滚筒式磁控溅射镀膜机制造技术

本发明专利技术涉及一种滚筒式磁控溅射镀膜机，通过设置在滚筒座上的导电滚轮与溅射滚筒的外侧壁面接触导电的方式，对溅射内腔中的待镀工件施加偏压，导电滚轮可适应于溅射滚筒的转动过程中的电传导，磁控溅射工艺过程中的高温真空环境不会对导电滚轮产生不利影响，且导电滚轮不会污染真空镀膜环境。进一步地，导电滚轮起到导电作用的同时还起到支撑溅射滚筒的作用，承担溅射滚筒及其中的待镀工件的重量，驱动装置仅需进行传动而不承担压力，可减轻驱动装置的负担，达到溅射滚筒平稳转动的效果。

Drum magnetron sputtering coater

【技术实现步骤摘要】
滚筒式磁控溅射镀膜机
本专利技术涉及磁控溅射设备
，特别是涉及一种滚筒式磁控溅射镀膜机。
技术介绍
相比电镀、喷涂等工艺，磁控溅射真空镀膜具有膜基结合力好、膜层光滑致密、沉积速率快、膜层元素和结构易于控制、工艺过程清洁环保等优点，是目前用于高档装饰性镀膜的主流技术。磁控溅射技术要求装载待镀物的转架或立柱具有导电能力，即设备需具备可在待镀物上施加偏压的功能。现有磁控溅射技术中，转架的导电装置通常采用石墨电刷，石墨电刷与转架相连即可对待镀物施加偏压。然而，镀膜时的溅射物会在石墨电刷上沉积，加之工艺过程中的高温真空环境，会降低石墨电刷的使用寿命。另外，石墨电刷上的石墨等粉尘若保护不当也会污染真空镀膜环境，影响膜层质量。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种滚筒式磁控溅射镀膜机，以解决传统导电装置采用石墨电刷存在的高温真空环境会降低石墨电刷使用寿命、石墨电刷上的石墨等粉尘可能污染真空镀膜环境的问题。一种滚筒式磁控溅射镀膜机，包括溅射滚筒、滚筒座以及驱动装置；所述溅射滚筒具有用于进行磁控溅射的溅射内腔，所述溅射滚筒设置在所述滚筒座上并与所述驱动装置连接以由所述驱动装置驱动转动，所述滚筒座上设置有导电滚轮，所述导电滚轮的轮面抵接于所述溅射滚筒的外侧壁上，所述导电滚轮的径向与所述溅射滚筒的轴向垂直，所述导电滚轮用于传输电流至所述溅射滚筒上以对所述溅射内腔中的待镀工件施加偏压。在其中一个实施例中，所述导电滚轮包括多个第一导电滚轮，所述溅射滚筒由多个所述第一导电滚轮共同支撑。在其中一个实施例中，所述滚筒座包括支架以及设置在所述支架上的第一支撑轴和第二支撑轴，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴相对设置，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴均与所述溅射滚筒的轴向平行，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴上均设置有多个所述第一导电滚轮。在其中一个实施例中，所述溅射滚筒的外侧壁设置有多条限位轨道，多条所述限位轨道沿所述溅射滚筒的周向环绕在所述溅射滚筒上，所述第一导电滚轮与所述限位轨道滚动配合。在其中一个实施例中，所述溅射滚筒的外侧壁设置有齿环，所述齿环沿所述溅射滚筒的周向环绕在所述溅射滚筒上，所述驱动装置包括电机以及由所述电机驱动转动的齿轮，所述齿轮和所述齿环传动配合。在其中一个实施例中，所述导电滚轮还包括第二导电滚轮，所述滚筒座上设置有杠杆和拉伸弹簧，所述杠杆可转动连接于所述滚筒座，所述杠杆的两端分别连接于所述第二导电滚轮和所述拉伸弹簧，在所述拉伸弹簧的拉力下，所述杠杆将所述第二导电滚轮的轮面压在所述溅射滚筒的外侧壁上。在其中一个实施例中，所述溅射滚筒包括内筒和外筒，所述外筒套设在所述内筒上，所述内筒能够移入或移出所述外筒，所述内筒具有所述溅射内腔。在其中一个实施例中，所述内筒和所述外筒通过直线形的限位槽和活动嵌设在所述限位槽中的限位凸条配合连接。在其中一个实施例中，所述内筒和所述外筒通过所述限位凸条和所述限位槽的内壁进行电流传导。在其中一个实施例中，所述内筒和所述外筒还通过导电线连接。在其中一个实施例中，所述溅射内腔的内壁设置有多个搅拌叶。在其中一个实施例中，所述搅拌叶为变截面式桨叶。在其中一个实施例中，所述滚筒式磁控溅射镀膜机还包括真空外壳，所述溅射滚筒和所述滚筒座均设置在所述真空外壳中。与现有方案相比，上述滚筒式磁控溅射镀膜机具有以下有益效果：上述滚筒式磁控溅射镀膜机，通过设置在滚筒座上的导电滚轮与溅射滚筒的外侧壁面接触导电的方式，对溅射内腔中的待镀工件施加偏压，导电滚轮可适应于溅射滚筒的转动过程中的电传导，磁控溅射工艺过程中的高温真空环境不会对导电滚轮产生不利影响，且导电滚轮不会污染真空镀膜环境。进一步地，导电滚轮起到导电作用的同时还起到支撑溅射滚筒的作用，承担溅射滚筒及其中的待镀工件的重量，驱动装置为非承重装置，仅需进行传动而不承担压力，可减轻驱动装置的负担，达到溅射滚筒平稳转动、延长驱动装置保养周期和使用寿命的效果。附图说明图1为一实施例的滚筒式磁控溅射镀膜机的结构示意图；图2为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机的另一视角的结构示意图；图3为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中溅射滚筒与驱动装置的连接结构示意图；图4为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中外筒的结构示意图；图5为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中溅射滚筒与滚筒座的连接结构示意图；图6为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中内筒的剖视图；图7为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中溅射滚筒与滚筒座的连接结构的另一视角的示意图；图8为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中绝缘座的结构示意图；图9为图1所示滚筒式磁控溅射镀膜机中镀膜靶源的结构示意图；图10为图9所示镀膜靶源的横截面示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请结合图1至图4，本专利技术一实施例的滚筒式磁控溅射镀膜机10包括溅射滚筒100、滚筒座200以及驱动装置300。溅射滚筒100具有用于进行磁控溅射的溅射内腔101。溅射滚筒100设置在滚筒座200上并与驱动装置300连接以由驱动装置300驱动转动。滚筒座200上设置有导电滚轮。导电滚轮的轮面抵接于溅射滚筒100的外侧壁上，导电滚轮的径向与溅射滚筒100的轴向垂直。工作时，溅射滚筒100和导电滚轮同步转动，导电滚轮为导体，用于传输电流至溅射滚筒100上以对溅射内腔101中的待镀工件施加偏压。在其中一个示例中，导电滚轮为铜滚轮或镀铜滚轮。如图2和图3所示，在其中一个示例中，溅射滚筒100为卧式滚筒，即溅射滚筒100的轴向水平设置。导电滚轮包括多个第一导电滚轮210，溅射滚筒100由设置在滚筒座200上的多个第一导电滚轮210共同支撑。在本示例中，多个第一导电滚轮210起到导电作用的同时还起到支撑溅射滚筒100的作用，共同承担溅射滚筒100及其中的待镀工件的重量，驱动装置300仅需进行传动而不承担压力，可减轻驱动装置300的负担，达到溅射滚筒100平稳转动的效果。如图1所示，镀膜靶源20可沿溅射滚筒100的轴向装入溅射内腔101中。独立的镀膜机靶源位于滚筒轴线，靶基距可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括溅射滚筒、滚筒座以及驱动装置；所述溅射滚筒具有用于进行磁控溅射的溅射内腔，所述溅射滚筒设置在所述滚筒座上并与所述驱动装置连接以由所述驱动装置驱动转动，所述滚筒座上设置有导电滚轮，所述导电滚轮的轮面抵接于所述溅射滚筒的外侧壁上，所述导电滚轮的径向与所述溅射滚筒的轴向垂直，所述导电滚轮用于传输电流至所述溅射滚筒上以对所述溅射内腔中的待镀工件施加偏压。/n

