【技术实现步骤摘要】
工艺气体低压报警装置
本专利技术属于一种玻璃镀膜的辅助设备，尤其是一种工艺气体低压报警装置。
技术介绍
工艺气体是镀膜玻璃生产工艺中最重要的控制对象之一。在磁控溅射镀膜的工艺原理中，靶材下方的高密度等离子体是膜层沉积的重要条件。高密度等离子体浓度的大小，即溅射电流的大小，与工艺气体流量有着密切的关系，随着工艺气体流量的增加，阴极电压降低，在恒功率的前提下阴极电流会上升，所以溅射速率会增大。为了保证镀膜工作的正常进行，就要保证流量的正常。而流量能正常调节的前提就是三种气体的气压要充足，当气压低于2个大气压是气体流量就无法正常调节了，进而影响了镀膜的溅射速率造成镀膜玻璃的不合格，既浪费靶材又损失玻璃原片，大大影响了企业的效益。在工作气体的压力检测上，镀膜设备上只是监控气体压力却没有低压报警系统，这样会要求造作人员必须经常去工作气体高压气瓶那里观察气体压力是否正常，一旦观察不及时就会造成气体压力过低影响镀膜玻璃的合格与否，这样既费时费力又不能完全避免工作气体压力过低对镀膜生产的影响。
技术实现思路
本专利技术的...
【技术保护点】
1.一种工艺气体低压报警装置，安装在镀膜机的气瓶上，其特征在于，包括报警灯、数显压力开关及连接电线，所述数显压力开关上设置有高压气管，所述高压气管与气瓶相连，所述数显压力开关具有两个常开路输出端与常闭路输出端，所述连接电线的一端连接数显压力开关的24V和常开输出端，另一端连接报警灯的24V和报警信号线；/n所述数显压力开关包括压力传感器、壳体、转换电路板、功能按键、显示屏、表头和信号接口，所述压力传感器固定在壳体的下端，并通过导线与转换电路板连接，转换电路板固定在壳体的圆形区域内部，转换电路板分别与功能按键和显示屏相连接，表头固定在壳体的圆形区域，信号接口固定在壳体的上端，...
【技术特征摘要】
1.一种工艺气体低压报警装置，安装在镀膜机的气瓶上，其特征在于，包括报警灯、数显压力开关及连接电线，所述数显压力开关上设置有高压气管，所述高压气管与气瓶相连，所述数显压力开关具有两个常开路输出端与常闭路输出端，所述连接电线的一端连接数显压力开关的24V和常开输出端，另一端连接报警灯的24V和报警信号线；
所述数显压力开关包括压力传感器、壳体、转换电路板、功能按键、显示屏、表头和信号接口，所述压力传感器固定在壳体的下端，并通过导线与转换电路板连接，转换电路板固定在壳体的圆形区域内部，转换电路板分别与功能按键和显示屏相连接，表头固定在壳体的圆形区域，信号接口固定在壳体的上端，并通过导线与转换电路板相连接，上述连接均为电连接。
2.根据权利要求1所述的工艺气体低压报警装置，其特征在于，所述数显压力开关及报警灯为3个，分别...
【专利技术属性】
技术研发人员：张冬，
申请(专利权)人：徐州科恒奥制冷设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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