一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，包括第一储存罐、第二储存罐和控制器，第一储存罐通过若干过滤装置连通第二储存罐，第一储存罐的出液口通过管道连接供给泵，该装置通过压力检知器和供给泵电性连接，通过压力检知器检测过滤器前端管道的压力并传输至控制器，当压力超过设定值时，控制器控制供给泵停止工作，减轻管道内压力，保护过滤装置；过滤装置与主管道连接端的压力安全阀在管道压力超高时通过泄压管降压；过滤器由于分级过滤，后端过滤直径减小，单个过滤器不能满足过滤效率，采用双组并联过滤结构，前端过滤器分接两组过滤器，提高过滤装置的过滤效率。

A pressure protection device for photoresist circulation filtration

【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置
本技术涉及光刻胶生产设备
，具体为一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用；光刻胶又称为光致抗蚀剂，是由树脂、增光剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。光刻胶生产过程中，为保证产品的清洁度，产品调整过后，将进行循环过滤，控制产品中的粒子数，但由于是供给泵加压过滤，压力控制不稳定，容易导致过滤器的损坏。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，包括第一储存罐、第二储存罐和控制器，第一储存罐通过若干过滤装置连通第二储存罐，第一储存罐的出液口通过管道连接供给泵，供给泵将过滤液加压输送至主管道并分散给若干过滤装置，过滤装置为若干组过滤器连接并分级多虑，所述每个过滤装置通过管道与主管道连接端设有压力安全阀，压力安全阀设有泄压口，泄压口通过泄压管连接，主管道内压力大于压力安全阀的设定值时，压力安全阀动作将主管道内的液体排入泄压管中，所述每个过滤器的进液管道处安装有压力检知器，所述供给泵和压力检知器与控制器电性连接。优选的，所述过滤器上端设有排气阀，排气阀与过滤器的内腔连接，排气阀的外端连接排气管。优选的，所述过滤器的下端设有泄压阀，泄压阀与泄压管连通。优选的，所述泄压阀的设定值大于压力安全阀的设定值。优选的，所述过滤器的过滤直径逐渐减小，过滤直径较小的过滤器采用并联连接结构，过滤装置的前一组过滤器分接两组过滤器。优选的，所述控制器设有报警器，报警器与控制器电性连接，控制器通过压力检知器检测压力并通过报警器警示。优选的，所述压力安全阀的泄压管相互汇集并与第一储存罐，将泄压的过滤液重新输送至第一储存罐中。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该装置通过压力检知器和供给泵电性连接，通过压力检知器检测过滤器前端管道的压力并传输至控制器，当压力超过设定值时，控制器控制供给泵停止工作，减轻管道内压力，保护过滤装置；过滤装置与主管道连接端的压力安全阀在管道压力超高时通过泄压管降压；过滤器由于分级过滤，后端过滤直径减小，单个过滤器不能满足过滤效率，采用双组并联过滤结构，前端过滤器分接两组过滤器，提高过滤装置的过滤效率。附图说明图1为本技术的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1所示，一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，包括第一储存罐1、第二储存罐2和控制器13，第一储存罐1通过若干过滤装置4连通第二储存罐2，第一储存罐1的出液口通过管道连接供给泵5，供给泵5将过滤液加压输送至主管道6并分散给若干过滤装置4，过滤装置4为若干组过滤器7连接并分级多虑，所述每个过滤装置4通过管道与主管道6连接端设有压力安全阀8，压力安全阀8设有泄压口9，泄压口9通过泄压管10连接，主管道6内压力大于压力安全阀8的设定值时，压力安全阀8动作将主管道6内的液体排入泄压管10中，所述每个过滤器7的进液管道处安装有压力检知器3，所述供给泵5和压力检知器3与控制器13电性连接；具体的，第一储存罐1通过供给泵5将液体输送至过滤装置4，过滤装置4逐级过滤进入第二储存罐2中，通过控制器13连接压力检知器3和供给泵5控制，并通过压力检知器3检测每个过滤器7进液端压力。本实施例中，所述过滤器7上端设有排气阀11，排气阀11与过滤器7的内腔连接，排气阀11的外端连接排气管。本实施例中，所述过滤器7的下端设有泄压阀12，泄压阀12与泄压管10连通，防止过滤器7之间分压较大，容易损坏过滤器7。本实施例中，所述泄压阀12的设定值大于压力安全阀8的设定值。本实施例中，所述过滤器7的过滤直径逐渐减小，过滤直径较小的过滤器7采用并联连接结构，过滤装置4的前一组过滤器7分接两组过滤器7，提高过滤效率。本实施例中，所述控制器13设有报警器，报警器与控制器13电性连接，控制器13通过压力检知器3检测压力并通过报警器警示。本实施例中，所述压力安全阀8的泄压管10相互汇集并与第一储存罐1，将泄压的过滤液重新输送至第一储存罐1中。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，包括第一储存罐、第二储存罐和控制器，其特征在于：第一储存罐通过若干过滤装置连通第二储存罐，第一储存罐的出液口通过管道连接供给泵，供给泵将过滤液加压输送至主管道并分散给若干过滤装置，过滤装置为若干组过滤器连接并分级多虑，所述每个过滤装置通过管道与主管道连接端设有压力安全阀，压力安全阀设有泄压口，泄压口通过泄压管连接，主管道内压力大于压力安全阀的设定值时，压力安全阀动作将主管道内的液体排入泄压管中，所述每个过滤器的进液管道处安装有压力检知器，所述供给泵和压力检知器与控制器电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，包括第一储存罐、第二储存罐和控制器，其特征在于：第一储存罐通过若干过滤装置连通第二储存罐，第一储存罐的出液口通过管道连接供给泵，供给泵将过滤液加压输送至主管道并分散给若干过滤装置，过滤装置为若干组过滤器连接并分级多虑，所述每个过滤装置通过管道与主管道连接端设有压力安全阀，压力安全阀设有泄压口，泄压口通过泄压管连接，主管道内压力大于压力安全阀的设定值时，压力安全阀动作将主管道内的液体排入泄压管中，所述每个过滤器的进液管道处安装有压力检知器，所述供给泵和压力检知器与控制器电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装置，其特征在于：所述过滤器上端设有排气阀，排气阀与过滤器的内腔连接，排气阀的外端连接排气管。


3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶循环过滤的压力保护装...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈武档，周国波，赖艺珠，梁荣增，宋里千，
申请(专利权)人：福建泓光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35