【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构
本技术涉及一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构。
技术介绍
真空磁控溅射镀膜玻璃采用卧式真空磁控溅射镀膜设备进行镀膜，在连续生产过程中，平面阴极体处于真空环境中，在工艺气体电离后的撞击靶材在玻璃表面沉积形成单层金属膜。平面阴极体需要与盖板绝缘处理，当平面阴极体绝缘失效时，阴极体短路导致无法溅射靶材，从而无法形成膜层。盖板与平面阴极体之间连接有用于冷却平面阴极体的水管，由于水管并不绝缘，因此需要对此处进行绝缘处理，现有技术的绝缘结构拆卸难度大，可维护性差。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其结构简单、容易拆卸，便于真空磁控溅射设备的维护和保养。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，所述真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在所述盖板与所述平面阴极体之间的绝缘垫，所述盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却所述平面阴极体的进水管和出水管，所述进水管和出水管都套设...
【技术保护点】
1.一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，所述真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在所述盖板与所述平面阴极体之间的绝缘垫，所述盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却所述平面阴极体的进水管和出水管，其特征在于：所述进水管和出水管都套设有第一绝缘套，所述第一绝缘套包括连接在所述盖板上的第一保护套、以及连接在所述平面阴极体上的第二保护套，所述第一保护套和第二保护套都为管形且轴侧端部相抵触，所述真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构还包括第二绝缘套，所述进水管和出水管都设置在同一个所述第二绝缘套中，所述第二绝缘套包括至少两个弧形的绝缘片，这些所述绝缘片拼成一个环形。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，所述真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在所述盖板与所述平面阴极体之间的绝缘垫，所述盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却所述平面阴极体的进水管和出水管，其特征在于：所述进水管和出水管都套设有第一绝缘套，所述第一绝缘套包括连接在所述盖板上的第一保护套、以及连接在所述平面阴极体上的第二保护套，所述第一保护套和第二保护套都为管形且轴侧端部相抵触，所述真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构还包括第二绝缘套，所述进水管和出水管都设置在同一个所述第二绝缘套中，所述第二绝缘套包括至少两个弧形的绝缘片，这些所述绝缘片拼成一个环形。
2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘套轴向长度等于所述盖板与平面阴极体的间距。
3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘套由两个所述绝缘片拼接而成。
4.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴壮，解孝辉，俞亚军，张青涛，
申请(专利权)人：吴江南玻华东工程玻璃有限公司，中国南玻集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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