与所述缓冲垫200可拆卸连接，所述抛光件600通过所述第二安装件500与所述硬质支撑件400可拆卸连接。如此，能够使得所述防塌边复合式抛光衬垫10根据不同的抛光对象采用不同的层级结构组合，例如，需要磨损硬度较大的抛光对象时，可将所述缓冲垫200进行拆除，或者，如有其中一个部件损坏后可直接局部拆卸后进行替换，而无需将整个所述防塌边复合式抛光衬垫10进行拆除或者废弃本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防塌边复合式抛光衬垫，其特征在于，包括：/n机床安装件，所述机床安装件用于与机床连接；/n缓冲垫，所述缓冲垫通过所述机床安装件与机床可拆卸连接；/n第一安装件，所述第一安装件与所述缓冲垫连接；/n硬质支撑件，所述硬质支撑件通过所述第一安装件与所述缓冲垫可拆卸连接；/n第二安装件，所述第二安装件与所述硬质支撑件连接；/n抛光件，所述抛光件通过所述第二安装件与所述硬质支撑件可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种防塌边复合式抛光衬垫，其特征在于，包括：
机床安装件，所述机床安装件用于与机床连接；
缓冲垫，所述缓冲垫通过所述机床安装件与机床可拆卸连接；
第一安装件，所述第一安装件与所述缓冲垫连接；
硬质支撑件，所述硬质支撑件通过所述第一安装件与所述缓冲垫可拆卸连接；
第二安装件，所述第二安装件与所述硬质支撑件连接；
抛光件，所述抛光件通过所述第二安装件与所述硬质支撑件可拆卸连接。


2.根据权利要求1所述的防塌边复合式抛光衬垫，其特征在于，
所述机床安装件为可撕粘接层、魔术贴或卡扣结构；
所述第一安装件为可撕粘接层、魔术贴或卡扣结构；
所述第二安装件为可撕粘胶层、魔术贴或卡扣结构。


3.根据权利要求1所述的防塌边复合式抛光衬垫，其特征在于，所述第二安装件为魔术贴，所述魔术贴包括纤毛层及勾毛层，所述纤毛层设置在所述硬质支撑件上，所述勾毛层设置于所述抛光件上，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张孝洲，凌建军，江宇发，
申请(专利权)人：惠州阿瑞斯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44