【技术特征摘要】
1.一种滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，包括溅射滚筒、滚筒座以及驱动装置；所述溅射滚筒具有用于进行磁控溅射的溅射内腔，所述溅射滚筒设置在所述滚筒座上并与所述驱动装置连接以由所述驱动装置驱动转动，所述滚筒座上设置有导电滚轮，所述导电滚轮的轮面抵接于所述溅射滚筒的外侧壁上，所述导电滚轮的径向与所述溅射滚筒的轴向垂直，所述导电滚轮用于传输电流至所述溅射滚筒上以对所述溅射内腔中的待镀工件施加偏压。


2.如权利要求1所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述导电滚轮包括多个第一导电滚轮，所述溅射滚筒由多个所述第一导电滚轮共同支撑。


3.如权利要求2所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述滚筒座包括支架以及设置在所述支架上的第一支撑轴和第二支撑轴，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴相对设置，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴均与所述溅射滚筒的轴向平行，所述第一支撑轴和所述第二支撑轴上均设置有多个所述第一导电滚轮。


4.如权利要求2所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述溅射滚筒的外侧壁设置有多条限位轨道，多条所述限位轨道沿所述溅射滚筒的周向环绕在所述溅射滚筒上，所述第一导电滚轮与所述限位轨道滚动配合。


5.如权利要求2～4任一项所述的滚筒式磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述导电滚轮还包括第二导电滚轮，所述滚筒座上设置有杠杆和拉伸弹簧，所述杠杆可转动连接于所述滚筒座，所述杠杆的两端分别连接于所述第二导电滚轮和所述拉伸弹簧，在所述拉伸弹簧的拉力下，所述杠杆将所述第二导电滚轮的轮面压在所述溅射滚筒的外侧壁上。


6.如权利要求1～4任一项所述的滚筒式磁控溅射镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永生，田梦军，董悦，薛涛，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44