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本实用新型公开了一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在盖板与平面阴极体之间的绝缘垫，盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却平面阴极体的进水管和出水管，进水管和出水管都套设有...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。