本发明公开了一种非离子型含氟的表面活性剂的制备方法及其应用，制备方法包括：S100：将非氟成分料与水混合，然后以500r/min‑800r/min的速度搅拌15min‑40min，得到第一混合料；S200：向第一混合料中以5mL/min...

本申请属于光刻胶技术领域，具体涉及一种丙烯酸酯光刻胶成膜树脂和ArF光刻胶及其制备方法与应用。所述丙烯酸酯光刻胶成膜树脂具有式(1)所示的结构。本发明的关键在于将N‑取代马来酰亚胺、含酸敏基团的丙烯酸酯以及具有桥接结构的多环烯烃进行自由...

本发明涉及了硬掩模材料的技术领域，具体提供了一种硬掩模组合物及形成图案的方法，硬掩模组合物是化合物I和化合物I I交联制备得到的，制备的硬掩模组合物形成的薄膜具有较高耐蚀刻性，其中，N2/O2混合气体环境下的主体蚀刻速率能控制在23埃/...

本发明属于半导体元件涂层的技术领域，公开了一种感光性树脂组合物及其制备方法和固化膜及其应用。所述感光性树脂组合物包括结构如式(1)所示的酚醛树脂、光产酸剂以及交联剂。该感光性树脂组合物可在较低温度下完全固化，并且所得固化膜具有良好的弹性...

本发明属于半导体元件涂层的技术领域，公开了一种酚醛树脂组合物及其制备方法和应用以及以及固化浮雕图案的制备方法。其中，酚醛树脂组合物包括酚醛树脂A、酚醛树脂B、光产酸剂、交联剂以及溶剂，该酚醛树脂组合物可在250℃以下的温度下固化得到固化...

本发明属于光刻胶领域，涉及一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法和微电子结构的形成方法。所述底部抗反射涂层组合物中含有改性刚性有机笼状化合物和乙烯基醚类化合物以及有机溶剂，所述改性刚性有机笼状化合物为将刚性有机笼状化合物中的部分酚羟基修饰...

本发明属于光刻胶领域，涉及一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法和微电子结构的形成方法。所述底部抗反射涂层组合物中含有改性刚性有机笼状化合物Ⅰ和Ⅱ以及有机溶剂；所述改性刚性有机笼状化合物Ⅰ和Ⅱ分别为将刚性有机笼状化合物中的部分酚羟基修饰转...

本发明属于光刻技术领域，公开了一种梯形结构的顶部抗反射涂层聚合物和顶部抗反射涂层组合物及其制备方法。本发明提供的梯形结构顶部抗反射涂层聚合结构式如式(1)所示，其中，R1和R2各自独立地为C1‑

本实用新型提供一种全自动光刻胶灌装装置，包括架体、灌胶盒、灌胶口、胶桶、导胶盒、第一动力室及第二动力室，所述架体上端固定设有灌胶盒，灌胶盒下端固定设有导胶盒，灌胶盒前端设有灌胶口，灌胶盒后端设有第一动力室，第一动力室上端设有第二动力室，...

本实用新型提供一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置，包括控制盒、水箱、电机盒、连接装置、连接块、刷子及喷水装置，所述控制盒底部设有把手，控制盒外侧设有控制按钮，控制盒内部安装水箱，水箱上端设有四个水管，水管另一端与连接装置内部连接，控制盒上...

本实用新型提供一种光刻胶自动贴标装置，输送装置、胶桶、第一喷胶装置、第二喷胶装置、压轮及切割装置，所述输送装置用于对需要贴标的装有光刻胶的容器进行运输以及控制装有光刻胶的容器旋转，胶桶用于给第一喷胶装置及第二喷胶装置输送胶水，压轮用于将...

本实用新型提供一种光刻胶生产用管道仪表阀门，包括阀体、阀杆、阀芯、上端盖和下端盖，所述阀体上下两端分别固定安装有上端盖和下端盖，上端盖和下端盖相对安装在阀体上下两端的通孔内并密封连接，旋柄带动阀杆的转动并通过内螺纹区旋转升降阀杆，从而控...

本实用新型提供一种用于光刻胶生产的自动进料设备，包括进料箱、输料管、下料箱、送料管，进料箱用于将物料送往刚输料管内，输料管将物料送往下料箱内部，所述送料管两端分别与进料箱与下料箱连接用于输送物料，底座安装在进料箱下端，该装置既能够有效的...

本实用新型提供一种用于光刻胶生产的混合设备，包括罐体以及安装在罐体上的搅拌装置，罐体为柱状密封结构且罐体上下两端为弧形状，罐体下端分布有用于支撑的支脚，罐体侧端安装有显示操作的控制器，原液通过加液管道输送至罐体上端的加液管口进入内腔并通...

本实用新型提供一种用于光刻胶生产的循环过滤装置，包括第一储存罐、过滤器和第二储存罐，所述第一储存罐与第二储存罐之间通过管道连接有过滤器，所述过滤器包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器且依次串联连接，过滤器通过多组串联分级过滤，依据滤膜...

本实用新型提供一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，包括风机、冷却箱、水箱、第二水箱、除尘室、导管、过滤室、杀菌室及熏香室，所述风机安装在风管上，风管外侧环绕有冷却管，冷却管内部穿过冷却箱内部，冷却管两端均安装在水箱内，风管一端与除尘室内部...

本实用新型提供一种光刻胶高端精细过滤装置，包括外壳和密封盖，所述外壳顶端布置有密封盖，所述密封盖内部固定连接有一号隔板，所述一号隔板一侧布置有进料腔，所述一号隔板另一侧布置有出料腔，所述外壳内部布置有过滤网框，所述过滤网框内腔固定连接有...

本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接，该装置通过定时通过增加对缓存腔液体的输送使上端悬浮的...

本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的供应装置，包括光阻瓶、缓存罐和喷嘴，光阻瓶通过第一输液管与缓存罐连通，光阻瓶通过内置光阻袋与第一输液管连接，通过氮气进入内腔挤压光阻袋输送，避免了光阻液与气体接触，防止光阻液凝固和产生气泡，光阻袋代替...

本实用新型提供一种光刻胶匀胶显影机的冷却保温装置，包括安装在涂胶腔室内的吸盘和冷板，吸盘固定安装在转轴上，所述冷板可调节安装在吸盘的下端且对应转轴设有转轴穿透的圆孔，冷板通过托架可调节升降的安装在吸盘的下端，冷板和托架内均有转轴穿过的孔...